CN203820905U - 镀前处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种镀前处理装置，其特征在于它包括镀前处理装置机架（2.1），上层的镀前处理装置机架（2.1）上的四个镀前处理洗槽从前至后依次为镀前处理碱洗槽（2.2）、镀前处理冷水洗槽（2.3）、镀前处理酸洗槽（2.4）以及镀前处理热水洗槽（2.5），下层的镀前处理装置机架（2.1）上的四个镀前处理集液槽从前至后依次为镀前处理碱洗液集液槽（2.8）、镀前处理冷水洗液集液槽（2.9）、镀前处理酸洗液集液槽（2.10）以及镀前处理热水洗液集液槽（2.11）。本实用新型镀前处理装置具有用于组装产品切割能力高、钻石粉镀覆均匀、且能够实现快速批量生产的裸钻石线锯生产系统的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种裸钻石线锯生产系统，尤其涉及一种用于裸钻石线锯生产系统的镀前处理装置。
背景技术
电子、新能源以及光学行业迅猛发展，将单晶硅，蓝宝石，磁性材料，陶瓷材料，玉石，贵金属等材料切割成晶片的制造厂商不断增加。市场上的主流多线切割工艺为“裸钢线+磨料浆液”。这种采用游离磨料的切割方式与以往的内圆锯片，外圆刀片，带锯相比，具有可切割大直径晶棒和多线同时切割，减少线损等优势，但也存在以下明显不足：
1、晶棒以及加工区域脂基研磨液污染；
2、泥浆状的切削液在使用后需要经过处理排放，易造成环境污染，再处理过程中水排放很大，环保压力大。
3、切割工艺为游离磨粒的材料去除机理，切削效率低；
4、蓝宝石，砷化镓、碳化硅等第二、三代半导体材料硬度高，难以切削，晶圆表面粗糙度高。
5、切割过后废料和磨料粒度相近，很难回收再利用。
钻石线锯切割工艺，切割速度是“裸钢线+磨料浆液”的3-5倍。在切割相同材料时，前者所需要的磨粒线只有后者的1%。自从改用乳化水冷却后，生产相同数量产品的废水量减少到以往的2%，符合国家节能减排的倡导。
电镀钻石线锯是将高硬度、高耐磨性的金刚石微粉固结在金属丝上。运用于晶体切割，切割速度快，废水量少，晶片弯曲度、翘曲度小，平行度好，总厚度公差离散型小，刀口切割损耗小，表面损伤层浅，晶片表面粗糙度小。被切割材料覆盖各种半导体材料，如硅、锗、钽酸锂，砷化镓、磷化铟，人造宝石、碳化硅以及石英玻璃、氧化铝片等材料的精密切割。
目前生产电镀钻石线锯的生产系统主要存在以下不足：
1、目前的钻石电镀钻石线锯都采用镀衣金刚石微粉，即在金刚石微粉表面用电镀或化学镀，复合镀等方式先镀一层金属，使微粉表面导电，然后投入使用。用这种方式可以使金刚石快速吸附在线表面,同时由于金刚石表面有导电性，在电沉积过程中，由于尖端效应，会使金刚石表面的镀层变得很厚，镀层厚度大于裸线表面的镀层厚度，影响线的切割能力。
2、镀衣金刚石沉积在裸线表面的时候，本身由于导电的问题，很容易再镀上金刚石，使表面产生团聚或者堆积的现象，影响切割质量。
3、现有应用的金刚线生产设备一般都是单根走线，生产效率较低。
因此寻求一种产品切割能力高、钻石粉镀覆均匀、且能够实现快速批量生产的裸钻石线锯生产系统尤为重要。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种用于组装产品切割能力高、钻石粉镀覆均匀、且能够实现快速批量生产的裸钻石线锯生产系统的镀前处理装置。
本实用新型的目的是这样实现的：
一种镀前处理装置，它包括镀前处理装置机架，镀前处理装置机架分为上下两层，上层的镀前处理装置机架上设置有四个镀前处理洗槽，四个镀前处理洗槽从前至后依次为镀前处理碱洗槽、镀前处理冷水洗槽、镀前处理酸洗槽以及镀前处理热水洗槽，上层的镀前处理装置机架的前端以及后端分别设置有镀前处理前导轮以及镀前处理后导轮，下层的镀前处理装置机架上设置有四个镀前处理集液槽，四个镀前处理集液槽从前至后依次为镀前处理碱洗液集液槽、镀前处理冷水洗液集液槽、镀前处理酸洗液集液槽以及镀前处理热水洗液集液槽，四个镀前处理集液槽分别位于四个镀前处理洗槽的下方。
