CN203909003U - 液态氯硅烷在线检测样品处理装置 - Google Patents

液态氯硅烷在线检测样品处理装置 Download PDF

Info

Publication number
CN203909003U
CN203909003U CN201420311984.0U CN201420311984U CN203909003U CN 203909003 U CN203909003 U CN 203909003U CN 201420311984 U CN201420311984 U CN 201420311984U CN 203909003 U CN203909003 U CN 203909003U
Authority
CN
China
Prior art keywords
valve
steam
closed box
connects
liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201420311984.0U
Other languages
English (en)
Inventor
童孟
翁博丰
程远梅
贾哲
宋安宁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shaanxi Tianhong Silicon Material Co Ltd
Original Assignee
Shaanxi Tianhong Silicon Material Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shaanxi Tianhong Silicon Material Co Ltd filed Critical Shaanxi Tianhong Silicon Material Co Ltd
Priority to CN201420311984.0U priority Critical patent/CN203909003U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN203909003U publication Critical patent/CN203909003U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

本实用新型公开了液态氯硅烷在线检测样品处理装置,包括:一封闭箱体,一设置于封闭箱体外部的取样装置,所述取样装置一路连接下游物料管线,另一路通过管线连接蒸汽气化装置,一设置于封闭箱体内部的蒸汽气化装置,快速回路装置以及进色谱装置,还包括一氮气吹扫装置,该氮气吹扫装置设置于封闭箱体内,并与快速回路装置连接,其始终对快速回路装置的排放管线进行吹扫,实现对系统的氮气吹扫和氮气保护,有效防止由于外部环境温度降低以及管道背压而导致氯硅烷回流。本实用新型能够长期、连续、稳定运行,确保液态氯硅烷完全汽化,达到在线分析仪表对样品的要求,并得到准确可靠地分析数据。

