CN203863801U - 一种氮化铝陶瓷基片流延机 - Google Patents
一种氮化铝陶瓷基片流延机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203863801U CN203863801U CN201320883920.3U CN201320883920U CN203863801U CN 203863801 U CN203863801 U CN 203863801U CN 201320883920 U CN201320883920 U CN 201320883920U CN 203863801 U CN203863801 U CN 203863801U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- base band
- fuselage
- band film
- substrate
- roll
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 51
- 238000005266 casting Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 23
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 title abstract 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 23
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 20
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 claims description 20
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 17
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract 1
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 abstract 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 229920005479 Lucite® Polymers 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 239000004579 marble Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Abstract
本实用新型公开了一种氮化铝陶瓷基片流延机，主要结构为：放卷系统、成型系统、烘道干燥系统、基带膜收卷系统、基片收卷系统依次安装在机身上，基带膜收卷系统跟基片收卷系统通过同一部调速电机驱动，将基带膜和基片分别收卷到基带膜收卷辊和基片收卷辊上，为了避免浆料中含有颗粒较大的杂质，在流延浆料盒中安装了一只过滤器，通过微调螺母可以调节刮刀距离基带膜之间的距离。本实用新型的优点是将基片收卷系统也安装在机身上，可以提高生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种氮化铝陶瓷基片流延机，尤其是涉及一种集成型、干燥、分离为一体的生产氮化铝陶瓷基片的专用氮化铝陶瓷基片流延机。
背景技术
随着微电子技术的进步，微加工工艺的特征线宽已达亚微米级，一块基板上可以集成106～109个以上元件，电路工作的速度越来越快、频率越来越高，这对基板材料的性能提出了更高的要求。因为陶瓷具有耐高温、电绝缘性能高、介电常数和介质损耗低、热导率大、化学稳定性好、与元件的热膨胀系数相近等主要优点，已在基片市场上占据了很大份额。
在生产时，大都是先将粉碎好的粉料与粘结剂、增塑剂、分散剂、溶剂混合制成具有一定黏度的料浆，料浆从料斗流下，被刮刀以一定厚度刮压涂敷在专用基带上，经干燥、固化后从上剥下成为生坯带的薄膜，然后根据成品的尺寸和形状需要对生坯带作冲切、层合等加工处理，制成待烧结的毛坯成品。
于2009年4月29日授权的CN 201227851 Y专利氮化铝陶瓷基片流延机，其主要结构为：由卷出部、成型部、干燥部、收卷部组成，成型部由刮刀及大理石平台组成，干燥部分由底板加热器及上部透明有机玻璃风道组成。采用该种氮化铝陶瓷基片流延机后，还需要另一台分离设备将基片与基带膜分离，使得整个生产成本增加，而且增加了操作工人。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单，能够结合成型、干燥、分离的氮化铝陶瓷基片流延机。
为解决上述技术问题，本实用新型氮化铝陶瓷基片流延机所采取的具体技术方案如下：
氮化铝陶瓷基片流延机，包括机身、及依次安装在机身上的放卷系统、成型系统、烘道干燥系统、基带膜收卷系统；所述放卷系统包括安装在机身内侧的放卷辊、收紧辊、第一导向辊，所述放卷辊上绕卷有基带膜；所述成型系统包括安装在机身上的流延浆料盒、安装在机身上位于流延浆料盒前端的刮刀；所述流延浆料盒在相对于刮刀的方向开有宽度不大于基带膜宽度的出料口；所述烘道干燥系统包含安装在机身上的烘箱、在烘箱内部安装在机身上的加热棒；所述基带膜收卷系统包括安装在机身另一侧的基带膜收卷辊、第二导向辊，所述基带膜收卷辊由电机驱动；所述氮化铝陶瓷基片流延机上还包含有基片收卷系统，所述基片收卷系统包括安装在机身上的第三导向辊、基片收卷辊，所述基片收卷辊与基带膜收卷辊由同一只电机驱动。