四个镀前处理洗槽之间设置有镀前处理槽间挡板，各个镀前处理洗槽内还设置有分别位于镀前处理洗槽前段以及镀前处理洗槽后段的镀前处理槽内挡板，镀前处理槽间挡板以及镀前处理槽内挡板的顶部均设置有四个导线孔。
所述镀前处理碱洗槽以及镀前处理酸洗槽内的中部设置有前后布置的两个镀前处理洗槽管道支架，两个镀前处理洗槽管道支架上沿镀前处理洗槽长度方向并联架设有四个镀前处理洗液管道，四个镀前处理洗液管道之间连接有镀前处理洗液总管道，四个镀前处理洗液管道的两端敞开。
镀前处理装置机架顶部的各个镀前处理洗槽上均设置有洗槽盖，镀前处理装置机架侧面的各个镀前处理集液槽外均设置有侧门。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型镀前处理装置具有用于组装产品切割能力高、钻石粉镀覆均匀、且能够实现快速批量生产的裸钻石线锯生产系统的优点。
附图说明
图1为裸钻石线锯生产系统的结构图。
图2为镀前处理装置的结构图。
图3为图2去除洗槽盖以及侧门后的结构图。
图4为镀前处理装置内的上层结构图。
图5为图4的爆炸图。
图6为图5中的镀前处理洗槽结构图。
图7为图5中的镀前处理前导轮结构图。
图8为图5中的镀前处理洗槽管道支架以及镀前处理洗液管道结构图。
图9为图5中的镀前处理后导轮结构图。
其中：
放线装置1
镀前处理装置2、镀前处理装置机架2.1、镀前处理碱洗槽2.2、镀前处理冷水洗槽2.3、镀前处理酸洗槽2.4、镀前处理热水洗槽2.5、镀前处理前导轮2.6、镀前处理后导轮2.7、镀前处理碱洗液集液槽2.8、镀前处理冷水洗液集液槽2.9、镀前处理酸洗液集液槽2.10、镀前处理热水洗液集液槽2.11、镀前处理槽间挡板2.12、镀前处理槽内挡板2.13、镀前处理洗槽管道支架2.14、镀前处理洗液管道2.15
预镀装置3
上砂装置4
固化装置5
镀后处理装置6
烘箱7
收线装置8。
具体实施方式
参见图1，一种裸钻石线锯生产系统，它从前至后依次包括放线装置1、镀前处理装置2、预镀装置3、上砂装置4、固化装置5、镀后处理装置6、烘箱7以及收线装置8。
参见图2~图9，本实用新型涉及的一种镀前处理装置包括镀前处理装置机架2.1，镀前处理装置机架2.1分为上下两层，上层的镀前处理装置机架2.1上设置有四个镀前处理洗槽，四个镀前处理洗槽从前至后依次为镀前处理碱洗槽2.2、镀前处理冷水洗槽2.3、镀前处理酸洗槽2.4以及镀前处理热水洗槽2.5，上层的镀前处理装置机架2.1的前端以及后端分别设置有镀前处理前导轮2.6以及镀前处理后导轮2.7，即镀前处理前导轮2.6位于镀前处理碱洗槽2.2的前方，镀前处理后导轮2.7位于镀前处理热水洗槽2.5的后方，下层的镀前处理装置机架2.1上设置有四个镀前处理集液槽，四个镀前处理集液槽从前至后依次为镀前处理碱洗液集液槽2.8、镀前处理冷水洗液集液槽2.9、镀前处理酸洗液集液槽2.10以及镀前处理热水洗液集液槽2.11，四个镀前处理集液槽分别位于四个镀前处理洗槽的下方，即镀前处理碱洗液集液槽2.8、镀前处理冷水洗液集液槽2.9、镀前处理酸洗液集液槽2.10以及镀前处理热水洗液集液槽2.11分别位于镀前处理碱洗槽2.2、镀前处理冷水洗槽2.3、镀前处理酸洗槽2.4以及镀前处理热水洗槽2.5的下方，各个镀前处理洗槽内均设置有排液孔，通过各个镀前处理洗槽内的排液孔将各个镀前处理洗槽内的洗液排放至其下方的镀前处理集液槽内，各个镀前处理集液槽分别通过各自连接的一个洗液输送泵将镀前处理集液槽内的洗液输送至其上方的镀前处理洗槽内，四个镀前处理洗槽之间设置有镀前处理槽间挡板2.12，各个镀前处理洗槽内还设置有分别位于镀前处理洗槽前段以及镀前处理洗槽后段的镀前处理槽内挡板2.13，镀前处理槽间挡板2.12以及镀前处理槽内挡板2.13的顶部均设置有四个导线孔，所述镀前处理碱洗槽2.2以及镀前处理酸洗槽2.4内的中部设置有前后布置的两个镀前处理洗槽管道支架2.14，两个镀前处理洗槽管道支架2.14上沿镀前处理洗槽长度方向并联架设有四个镀前处理洗液管道2.15，四个镀前处理洗液管道2.15之间连接有镀前处理洗液总管道，洗液输送泵可以将镀前处理集液槽内的洗液输送至镀前处理洗液总管道内，镀前处理洗液总管道再将洗液分配至四个镀前处理洗液管道2.15内，四个镀前处理洗液管道2.15的两端敞开，进入镀前处理洗液管道2.15内的洗液从其两端开口落至镀前处理洗槽内。