Description

液态氯硅烷在线检测样品处理装置
技术领域
本实用新型属于在线分析领域,具体涉及液态氯硅烷在线检测样品处理装置。
背景技术
目前,国内对于液态氯硅烷的检测均采取离线取样的方式进行,存在取样危险性高,物料浪费大,低沸点组份易挥发,数据准确性根本得不到保证,特别是二氯二氢硅等低沸点组份含量较高时,易发生着火,离线无法取样检测。
国内也有个别厂家采用在线色谱进行分析,采用液态进样阀进行进样检测,但由于液态氯硅烷中含有少量的氮气或氢气,以气泡形式存在,造成进样量偏差较大,检测结果重复性较差,准确性不高;另由于氯硅烷易水解,过滤器易堵塞,更换频繁,损耗量大;液态氯硅烷汽化不充分,存在气液两相,影响分析结果。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供液态氯硅烷在线检测样品处理装置,能够长期、连续、稳定运行,确保液态氯硅烷完全汽化,达到在线分析仪表对样品的要求,并得到准确可靠地分析数据。
为达到上述目的,本实用新型的技术方案如下:
液态氯硅烷在线检测样品处理装置,包括:
一封闭箱体,
一设置于封闭箱体外部的取样装置,所述取样装置一路连接下游物料管线,另一路通过管线连接蒸汽气化装置,
一设置于封闭箱体内部的蒸汽气化装置,快速回路装置以及进色谱装置,
所述蒸汽汽化装置连接的蒸汽一部分进入蒸汽散热片对封闭箱体进行加热,另一部分通过蒸汽汽化减压阀进入样品通过路径上进行加热汽化;
所述快速回路装置包括三通过滤器,所述三通过滤器第一端连接蒸汽气化装置,三通过滤器第二端连接进色谱装置,三通过滤器第三端连接氮气吹扫装置;
所述进色谱装置包括标气三通切换阀,所述标气三通切换阀第一端连接快速回路装置,标气三通切换阀第二端将汽化的样品送至进入色谱,经进样阀后返回至快速回路装置;
还包括一氮气吹扫装置,该氮气吹扫装置设置于封闭箱体内,并与快速回路装置连接,其始终对快速回路装置的排放管线进行吹扫,实现对系统的氮气吹扫和氮气保护,有效防止由于外部环境温度降低以及管道背压而导致氯硅烷回流。
在本实用新型的一个优选实施例中,还包括标液装置,所述标液装置通过管线连接蒸汽汽化减压阀,并经蒸汽汽化减压阀汽化后实现对色谱标液标定。
在本实用新型的一个优选实施例中,还包括标气装置,所述标气装置经标气三通切换阀后进入色谱,实现对色谱的标气标定。
在本实用新型的一个优选实施例中,所述取样装置包括一自清洗式过滤器,一连接自清洗式过滤器第一端的第一两通球阀,一连接自清洗式过滤器第二端的第一针阀和第一止回阀,以及一连接自清洗式过滤器第三端的第二两通球阀。
所述第一两通球阀连接进料口,第一止回阀连接下游物料管线,所述第二两通球阀通过第一接口连接蒸汽气化装置。
在本实用新型的一个优选实施例中,所述蒸汽气化装置包括一控制蒸汽流量的第三针阀,一与第三针阀连接的散热片和蒸汽式汽化减压阀。
在本实用新型的一个优选实施例中,所述封闭箱体为保温层厚度为60mm的箱体,且在封闭箱体上设置一用于观察封闭箱体温度的温度计,第三针阀用于调节蒸汽大小,以保证封闭箱体温度达到要求。
在本实用新型的一个优选实施例中,还包括有安全阀以及与安全阀配合使用的废气管线装置,样品压力超过安全阀整定压力时,安全阀起跳,样品进入废气管线装置处理。
通过上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
1、取样部分采用过滤精度为0.5μm自清洗式过滤器,通过物料本身对过滤器进行冲刷,保证过滤器连续、稳定运行,极大地降低了过滤器维护频次;另外,样品未经过污染及减压操作,直接排入下游物料管线,极大地减少了物料的浪费。
2、蒸汽汽化减压阀、蒸汽散热片、保温厚度为60mm的箱体保证液态氯硅烷完全汽化。
3、样品排放管路的氮气吹扫以及止回阀设计可以有效防止样品由于外部环境温度降低以及管道背压而导致样品回流。
4、安全阀可以确保在系统压力较大时,能够及时将样品排入排放管线,确保装置稳定、安全运行。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。
参照图1,液态氯硅烷在线检测样品处理装置,包括取样过滤部分、蒸汽汽化减压阀(K1)、安全阀(G1)、快速回路、标液流路、标气流路、大气平衡阀(E1)、氮气吹扫、样品排放、仪表气吹扫、蒸汽散热片(J1);
取样过滤部分包括两通球阀(A1、A2、A3)、自清洗式过滤器(F1)、针阀(B1)和止回阀(C1),蒸汽汽化减压阀(K1)与两通球阀(A4)并联,
快速回路包括三通过滤器(F2)、两通球阀(A8)、带针阀的玻璃管浮子流量计(H1)、止回阀(C4),
氮气吹扫包括两通球阀(A6、A7)、止回阀(C3),三通球阀(D3)分别与标液、标气流路连接,
样品标液三通切换阀(D1)公共端(C)通过三通与蒸汽式汽化减压阀(K1)入口及其并联的两通球阀(A4)连接,样品标气三通切换阀(D2)公共端(C)与进色谱前针阀流量计(H2)入口连接,标气标液流路三通氮气吹扫阀(D3)公共端(C)通过三通与两通球阀(A6、A7)连接,标气标液流路三通氮气吹扫阀(D3)非公共端分别于标液、标气进口连接;
所述自清洗式过滤器(F1)出口至蒸汽式汽化减压阀(K1)入口、标液管线全部采用1/8〞管线连接;蒸汽式汽化减压阀(K1)采用GO生产的型号为H2-1D55B3G111的蒸汽汽化减压阀;
除取样部分外其余均安装在保温层厚度为60mm的箱体内;温度计(T1)用于观察箱体温度,针阀(B3)用于调节蒸汽大小,以保证箱体温度达到要求。
工作过程:通过调节针阀(B3)开度大小,并查看温度计(T1)来保证箱体温度达到75℃。
样品经过两通球阀(A1)、自清洗式过滤器(F1)过滤后一部分经针阀(B1)、止回阀(C1)后与下游物料管线连接回收利用,另一部分过滤后样品经两通球阀(A3)、接口(B)进入箱体内,经样品标液三通切换阀(D1)进入蒸汽汽化减压阀(K1)完全汽化后进入三通过滤器(F2)分为快速回路和进色谱两部分,