在此基础上，所述电机选用调速电机。
在此基础上，所述烘道干燥系统中还安装有一只温度传感器用来检测烘箱内的温度。
在此基础上，所述烘箱侧面可以打开，通过锁紧螺栓锁紧，且烘箱上安装有玻璃窗口。
在此基础上，所述流延浆料盒内在出料口之前安装有一只过滤器。
本实用新型的有益效果：本实用新型的优点如下：1、在一台普通氮化铝陶瓷基片流延机中还安装有基片收卷系统，在生产任务较多时，可以直接将干燥的基片卷起，节省时间；2、在烘箱内安装有温度传感器，可以随时监测烘箱内的温度，且可以根据检测的温度来调节调速电机的速度；3基片收卷系统与基带膜收卷系统由同一台电机驱动，保证了收卷的同步性；4、烘箱侧面可以开启，且安装有玻璃窗口，可以随时人工观测烘箱内的情况，且便于清洁烘箱内部；5、在流延浆料盒内安装有过滤器，可以避免前道工段中没有磨碎的细小颗粒从出料口出来，对产品质量产生影响。
附图说明
图1为本实用新型氮化铝陶瓷基片流延机的侧视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步说明。
本实用新型氮化铝陶瓷基片流延机由以下部件组成：机身10、放卷系统20、成型系统30、烘道干燥系统40、基带膜收卷系统50、基片收卷系统60、基带膜70。
如图1所示，在机身10的内侧从下至上依次安装有放卷辊21、收紧辊22、第一导向辊23。放卷辊21可以自由拆下，以便放置卷有基带膜70的放卷辊21。放卷辊21、收紧辊22、第一导向辊23与机身10之间均可以自由转动，但轴向移动受到限制。
在机身10的上表面，还安装有一只流延浆料盒31、在流延浆料盒31上还开有一个出料口32，为了不让从出料口32流出的浆料流到机身10上，该出料口32的宽度不大于基带膜70的宽度。在机身10上在出料口32的下游方向还安装有一只刮刀33，为了满足生产不同厚度的基片的需求，该刮刀33的高度可以调节。只需要调节刮刀架34上端的微调螺母35，即可以改变刮刀33到基带膜70之间的距离。
在将流延浆料倒入流延浆料盒31时，在流延浆料中往往还混杂着一些直径比较大的颗粒，为了避免这些较大的颗粒影响流延成型效果，在流延浆料盒31内在出料口32之前还安装有一只过滤器36。在不使用该氮化铝陶瓷基片流延机时，该过滤器36可以拆卸清洗。
在机身10的另一侧安装有基带膜收卷系统50，具体结构为：在机身10的内侧安装有第二导向辊51，在机身10内侧相对于第二导向辊51的下侧安装有基带膜收卷辊52，可以自由拆卸。该基带膜收卷辊52由调速电机53驱动。
为了提高生产效率，在机身10上还安装有基片收卷系统60具体结构为：在机身10的内侧安装有第三导向辊61，在机身10的内侧相对于第三导向辊61的下侧安装有基片收卷辊62，可以自由拆卸。为了使收卷速率相同，该基片收卷辊62也由调速电机53驱动。
为了减短机身10的长度，还在成型系统30与基带膜收卷系统50之间安装有一个烘道干燥系统40，该烘道干燥系统40包含一烘箱41，该烘箱41安装在机身10上，采用保温材料制成；在烘箱内部，在机身10上安装有加热棒42，通过加热棒42来产生热量，加快基片的干燥，在烘箱41内还安装有温度传感器43，来监测烘箱41内的温度。通过检测到的温度信号，通过计算机计算，来控制调速电机53的速度。当温度过高时，调速电机53的速度加快，当温度过低时，调速电机53的速度减慢。
为了便于观察及维护，烘箱41侧面可以打开，通过锁紧螺栓44锁紧，且烘箱41上安装有玻璃窗口45。
使用原理：启动调速电机53，在调速电机53的驱动下，基带膜收卷辊52和基片收卷辊62转动，使得放卷辊21也跟着转动，此时流延浆料盒31中的流延浆料从出料口32流出，在基带膜70上成型，且经过刮刀33使得厚度均一，经过烘箱41后在高温后下进行干燥，干燥之后，基片被卷曲在基片收卷辊61上，基带膜70被卷曲到基带膜收卷辊52上。
Claims (5)
1.一种氮化铝陶瓷基片流延机，包括机身、及依次安装在机身上的放卷系统、成型系统、烘道干燥系统、基带膜收卷系统；
所述放卷系统包括安装在机身内侧的放卷辊、收紧辊、第一导向辊，所述放卷辊上绕卷有基带膜；
所述成型系统包括安装在机身上的流延浆料盒、安装在机身上位于流延浆料盒前端的刮刀；所述流延浆料盒在相对于刮刀的方向开有宽度不大于基带膜宽度的出料口；
所述烘道干燥系统包含安装在机身上的烘箱、在烘箱内部安装在机身上的加热棒；
所述基带膜收卷系统包括安装在机身另一侧的基带膜收卷辊、第二导向辊，所述基带膜收卷辊由电机驱动；
其特征在于：所述氮化铝陶瓷基片流延机上还包含有基片收卷系统，所述基片收卷系统包括安装在机身上的第三导向辊、基片收卷辊，所述基片收卷辊与基带膜收卷辊由同一只电机驱动。
2.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷基片流延机，其特征在于：所述电机选用调速电机。
3.根据权利要求2所述的氮化铝陶瓷基片流延机，其特征在于：所述烘道干燥系统中还安装有一只温度传感器用来检测烘箱内的温度。
4.根据权利要求3所述的氮化铝陶瓷基片流延机，其特征在于：所述烘箱侧面可以打开，通过锁紧螺栓锁紧，且烘箱上安装有玻璃窗口。
5.根据权利要求4所述的氮化铝陶瓷基片流延机，其特征在于：所述流延浆料盒内在出料口之前安装有一只过滤器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320883920.3U CN203863801U (zh) | 2013-12-31 | 2013-12-31 | 一种氮化铝陶瓷基片流延机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320883920.3U CN203863801U (zh) | 2013-12-31 | 2013-12-31 | 一种氮化铝陶瓷基片流延机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203863801U true CN203863801U (zh) | 2014-10-08 |
Family
ID=51644783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201320883920.3U Expired - Lifetime CN203863801U (zh) | 2013-12-31 | 2013-12-31 | 一种氮化铝陶瓷基片流延机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203863801U (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106512548A (zh) * | 2016-10-08 | 2017-03-22 | 成都易态科技有限公司 | 过滤材料制备中在支撑层上附着浆料的方法及其应用 |
| CN107848892A (zh) * | 2015-06-29 | 2018-03-27 | 康宁股份有限公司 | 生产线、方法、以及烧结制品 |
| US10875212B2 (en) | 2015-06-29 | 2020-12-29 | Corning Incorporated | Manufacturing line, process, and sintered article |
| US11351697B2 (en) | 2015-06-29 | 2022-06-07 | Corning Incorporated | Manufacturing system, process, article, and furnace |
| CN114800776A (zh) * | 2022-05-23 | 2022-07-29 | 宁夏北瓷新材料科技有限公司 | 一种具有流延膜带除渣装置的流延机 |
-
2013
- 2013-12-31 CN CN201320883920.3U patent/CN203863801U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113305997B (zh) * | 2015-06-29 | 2022-01-28 | 康宁股份有限公司 | 生产线、方法、以及烧结制品 |
| US11577427B2 (en) | 2015-06-29 | 2023-02-14 | Corning Incorporated | Manufacturing system, process, article, and furnace |
| US11148321B2 (en) | 2015-06-29 | 2021-10-19 | Corning Incorporated | Polycrystalline waveguide |
| US10875212B2 (en) | 2015-06-29 | 2020-12-29 | Corning Incorporated | Manufacturing line, process, and sintered article |
| US10967539B2 (en) | 2015-06-29 | 2021-04-06 | Corning Incorporated | Manufacturing line, process, and sintered article |
| CN107848892B (zh) * | 2015-06-29 | 2021-06-01 | 康宁股份有限公司 | 生产线、方法、以及烧结制品 |
| CN113199611A (zh) * | 2015-06-29 | 2021-08-03 | 康宁股份有限公司 | 生产线、方法、以及烧结制品 |
| CN113306005A (zh) * | 2015-06-29 | 2021-08-27 | 康宁股份有限公司 | 生产线、方法、以及烧结制品 |
| CN113305997A (zh) * | 2015-06-29 | 2021-08-27 | 康宁股份有限公司 | 生产线、方法、以及烧结制品 |
| CN113370365A (zh) * | 2015-06-29 | 2021-09-10 | 康宁股份有限公司 | 生产线、方法、以及烧结制品 |
| US11953264B2 (en) | 2015-06-29 | 2024-04-09 | Corning Incorporated | Manufacturing line, process, and sintered article |
| US11919196B2 (en) | 2015-06-29 | 2024-03-05 | Corning Incorporated | Manufacturing system, process, article, and furnace |
