CN203899432U - 多晶硅生产废气淋洗废水处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，包括：一缓冲罐，用于缓存多晶硅生产中排放的含氯硅烷废气，一淋洗塔，与缓冲罐连接，所述淋洗塔内喷淋碱液，一污泥池，存储安全循环池排出的淋洗废碱水，所述污泥池内设置一搅拌装置，不断搅拌污泥池，一第一泵体，所述第一泵体连接污泥池，将污泥池内的物质打入压滤机进行至少一次压滤，一一次压滤机，所述一次压滤机连接第一泵体，压滤出来的滤渣外运，上清液放置中间水池内，一加酸造渣装置，所述加酸造渣装置连接中间水池，同时通过管道连接一盐酸注入装置。经盐酸注入装置注入盐酸，将加酸造渣装置中的废水PH调节至6—9，再次进行第二次压滤，最终将产生的滤渣外运和将上清液外排。本实用新型占地面积小，处理污水能力强，处理程度高，经处理后可将淋洗废碱水达标排放，做到对环境完全无害，同时还较好的利用了生产过程产生的废酸，节约了生产成本。

Description

多晶硅生产废气淋洗废水处理装置

技术领域

本实用新型涉及多晶硅制造技术领域，具体涉及多晶硅生产废气淋洗废水处理装置。

背景技术

多晶硅是制造集成电路、光伏太阳能电池等产品的关键基础材料，是发展信息产业和光伏新能源产业的重要基石，但多晶硅在生产过程中不可避免的要产生废气、废水排放，而由此产生严重的环境污染问题，这已成为多晶硅产业能否生存与健康发展的关键之一。

废气处理项目分别有干法燃烧线和湿法淋洗线两套系统，其中湿法淋洗系统是全国多晶硅行业普遍采用的废气处理方法，具有投资小、运行成本低、操作简单等优点。

湿法淋洗系统采用NaOH溶液来淋洗多晶硅生产中排放的含氯硅烷废气，初始碱浓度控制在15～22%，随着氯硅烷的不断水解、中和反应、碱随之消耗浓度下降。当NaOH浓度降到4～5%时，池内会产生大量白色沉渣，导致废气淋洗无法继续进行，必须更换新的淋洗液。此时更换的废淋洗液具有较高的碱性及大量的硅酸盐，如压滤后直接排放，会产生大量白色沉渣，可能导致严重的环境污染事故。因此，废气处理湿法线产生的废淋洗液，需要进一步处理才能达标排放。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，占地面积小，处理污水能力强，处理程度高，经处理后可将淋洗废碱水达标排放，做到对环境完全无害，同时还较好的利用了生产过程产生的酸性废水，节约了生产成本。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，包括：

一缓冲罐，用于缓存多晶硅生产中排放的含氯硅烷废气，

一淋洗塔，与缓冲罐连接，所述淋洗塔内喷淋碱液，

一污泥池，存储安全循环池排出的淋洗废碱水，所述污泥池内设置一搅拌装置，不断搅拌污泥池，

一第一泵体，所述第一泵体连接污泥池，将污泥池内的物质打入压滤机进行一次压滤，

一一次压滤机，所述一次压滤机连接第一泵体，压滤出来的滤渣外运，上清液放置中间水池内。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述淋洗塔和污泥池之间还设置一安全循环池，安全循环池内的淋洗液通过一回流管道连接淋洗塔循环使用。

在本实用新型的一个优选实施例中，淋洗塔内喷淋碱液质量分数为5～22%。

在本实用新型的一个优选实施例中，还包括一加酸造渣装置，所述加酸造渣装置通过管道连接一盐酸注入装置，经盐酸注入装置注入盐酸，将加酸造渣装置中的废水PH调节至6—9，再进行第二次压滤，，最终将产生的滤渣外运和将上清液外排。

