CN203820909U - 固化装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种固化装置，其特征在于它包括固化装置机架（5.1），上层的固化装置机架（5.1）上设置有固化槽，下层的固化装置机架（5.1）上设置有固化液集液槽（5.2），固化槽包括上下布置的上层固化槽（5.3）以及下层固化槽（5.4），所述上层固化槽（5.3）以及下层固化槽（5.4）的中段设置有四个固化槽托架（5.5），四个固化槽托架（5.5）上设置有固化液管道（5.6），所述下层固化槽（5.4）的前段以及后段设置有固化槽导电轮（5.9）。本实用新型固化装置用于组装裸钻石线锯生产系统具有产品切割能力高、钻石粉镀覆均匀、且能够实现快速批量生产的优点。

Description

固化装置

技术领域

本实用新型涉及一种裸钻石线锯生产系统，尤其涉及一种用于裸钻石线锯生产系统的固化装置。

背景技术

电子、新能源以及光学行业迅猛发展，将单晶硅，蓝宝石，磁性材料，陶瓷材料，玉石，贵金属等材料切割成晶片的制造厂商不断增加。市场上的主流多线切割工艺为“裸钢线+磨料浆液”。这种采用游离磨料的切割方式与以往的内圆锯片，外圆刀片，带锯相比，具有可切割大直径晶棒和多线同时切割，减少线损等优势，但也存在以下明显不足：

1、晶棒以及加工区域脂基研磨液污染；

2、泥浆状的切削液在使用后需要经过处理排放，易造成环境污染，再处理过程中水排放很大，环保压力大。

3、切割工艺为游离磨粒的材料去除机理，切削效率低；

4、蓝宝石，砷化镓、碳化硅等第二、三代半导体材料硬度高，难以切削，晶圆表面粗糙度高。

5、切割过后废料和磨料粒度相近，很难回收再利用。

钻石线锯切割工艺，切割速度是“裸钢线+磨料浆液”的3-5倍。在切割相同材料时，前者所需要的磨粒线只有后者的1%。自从改用乳化水冷却后，生产相同数量产品的废水量减少到以往的2%，符合国家节能减排的倡导。

电镀钻石线锯是将高硬度、高耐磨性的金刚石微粉固结在金属丝上。运用于晶体切割，切割速度快，废水量少，晶片弯曲度、翘曲度小，平行度好，总厚度公差离散型小，刀口切割损耗小，表面损伤层浅，晶片表面粗糙度小。被切割材料覆盖各种半导体材料，如硅、锗、钽酸锂，砷化镓、磷化铟，人造宝石、碳化硅以及石英玻璃、氧化铝片等材料的精密切割。

目前生产电镀钻石线锯的生产系统主要存在以下不足：

1、目前的钻石电镀钻石线锯都采用镀衣金刚石微粉，即在金刚石微粉表面用电镀或化学镀，复合镀等方式先镀一层金属，使微粉表面导电，然后投入使用。用这种方式可以使金刚石快速吸附在线表面,同时由于金刚石表面有导电性，在电沉积过程中，由于尖端效应，会使金刚石表面的镀层变得很厚，镀层厚度大于裸线表面的镀层厚度，影响线的切割能力。

2、镀衣金刚石沉积在裸线表面的时候，本身由于导电的问题，很容易再镀上金刚石，使表面产生团聚或者堆积的现象，影响切割质量。

3、现有应用的金刚线生产设备一般都是单根走线，生产效率较低。

因此寻求一种产品切割能力高、钻石粉镀覆均匀、且能够实现快速批量生产的裸钻石线锯生产系统尤为重要。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种用于组装产品切割能力高、钻石粉镀覆均匀、且能够实现快速批量生产的裸钻石线锯生产系统的固化装置。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种固化装置，它包括固化装置机架，固化装置机架分为上下两层，上层的固化装置机架上设置有固化槽，下层的固化装置机架上设置有固化液集液槽，固化槽包括上下布置的上层固化槽以及下层固化槽，所述上层固化槽以及下层固化槽的中段沿固化槽的长度方向均设置有四个固化槽托架，四个固化槽托架上设置有固化液管道，所述上层固化槽的四个固化槽托架的前方以及后方均设置有上层固化槽导料板，所述下层固化槽的四个固化槽托架的前方以及后方均设置有下层固化槽导料板，所述下层固化槽的前段以及后段设置有固化槽导电轮，固化槽导电轮前方的固化槽内从前至后设置有三块固化槽挡板，上层固化槽以及下层固化槽的底部均设置有排液孔。