| CN113306005B (zh) * | 2015-06-29 | 2022-07-12 | 康宁股份有限公司 | 生产线、方法、以及烧结制品 |
| US11351697B2 (en) | 2015-06-29 | 2022-06-07 | Corning Incorporated | Manufacturing system, process, article, and furnace |
| CN113510830A (zh) * | 2015-06-29 | 2021-10-19 | 康宁股份有限公司 | 生产线、方法、以及烧结制品 |
| CN113510830B (zh) * | 2015-06-29 | 2023-12-19 | 康宁股份有限公司 | 生产线、方法、以及烧结制品 |
| CN107848892A (zh) * | 2015-06-29 | 2018-03-27 | 康宁股份有限公司 | 生产线、方法、以及烧结制品 |
| US11629915B2 (en) | 2015-06-29 | 2023-04-18 | Corning Incorporated | Method of manufacturing ceramic tape |
| US11745385B2 (en) | 2015-06-29 | 2023-09-05 | Corning Incorporated | Manufacturing system, process, article, and furnace |
| US11768032B2 (en) | 2015-06-29 | 2023-09-26 | Corning Incorporated | Method of manufacturing ceramic tape |
| CN106512548A (zh) * | 2016-10-08 | 2017-03-22 | 成都易态科技有限公司 | 过滤材料制备中在支撑层上附着浆料的方法及其应用 |
| CN106512548B (zh) * | 2016-10-08 | 2019-11-01 | 成都易态科技有限公司 | 过滤材料制备中在支撑层上附着浆料的方法及其应用 |
| CN114800776A (zh) * | 2022-05-23 | 2022-07-29 | 宁夏北瓷新材料科技有限公司 | 一种具有流延膜带除渣装置的流延机 |
| CN114800776B (zh) * | 2022-05-23 | 2024-01-12 | 宁夏北瓷新材料科技有限公司 | 一种具有流延膜带除渣装置的流延机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN203863801U (zh) | 一种氮化铝陶瓷基片流延机 | |
| CN203863893U (zh) | 一种用于生产高导热陶瓷基片的流延机 | |
| CN203863895U (zh) | 一种高导热陶瓷基片制造用的流延机 | |
| CN107469642A (zh) | 一种氧化铝平板陶瓷膜的制备方法 | |
| CN110921401B (zh) | 一种采用云母带材生产云母片的连续性压切机械 | |
| CN206676668U (zh) | 一种涂布设备 | |
| CN112458384B (zh) | 一种采用多晶莫来石纤维保温的放电等离子烧结模具 | |
| CN103962014A (zh) | 蜂窝集束孔中空板式陶瓷整体膜元件的制造方法 | |
| CN211842442U (zh) | 流延机 | |
| TWI532702B (zh) | Preparation method of conductive concrete block and conductive concrete block | |
| CN217476230U (zh) | 一种流延机流延辊用清洁装置 | |
| JP2007204297A (ja) | セラミックス原料の製造方法及びセラミックス成形体の製造方法 | |
| CN105563641A (zh) | 一种新型练泥机 | |
| CN112264615B (zh) | 一种铺粉装置 | |
| CN101599325A (zh) | 橡套电缆密闭式高效布粉装置 | |
| CN211682655U (zh) | 一种陶瓷杯生产用成型设备 | |
| CN209971045U (zh) | 一种不易损坏的陶瓷成型模具 | |
| CN114180563A (zh) | 一种高效生产氧化石墨烯膜的方法 | |
| CN206492666U (zh) | 过滤材料的生产设备 | |
| CN203266861U (zh) | 分段式流延模具 | |
| CN113102159A (zh) | 高粘度电池浆料旋转打散进料装置、涂布装置及涂布方法 | |
| CN208392458U (zh) | 一种高效流延机 | |
| CN207136138U (zh) | 一种米粉加工机的出粉装置 | |
| CN103171034B (zh) | 浮雕板加工设备的印花成型料挤料机 | |
| CN213202378U (zh) | 一种不产生划痕的用人造金刚石微粉制备装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20141008 |
|
| CX01 | Expiry of patent term |