CN203926694U - 一种磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及到一种磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头,包括壳体、固定在壳体上端的法兰，下端的靶材连接装置，在壳体的一侧上端设置有驱动十字轴装置。驱动十字轴装置包括驱动十字轴，其末端安装有角接触球轴承，顶端安装有小伞齿轮，驱动十字轴装置通过角接触球轴承与被驱动轴装置相连，其中，被驱动轴装置包括轴承，安装在轴承上的大伞形齿轮，大伞形齿轮与角接触球轴承对接，当驱动十字轴转动时，带动角接触球轴承转动，再通过角接触球轴承带动大伞形齿轮转动，从而带动被驱动轴装置转动。通过设置密封装置，提高了旋转端头的密封性和传动效率，及旋转阴极的溅射功率和稳定性。
Description
技术领域
本发明涉及到一种磁控溅射镀膜传动装置,尤其涉及到一种磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头,属于磁控溅射镀膜领域。
背景技术
真空磁控溅射镀膜是当今镀膜工艺中镀膜质量最好应用最为广泛的一种工艺，在镀膜中磁控溅射阴极尤为重要，目前普遍使用的是平面溅射阴极，由于平面溅射阴极只溅射固定的靶材区域，一定时间后会形成跑道状溅射区域，会影响后期镀膜的均匀性和稳定性。随着高真空磁控镀膜技术的不断提高，溅射靶材能够旋转的溅射阴极被发明，现有技术下，操作人员由于经验的不足和技术掌握的不够全面，目前生产的旋转溅射阴极驱动端头存在结构复杂、更换靶材难、容易漏水漏气等现象，维护次数频繁，造成生产周期长，获得的产品质量不稳定，产能效率低，使用成本高，不能满足目前高质量溅射镀膜工艺生产的要求。
中国专利公告号为CN201746585U的实用新型专利，公开了一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动装置，其采用的技术方案为包括聚甲醛基座、驱动头壳体、驱动轴、驱动齿轮、从动齿轮、轴套、输入轴头、磁芯轴、冷却水 管接口、电刷接线柱、电刷装置、靶材、前端盖、后端盖，其中，驱动齿轮为锥齿轮，设置在驱动轴下端，从动齿轮也为锥形齿轮，两者通过锥齿轮传动方式进行传动。但没有披露旋转溅射阴极端头具体的形状，没有解决旋转溅射阴极端头的灵活性和密封性的问题。
中国专利公告号为CN200610148263.2的实用新型专利，公开了一种防污染超高真空磁控溅射镀膜装置，包括外部驱动系统、微机控制系统、磁控溅射室、上盖板、转动轴、样品 位、样品台、靶位、驱动电机、靶位档板、靶位档板驱动电机，溅射室内上盖板上垂直安装一个定位销，样品台上层开设与定位销配套的定位槽，样品 台下层安装定位销，上档板上开设与定位销相对应的定位槽，上档板用螺钉连接转动轴，上档板上开设一个溅射孔，手动操作杆的齿轮与 上档板边缘的齿轮相啮合，靶位上均安装档板，档板连接驱动电机。该技术方案的缺陷是没有解决旋转溅射阴极端头的灵活性和密封性。
发明内容
针对现有技术中存在旋转溅射阴极端头的灵活性和密封性不足的问题，半实用新型提供一种磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头。
为了达到上述的技术目的，本实用新型采用的技术方案是提供一种磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头，其包括壳体、固定在壳体上端的法兰，固定在壳体下端的靶材连接装置，其中，在壳体的一侧上端设置有驱动十字轴装置，所述驱动十字轴装置包括驱动十字轴，所述驱动十字轴末端安装有角接触球轴承，顶端安装有小伞齿轮，所述驱动十字轴装置通过所述角接触球轴承与被驱动轴装置相连，所述被驱动轴装置包括轴承，安装在轴承上的大伞形齿轮，所述大伞形齿轮与角接触球轴承对接，当驱动十字轴转动时，带动角接触球轴承转动，再通过角接触球轴承带动大伞形齿轮转动，从而带动被驱动轴装置转动。
本发明的优先实施方案是，所述轴承为陶瓷轴承。
本发明的优先实施方案是，所述法兰为磁性法兰。
本发明的优先实施方案是，所述法兰与壳体的连接处设置有水密封装置和o形密封圈。
本发明的优先实施方案是，所述被驱动轴装置、驱动十字轴的末端、角接触球轴承设置在壳体的腔内。
本发明的优先实施方案是，靶材连接装置与壳体的连接处还设有真空密封装置和o形密封圈，通过真空密封装置和o形密封圈对所述伞齿轮传动旋转端头内部实施密封。
本发明的优先实施方案是，驱动十字轴装置与壳体的连接缝隙处设有o形密封圈和骨架油封装置，用于隔绝壳体的内部与大气层的接触。
本发明的优先实施方案是，所述伞齿轮传动旋转端头还与冷却水、电装置相连，通过所述冷却水、电装置对所述伞齿轮传动旋转端头供应冷却水和供电。
本发明的优先实施方案是，所述小伞齿轮通过联轴器与减速马达相连，通过减速马达的转动，带动驱动十字轴转动。
本发明的优先实施方案是，靶材连接装置与壳体采用开口螺母连接。
本发明的技术效果是，通过设置密封装置，提高了旋转端头的密封性，通过驱动十字轴、大、小伞形齿轮的设置，提高了传动效率，另采用陶瓷轴承，提高了旋转阴极的溅射功率和稳定性。
附图说明
附图1为本实用新型的结构剖面图；
附图2为本实用新型的俯视结构示意图。
1-壳体，2-驱动十字轴装置，3-被驱动装置，4-水密封装置，5-真空密封装置，6-开口螺母，7-冷却水、电装置，8-靶材连接装置，9-轴承，10-法兰，11-O型密封圈，12-骨架油封装置，20-驱动十字轴（20），21-角接触球轴承，22-小伞齿轮，90-大伞形齿轮，100-伞齿轮传动旋转端头。
具体实施方式
为了更清楚的叙述本发明的技术方案,下面结合附图对本发明做进一步的说明。
如图1所示，磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头100包含一个壳体1，所述壳体1由金属制作而成，在壳体1的上端安装有法兰10，其中，法兰10由具有磁性的金属铁制材料制作而成，在壳体1的下端设有靶材连接装置8，靶材连接装置8通过开口螺母6与螺母固定在壳体1的下端，开口螺母6与螺母可使靶材连接装置8与壳体1分离，便于靶材连接装置8更换。在靶材连接装置8与壳体的联接处还设有O型密封圈11和真空密封装置5，壳体1内部通过O型密封圈11和真空密封装置5与外部大气层隔绝，维持壳体1内部的真空状态。
在壳体1的一侧安装有驱动十字轴装置2，驱动十字轴装置2包括驱动十字轴20，角接触球轴承21，小伞齿轮22，其中，驱动十字轴20穿过壳体1，顶端设置在壳体1外部，末端设置在壳体1内部，驱动十字轴20的顶端连接小伞齿轮22，末端连接角接触球轴承21。在驱动十字轴20与壳体1的联接处设有O型密封圈11和骨架油封装置12，通过有O型密封圈11和骨架油封装置12，可以隔绝壳体1内部与外部大气层的连通，从而维持壳体1内部的真空状态。
小伞齿轮22通过联轴器与驱动马达相连，当驱动马达转动，带动联轴器转动，然后再带动小伞齿轮22和驱动十字轴20转动。
驱动十字轴20的末端连接有角接触球轴承21，角接触球轴承21与大伞形齿轮 90齿接，当驱动十字轴20转动时，可带动角接触球轴承21运动，从而带动大伞形齿轮90旋转。大伞形齿轮90安装在轴承9上，所述轴承9为陶瓷轴承，陶瓷轴承9可防止金属轴承的电离效应，从而影响溅射镀膜的效率。
角接触球轴承21、驱动十字轴20的末端、轴承9、大伞形齿轮90均设置在壳体1的腔体内。被驱动装置3包含轴承9、大伞形齿轮90，当角接触球轴承21旋转时，带动大伞形齿轮90旋转，从而带动被驱动装置3整个运作，被驱动装置3下端还与靶材连接装置8相连。
壳体1与法兰10的联接处安装有水密封装置4和O型密封圈，隔绝壳体1内部与大气层的接触，保持壳体内的真空状态。水密封装置4是防止冷却水进入壳体1内。
磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头100还与冷却水装置7和供电装置70相连，供电装置70是对磁控溅射镀膜装置提供电源，冷却水装置7是为磁控溅射镀膜装置提供冷却水之用。
参照图2所示，本图为磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头100的俯视图，其中，磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头100的壳体1的横截面为六边形，法兰10安装在壳体1的中心位置，在法兰10的中心处安装有驱动十字轴装置2，驱动十字轴装置2包含驱动十字轴20和小伞形齿轮22。驱动十字轴20穿过法兰10，小伞形齿轮22安装在驱动十字轴20的顶端，并置于法兰10上。
以上所述实施例仅表达了本发明的实施方式，其描述较为详细，只要本领域的技术人员在查看到本发明的实施例后，不脱离本发明构思的前提下，所做的改变都属于本发明的保护范围。但本文所述的实施例不能理解为对本发明的保护范围限制。
Claims (10)
1.一种磁控溅射镀膜伞齿轮传动旋转端头，包括壳体（1）、固定在壳体（1）上端的法兰（10），固定在壳体（1）下端的靶材连接装置（8），其特征在于，在壳体（1）的一侧上端设有驱动十字轴装置（2），所述驱动十字轴装置（2）包括驱动十字轴（20），所述驱动十字轴（20）末端安装有角接触球轴承（21），顶端安装有小伞齿轮（22），所述驱动十字轴装置（2）通过所述角接触球轴承(21)与被驱动轴装置（3）相连，所述被驱动轴装置（3）包括轴承（9），安装在轴承（9）上的大伞形齿轮（90），所述大伞形齿轮（90）与角接触球轴承(21)对接，当驱动十字轴（20）转动时，带动角接触球轴承（21）转动，再通过角接触球轴承（21）带动大伞形齿轮（90）转动，从而带动被驱动轴装置（3）转动。
2.根据权利要求1所述的伞齿轮传动旋转端头，其特征在于，所述轴承（9）为陶瓷轴承（9）。
3.根据权利要求1所述的伞齿轮传动旋转端头，其特征在于，所述法兰（10）为磁性法兰（10）。
4.根据权利要求1或3所述的伞齿轮传动旋转端头，其特征在于，所述法兰（10）与壳体（1）的连接处设置有水密封装置(4)和o形密封圈(11)。
5.根据权利要求1所述的伞齿轮传动旋转端头，其特征在于，所述被驱动轴装置（3）、驱动十字轴（20）的末端、角接触球轴承(21)设置在壳体（1）的腔内。
6.根据权利要求1所述的伞齿轮传动旋转端头，其特征在于，靶材连接装置（8）与壳体（1）采用开口螺母（6）连接。
7.根据权利要求1所述的伞齿轮传动旋转端头，其特征在于，靶材连接装置（8）与壳体（1）的连接处还设有真空密封装置（5）和o形密封圈(11)，通过真空密封装置（5）和o形密封圈(11)对所述伞齿轮传动旋转端头（100）内部实施密封。
8.根据权利要求1所述的伞齿轮传动旋转端头，其特征在于，驱动十字轴装置（2）与壳体（1）的连接缝隙处设有o形密封圈(11)和骨架油封（12），用于隔绝壳体（1）的内部与大气层的接触。
9.根据权利要求1所述的伞齿轮传动旋转端头，其特征在于，所述伞齿轮传动旋转端头（100）还与冷却水、电装置（7）相连，通过所述冷却水、电装置（7）对所述伞齿轮传动旋转端头（100）供应冷却水和供电。
10.根据权利要求1所述的伞齿轮传动旋转端头，其特征在于，所述小伞齿轮（22）通过联轴器与减速马达相连，通过减速马达的转动，带动驱动十字轴（20）转动。
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| CN110375058A (zh) * | 2019-01-09 | 2019-10-25 | 合肥晞隆光电有限公司 | 减速器装配方法、及中心调整装置 |
| CN110747442A (zh) * | 2019-09-10 | 2020-02-04 | 天津大学 | 一种空心圆柱形被镀件外表面镀膜的旋转装置 |
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