快速回路部分经过两通球阀(A8)、带针阀的玻璃管浮子流量计(H1)、止回阀(C4)进入快速回路管线;
进色谱部分经样品标气三通切换阀(D2)、带针阀的玻璃管浮子流量计(H2)、0.5μm直通过滤器(F3),通过接口(H)进入色谱,经色谱进样阀后经接口(I)、大气平衡阀(E1)、止回阀(C5)进入快速回路管线。
氮气通过接口(K)进入,经针阀(B2)调节、止回阀(C2)对快速回路排放管线始终进行吹扫,两通球阀(A6、A7、A4、A3)打开,两通球阀(A2)关闭,可以实现对系统的氮气吹扫和氮气保护,正常运行时两通球阀(A2、A5)处于打开状态,两通球阀(A3、A4、A7)处于关闭状态,止回阀(C2、C3)防止氯硅烷进入氮气管线。
6KG低压蒸汽经接口(C)一部分进入蒸汽散热片(J1)对箱体进行加热,另一部分通过蒸汽汽化减压阀(K1)蒸汽入口进入蒸汽汽化减压阀内对样品进行加热汽化,蒸汽汽化减压阀和蒸汽散热片出口蒸汽经接口(E)排出。
标液由接口(F)进入预处理箱,经样品标液三通切换阀(D1)后进入蒸汽汽化减压阀(K1)汽化后可以实现对色谱标液标定,
标气由接口(G)接入,经样品/标气三通切换阀(D2)、带针阀玻璃管浮子流量计(H2)、过滤器(F3)后进入色谱,可以实现对色谱的标气标定,氮气经两通球阀(A6)、标气/标液三通氮气吹扫阀切换,可以分别实现对标液流路、标气流路的氮气吹扫。
色谱进样前大气平衡阀(E1)动作,样品经接口(J)排入大气排放管线,与大气进行压力平衡,保证每次进样量相同,确保检测结果准确。样品压力超过安全阀(G1)整定压力时,安全阀(G1)起跳,样品排入快速回路管线,快速回路样品经接口(A)排出系统进入废气管线处理。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.液态氯硅烷在线检测样品处理装置,其特征在于,包括:
一封闭箱体,
一设置于封闭箱体外部的取样装置,所述取样装置一路连接下游物料管线,另一路通过管线连接蒸汽气化装置,
一设置于封闭箱体内部的蒸汽气化装置,快速回路装置以及进色谱装置,
所述蒸汽汽化装置连接的蒸汽一部分进入蒸汽散热片对封闭箱体进行加热,另一部分通过蒸汽汽化减压阀对样品进行加热汽化;
所述快速回路装置包括三通过滤器,所述三通过滤器第一端连接蒸汽气化装置,三通过滤器第二端连接进色谱装置,三通过滤器第三端连接氮气吹扫装置;
所述进色谱装置包括标气三通切换阀,所述标气三通切换阀第一端连接快速回路装置,标气三通切换阀第二端将汽化的样品送至进入色谱后,经色谱进样阀后进入快速回路装置;
还包括一氮气吹扫装置,该氮气吹扫装置设置于封闭箱体内,并与快速回路装置连接,其始终对快速回路装置的排放管线进行吹扫,实现对系统的氮气吹扫和氮气保护,有效防止由于外部环境温度降低以及管道背压而导致氯硅烷回流。
2.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线检测样品处理装置,其特征在于,还包括标液装置,所述标液装置通过管线连接蒸汽汽化减压阀,并经蒸汽汽化减压阀汽化后实现对色谱标液标定。
3.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线检测样品处理装置,其特征在于,还包括标气装置,所述标气装置经标气三通切换阀后进入色谱,实现对色谱的标气标定。
4.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线检测样品处理装置,其特征在于,所述取样装置包括一自清洗式过滤器,一连接自清洗式过滤器第一端的第一两通球阀,一连接自清洗式过滤器第二端的第一针阀和第一止回阀,以及一连接自清洗式过滤器第三端的第二两通球阀,
所述第一两通球阀连接进料口,第一止回阀连接下游物料管线,所述第二两通球阀通过第一接口连接蒸汽气化装置。
5.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线检测样品处理装置,其特征在于,所述蒸汽气化装置包括一控制蒸汽流量的第三针阀,一与第三针阀连接的散热片和蒸汽式汽化减压阀。
6.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线检测样品处理装置,其特征在于,所述封闭箱体为保温层厚度为60mm的箱体,且在封闭箱体上设置一用于观察封闭箱体温度的温度计,第三针阀用于调节蒸汽大小,以保证封闭箱体温度达到要求。
7.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线检测样品处理装置,其特征在于,还包括有安全阀以及与安全阀配合使用的废气管线装置,样品压力超过安全阀整定压力时,安全阀起跳,样品进入废气管线装置处理。
CN201420311984.0U 2014-06-12 2014-06-12 液态氯硅烷在线检测样品处理装置 Expired - Fee Related CN203909003U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201420311984.0U CN203909003U (zh) 2014-06-12 2014-06-12 液态氯硅烷在线检测样品处理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201420311984.0U CN203909003U (zh) 2014-06-12 2014-06-12 液态氯硅烷在线检测样品处理装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN203909003U true CN203909003U (zh) 2014-10-29