通过上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

本实用新型中的盐酸可以利用废气处理干法线产生的废酸中和废碱液，达到以废制废的效果；压滤的滤渣（硅酸盐）呈中性，可以做水泥、铺路的原材料；压滤的上清液为高盐溶液，纯度高，可用来电解氢气、氯气、液碱；

具有结构简单，使用方便的特点，节约了生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的工作原理图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

参照图1，多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，包括：

一缓冲罐100，用于缓存多晶硅生产中排放的含氯硅烷废气，

一淋洗塔200，与缓冲罐100连接，所述淋洗塔内喷淋碱液，水解中和逆流接触的含氯硅烷废气，含氯硅烷废气经淋洗塔200喷淋达标后高空排放，淋洗液则进入安全循环池300循环使用。如果安全循环池300内的碱液质量分数大于5%，则通过回流管道流入淋洗塔200内继续喷淋使用；如果安全循环池300内的碱液质量分数小于5%，则通过管道排至污泥池400，

一污泥池400，存储安全循环池300排出的淋洗废碱水，所述污泥池400内设置一搅拌装置，不断搅拌污泥池，

一第一泵体，所述第一泵体连接污泥池400，将污泥池400内的淋洗废碱水打入压滤机进行第一次压滤，

一一次压滤机，所述一次压滤机连接第一泵体，压滤出来的滤渣401外运，上清液402放置中间水池403内。

一加酸造渣装置，所述加酸造渣装置连接中间水池403，同时通过管道连接一盐酸注入装置500。经盐酸注入装置500注入盐酸，将加酸造渣装置中的废水PH调节至6—9，再次进行第二次压滤，最终将产生的滤渣外运和将上清液外排。

压滤的滤渣（硅酸盐）呈中性，可以做水泥、铺路的原材料；压滤的上清液为高盐溶液，纯度高，可用来电解氢气、氯气、液碱。

根据淋洗废碱水的现象和特性，对其处理应分为两步进行：直接压滤和加酸中和压滤。

具体技术路线：先将此淋洗废碱水用泵打入到新增污泥池并且不断搅拌（如果不搅拌会形成晶体），很快用泵打入压滤机进行一次压滤。

这个过程可以去除淋洗废碱水中的大量悬浮物，降低后续工段的负荷，而且经试验证明，这一步压滤可大大降低系统的加酸量。

压滤产生的滤渣外运处理，上清液排入中间水池缓冲，随后打入加酸造渣装置内进行加酸中和。在中和过程中，随着碱度的减低，淋洗废水中的Na2SiO3以白色固体的形式释放出来，再经过二次压滤后作为滤渣外运处理。上清液呈无色透明，PH在6～9之间，溶液中主要组分为NaCl，对环境无害。

此项目不仅能实现对含氯硅烷淋洗废水的有效处理，减少污染物排放，同时还有效利用生产过程中产生的废盐酸，降低了企业运行成本，可成为多晶硅厂的节能减排、清洁生产和可持续发展的重要环节，具有推广意义。具体经济效益有：

减少污染物的排放，节约了环保排污费用，预计每年约10万；

节省了废酸外运处理的费用，每年约18万；

1、压滤的泥渣可售给水泥厂做原料；

2、压滤的滤液可电解氢气、氯气和液碱。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (3)

1.多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，其特征在于，包括： 

一缓冲罐，用于装入多晶硅生产中排放的含氯硅烷废气， 

一与缓冲罐连接的淋洗塔，所述淋洗塔内喷淋碱液， 

一污泥池，吸收淋洗塔落下的淋洗液，所述污泥池内设置一搅拌装置，不断搅拌污泥池， 

还包括一第一泵体，所述第一泵体连接污泥池。 

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，其特征在于：所述污泥池连接中间水池，所述中间水池通过管道连接一盐酸注入装置。 

3.根据权利要求1所述的多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，其特征在于：所述淋洗塔和污泥池之间还设置一安全循环池，安全循环池内的淋洗液通过一回流管道连接淋洗塔。