镀前处理装置机架2.1顶部的各个镀前处理洗槽上均设置有洗槽盖，镀前处理装置机架2.1侧面的各个镀前处理集液槽外均设置有侧门。镀前处理装置2的酸洗液为稀盐酸，碱洗液为氢氧化钠，碱洗去油。
Claims (4)
1.一种镀前处理装置，其特征在于它包括镀前处理装置机架（2.1），镀前处理装置机架（2.1）分为上下两层，上层的镀前处理装置机架（2.1）上设置有四个镀前处理洗槽，四个镀前处理洗槽从前至后依次为镀前处理碱洗槽（2.2）、镀前处理冷水洗槽（2.3）、镀前处理酸洗槽（2.4）以及镀前处理热水洗槽（2.5），上层的镀前处理装置机架（2.1）的前端以及后端分别设置有镀前处理前导轮（2.6）以及镀前处理后导轮（2.7），下层的镀前处理装置机架（2.1）上设置有四个镀前处理集液槽，四个镀前处理集液槽从前至后依次为镀前处理碱洗液集液槽（2.8）、镀前处理冷水洗液集液槽（2.9）、镀前处理酸洗液集液槽（2.10）以及镀前处理热水洗液集液槽（2.11），四个镀前处理集液槽分别位于四个镀前处理洗槽的下方。
2.根据权利要求1所述的一种镀前处理装置，其特征在于四个镀前处理洗槽之间设置有镀前处理槽间挡板（2.12），各个镀前处理洗槽内还设置有分别位于镀前处理洗槽前段以及镀前处理洗槽后段的镀前处理槽内挡板（2.13），镀前处理槽间挡板（2.12）以及镀前处理槽内挡板（2.13）的顶部均设置有四个导线孔。
3.根据权利要求1所述的一种镀前处理装置，其特征在于所述镀前处理碱洗槽（2.2）以及镀前处理酸洗槽（2.4）内的中部设置有前后布置的两个镀前处理洗槽管道支架（2.14），两个镀前处理洗槽管道支架（2.14）上沿镀前处理洗槽长度方向并联架设有四个镀前处理洗液管道（2.15），四个镀前处理洗液管道（2.15）之间连接有镀前处理洗液总管道，四个镀前处理洗液管道（2.15）的两端敞开。
4.根据权利要求1所述的一种镀前处理装置，其特征在于镀前处理装置机架（2.1）顶部的各个镀前处理洗槽上均设置有洗槽盖，镀前处理装置机架（2.1）侧面的各个镀前处理集液槽外均设置有侧门。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201420188536.6U CN203820905U (zh) | 2014-04-17 | 2014-04-17 | 镀前处理装置 |
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| CN201420188536.6U CN203820905U (zh) | 2014-04-17 | 2014-04-17 | 镀前处理装置 |
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| CN107805820A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-16 | 浙江新瑞欣精密线锯有限公司 | 一种线锯镀前清洗装置 |
| CN107829118A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-23 | 浙江新瑞欣精密线锯有限公司 | 一种线锯生产线 |
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