Family

ID=51783265

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201420311984.0U Expired - Fee Related CN203909003U (zh) 2014-06-12 2014-06-12 液态氯硅烷在线检测样品处理装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN203909003U (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104316625A (zh) * 2014-11-06 2015-01-28 上海华爱色谱分析技术有限公司 用于硅烷色谱分析的采样系统
CN104990995A (zh) * 2015-03-03 2015-10-21 陕西天宏硅材料有限责任公司 多晶硅生产过程中含氯硅烷废气的简易检测装置及其检测方法
CN106370553A (zh) * 2016-11-15 2017-02-01 亚洲硅业(青海)有限公司 一种浆料含固量的检测方法
CN109633100A (zh) * 2019-01-14 2019-04-16 朗析仪器(上海)有限公司 一种便携式检测管快速检测仪
CN114184709A (zh) * 2021-12-22 2022-03-15 新疆新特晶体硅高科技有限公司 一种氯硅烷在线检测装置及方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104316625A (zh) * 2014-11-06 2015-01-28 上海华爱色谱分析技术有限公司 用于硅烷色谱分析的采样系统
CN104990995A (zh) * 2015-03-03 2015-10-21 陕西天宏硅材料有限责任公司 多晶硅生产过程中含氯硅烷废气的简易检测装置及其检测方法
CN104990995B (zh) * 2015-03-03 2018-02-27 陕西天宏硅材料有限责任公司 多晶硅生产过程中含氯硅烷废气的简易检测装置及其检测方法
CN106370553A (zh) * 2016-11-15 2017-02-01 亚洲硅业(青海)有限公司 一种浆料含固量的检测方法
CN109633100A (zh) * 2019-01-14 2019-04-16 朗析仪器(上海)有限公司 一种便携式检测管快速检测仪
CN109633100B (zh) * 2019-01-14 2023-12-22 朗析仪器(上海)有限公司 一种便携式检测管快速检测仪
CN114184709A (zh) * 2021-12-22 2022-03-15 新疆新特晶体硅高科技有限公司 一种氯硅烷在线检测装置及方法
CN114184709B (zh) * 2021-12-22 2024-01-26 新疆新特晶体硅高科技有限公司 一种氯硅烷在线检测装置及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203909003U (zh) 液态氯硅烷在线检测样品处理装置
CN205426869U (zh) 一种采用便携式设计的非甲烷总烃分析模块
CN107621393B (zh) 一种使用烟气中三氧化硫采样装置的浓度测试方法
JP6590818B2 (ja) 天然ガス液試料の採取、気化および圧力調整システム
CN109716092B (zh) 用于测量内燃机废气的废气分析单元的气体输送单元
US10175209B2 (en) Liquid flow rate measurement device
CN103018378B (zh) 带油气分离功能的气相色谱仪及测定绝缘油中微量水分的气相色谱流程
CN202494668U (zh) 一种高温高压在线分析气相色谱仪系统
CN103471876B (zh) 稀释采样探头
CN105445065A (zh) 一种含硫气体的元素硫取样器及元素硫含量测量方法
CN203203970U (zh) 多晶硅还原炉尾气在线检测样品处理装置
CN205175975U (zh) 气相色谱仪进气端微量气体控制器
CN203908834U (zh) 一种煤气化在线分析样品预处理系统
CN106872223B (zh) 一种烟气监测系统多点取样方法
CN202942115U (zh) 检测开放式动物呼吸测热系统中气体回收率测定装置
CN109187833A (zh) 一种压力可控恒温式检测六氟化硫气体的自动进样装置及其使用方法
CN204086234U (zh) 一种毛细管气相色谱仪的分流/不分流进样口载气控制系统
CN113252866A (zh) 一种总硫气路的在线检测系统
CN103235069A (zh) 用于气相色谱仪的液体进样装置和方法
CN203798758U (zh) 对流扩散式热导池
CN203299180U (zh) 用于气相色谱仪的液体进样装置
CN203672845U (zh) 微量硫化物色谱分析仪
CN201757748U (zh) 一种气油比检测装置
CN111474284A (zh) 一种用于气相色谱的原料气预处理和自动进样系统
CN207805117U (zh) 一种高效层析分离装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20141029

Termination date: 20200612

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee