CN203834001U - 一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置，该自吹积瘤装置包括位于喷涂罐外且依次利用气管连通的空气压缩机、减压阀、储气罐及位于喷涂罐内且依次利用高温气管连通的脉冲电磁阀、吹气架。本实用新型空气压缩机通过送气管和减压阀与储气罐进气口连接，保证储气罐内充满气体并处于恒定高压状态，而储气罐出气口与脉冲电池阀进气口连接，脉冲电磁阀出气口与吹气架相连，进而实现在不暂停等离子喷涂作业情况下，自动吹除在等离子喷涂过程喷咀上产生的积瘤，大幅度降低了喷涂大尺寸、高纯度旋转靶材的时间和人力成本，间接提高了旋转靶材的结合强度和致密性。
Description
技术领域
本实用新型一种旋转靶材生产过程中的在线高压自动吹积瘤装置，特别涉及一种真空等离子喷涂设备上用的自动吹积瘤装置。
背景技术
在真空等离子喷涂旋转靶材过程中，少量过熔粉末会凝结在喷咀上形成积瘤，不及时处理，积瘤会溅射到靶材上，使靶材出现大面积积瘤导致报废。目前，公知的处理积瘤的方式为:在发现喷咀处出现积瘤后，暂停等离子喷涂设备运行，采用人工手动方式去除喷咀上的积瘤。由于制造旋转靶材特别是大尺寸、高纯度的靶材周期较长，经常停机除积瘤不仅会大幅度提高了生产靶材的时间成本和人力成本，而且频繁暂停等离子喷涂作业会导致旋转靶材粉末的结合强度和致密性大幅度降低。
由此，本发明人考虑对现有靶材喷涂吹积瘤装置结构进行改进，本案由此产生。
实用新型内容
为了克服在生产大尺寸、高纯度旋转靶材过程中需要吹除积瘤而经常暂停等离子喷涂作业的不足。 本实用新型提供一种真空等离子喷涂自动吹积瘤装置，该吹积瘤装置能在不暂停等离子喷涂作业的情况下吹除喷咀上产生的积瘤，不但大幅度降低了生产大尺寸、高纯度旋转靶材的时间和人力成本，而且还能间接提高靶材粉末的结合强度和致密性。
为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置，该自吹积瘤装置包括位于喷涂罐外且依次利用气管连通的空气压缩机、减压阀、储气罐及位于喷涂罐内且依次利用高温气管连通的脉冲电磁阀、吹气架。
进一步，所述空气压缩机、减压阀、储气罐之间利用不锈钢气管连通，且喷涂罐的上方的输出端利用高温气管与脉冲电磁阀连通。
进一步，所述脉冲电磁阀连通利用高温气管与吹气架侧面两吹气孔连通。
进一步，所述吹气架为一金属圆环体，其中央通孔与罐体上方设置的喷嘴套接，形成喷嘴支撑构架。
进一步，所述吹气架下端面向下延伸形成弧形侧壁，该弧形侧壁上开设有两吹气孔，每个吹气孔垂直与套于中央通孔内喷嘴的喷出端垂直，从而形成针对喷嘴及中央通孔周侧边沿的吹积瘤结构。
进一步，所述两吹气孔中心夹角呈锐角。
进一步，所述喷涂罐体可为授权公告CN203373415U所描述的罐体结构。
本实用新型空气压缩机通过送气管和减压阀与储气罐进气口连接，保证储气罐内充满气体并处于恒定高压状态，而储气罐出气口与脉冲电池阀进气口连接，脉冲电磁阀出气口与吹气架相连。在等离子喷涂作业过程中，喷枪将会根据旋转靶材的长度通过行走机构的传动进行往返水平运动，当等离子喷枪行走至正好超出旋转靶材两端的位置时，由等离子喷涂系统控制柜向脉冲电磁阀发出控制信号，脉冲电磁阀打开，储气罐中气体由于压力作用从吹气架上吹出，从而达到不暂停等离子喷涂作业情况下自动吹除等离子喷涂过程中喷咀上积瘤目的。
本实用新型的有益效果是，可以在不暂停等离子喷涂作业情况下，自动吹除在等离子喷涂过程喷咀上产生的积瘤，大幅度降低了喷涂大尺寸、高纯度旋转靶材的时间和人力成本，间接提高了旋转靶材的结合强度和致密性。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图；
图2是本实用新型所述吹气架结构示意图；
图3是本实用新型实施例中所述行走机构结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
实施例：请参阅图1至图2所示，一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置，该自吹积瘤装置包括位于喷涂罐A外且依次利用气管连通的空气压缩机1、减压阀2、储气罐3及位于喷涂罐A内且依次利用高温气管4连通的脉冲电磁阀5、吹气架6。
请参阅图1至图2所示，前述空气压缩机4的出气口通过直径为Ø25的304不锈钢气管7与减压阀2的进气口相连，减压阀2的出气口通过直径为Ø25的304不锈钢气管7与储气罐3的进气口相连，而储气罐3的出气口通过直径为Ø20的高温气管4的穿过真空罐体法兰盘8的与脉冲电磁阀5的进气口连接，脉冲电磁阀5的出气口与吹气架6相连。
请参阅图1至图2所示，前述吹气架6为一金属圆环体，其中央通孔61与罐体上方设置的喷嘴套接，所述吹气架6下端面向下延伸形成弧形侧壁62，该弧形侧壁62上开设有两中心夹角呈锐角的吹气孔63，该两吹气孔63均通过高温气管4与脉冲电磁阀5连通，同时利用每个吹气孔63垂直与套于中央通孔61内喷嘴的喷出端垂直，从而形成针对喷嘴及中央通孔周侧边沿的吹积瘤结构。
请参阅图1至图2所示，本实用新型的工作原理如下：
空气通过空气压缩机1压缩后，经过不锈钢管7填充到储气罐3内。在等离子喷涂作业过程中，喷枪的喷嘴将会根据旋转靶材的长度，通过行走机构9的传动往返水平运动。当等离子喷枪行走至正好超出旋转靶材两端的位置时，等离子喷涂系统PLC控制柜向脉冲电磁阀5发出控制信号，脉冲电磁阀5打开，储气罐3中气体由于压力作用从吹气架6上快速吹出，从而达到不暂停等离子喷涂作业情况下自动吹除等离子喷涂过程中喷咀上产生的积瘤目的。
请参阅图1至图3所示，前述行走机构9位于真空靶材喷涂罐体A内并固定于罐体A内壁上；该行走机构包括固定架92、移动车93及伺服电机94。
请参阅图1至图3所示，前述所述固定架92包括固定板921及滑轨922，所述滑轨922固定于固定板921上，而固定板921固定于罐体91内壁上，其中滑轨922为两个平行设置的圆柱滑轨，每根滑轨下方均设置有滑轨支柱9221。
请参阅图1至图3所示，前述移动车93包括车架931、靶材支架932及滚轮933，所述滚轮933设置于车架931下方并分别与两圆柱滑轨922配合形成滑动机构，而靶材支架932上端呈弧形并固定于车架931中央并与罐体顶端的喷枪相对应；车架931一侧设置有定位板95，该定位板95下方设置有齿排951，该齿排951与齿轮96相互啮合，形成对移动车移动方向的定位结构，其中所述滚轮933为表面凹陷滚轮。
请参阅图1至图3所示，前述伺服电机94穿过罐体A侧壁伸入至罐体的喷涂腔内，前述齿轮固96定于伺服电机94的输出杆的输出端上，该齿轮96并与齿排951相互啮合。
以上所记载，仅为利用本创作技术内容的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。
Claims (6)
1.一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置，其特征在于：该自吹积瘤装置包括位于喷涂罐外且依次利用气管连通的空气压缩机、减压阀、储气罐及位于喷涂罐内且依次利用高温气管连通的脉冲电磁阀、吹气架。
2.根据权利要求1所述的一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置，其特征在于：所述空气压缩机、减压阀、储气罐之间利用不锈钢气管连通，且喷涂罐的上方的输出端利用高温气管与脉冲电磁阀连通。
3.根据权利要求1或2所述的一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置，其特征在于：所述脉冲电磁阀连通利用高温气管与吹气架侧面两吹气孔连通。
4.据权利要求3所述的一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置，其特征在于：所述吹气架为一金属圆环体，其中央通孔与罐体上方设置的喷嘴套接，形成喷嘴支撑构架。
5.据权利要求4所述的一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置，其特征在于：所述吹气架下端面向下延伸形成弧形侧壁，该弧形侧壁上开设有两吹气孔，每个吹气孔垂直与套于中央通孔内喷嘴的喷出端垂直，从而形成针对喷嘴及中央通孔周侧边沿的吹积瘤结构。
6.据权利要求5所述的一种靶材等离子喷涂自吹积瘤装置，其特征在于：所述两吹气孔中心夹角呈锐角。
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| CN107109629A (zh) * | 2014-12-31 | 2017-08-29 | 应用材料公司 | 用于在钛钨靶材中的小结控制的方法和设备 |
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| CN107109629B (zh) * | 2014-12-31 | 2020-04-10 | 应用材料公司 | 用于在钛钨靶材中的小结控制的方法和设备 |
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