固化装置机架的左右侧面设置有固化装置侧门。

固化装置机架的前后分别设置有进料口以及出料口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型固化装置用于组装裸钻石线锯生产系统具有产品切割能力高、钻石粉镀覆均匀、且能够实现快速批量生产的优点。

附图说明

图1为裸钻石线锯生产系统的结构图。

图2为固化装置的结构图。

图3为图2去除侧门后的结构图。

图4为固化槽的结构图。

图5为上层固化槽的结构图。

图6为图5的爆炸图。

图7为下层固化槽的结构图。

图8为图7的爆炸图。

其中：

放线装置1

镀前处理装置2

预镀装置3

上砂装置4

固化装置5、固化装置机架5.1、固化液集液槽5.2、上层固化槽5.3、下层固化槽5.4、固化槽托架5.5、固化液管道5.6、上层固化槽导料板5.7、下层固化槽导料板5.8、固化槽导电轮5.9、固化槽挡板5.10

镀后处理装置6

烘箱7

收线装置8。

具体实施方式

参见图1，一种裸钻石线锯生产系统，它从前至后依次包括放线装置1、镀前处理装置2、预镀装置3、上砂装置4、固化装置5、镀后处理装置6、烘箱7以及收线装置8。

参见图2~图9，本实用新型涉及的一种固化装置5包括固化装置机架5.1，固化装置机架5.1分为上下两层，上层的固化装置机架5.1上设置有固化槽，下层的固化装置机架5.1上设置有固化液集液槽5.2，固化槽包括上下布置的上层固化槽5.3以及下层固化槽5.4，所述上层固化槽5.3以及下层固化槽5.4的中段沿固化槽的长度方向均设置有四个固化槽托架5.5，四个固化槽托架5.5上设置有固化液管道5.6，所述上层固化槽5.3的四个固化槽托架5.5的前方以及后方均设置有上层固化槽导料板5.7，上层固化槽导料板5.7的顶部设置有二十个导线孔，所述下层固化槽5.4的四个固化槽托架5.5的前方以及后方均设置有下层固化槽导料板5.8，下层固化槽导料板5.8的顶部设置有二十个导线孔，所述下层固化槽5.4的前段以及后段设置有固化槽导电轮5.9，固化槽导电轮5.9前方的固化槽内从前至后设置有三块固化槽挡板5.10，上层固化槽5.3以及下层固化槽5.4的底部均设置有排液孔，通过各个排液孔将固化槽内的固化液排放至其下方的固化液集液槽5.2内，固化液集液槽5.2又通过输送泵将固化液集液槽5.2内的固化液输送至上层固化槽5.3以及下层固化槽5.4内的固化液管道5.6，固化液管道5.6内的固化液落至固化槽内，固化装置机架5.1的左右侧面设置有固化装置侧门，固化装置机架5.1的前后分别设置有进料口以及出料口。固化装置5的固化液为氨基磺酸镍镀液。

Claims (3)

1.一种固化装置，其特征在于它包括固化装置机架（5.1），固化装置机架（5.1）分为上下两层，上层的固化装置机架（5.1）上设置有固化槽，下层的固化装置机架（5.1）上设置有固化液集液槽（5.2），固化槽包括上下布置的上层固化槽（5.3）以及下层固化槽（5.4），所述上层固化槽（5.3）以及下层固化槽（5.4）的中段沿固化槽的长度方向均设置有四个固化槽托架（5.5），四个固化槽托架（5.5）上设置有固化液管道（5.6），所述上层固化槽（5.3）的四个固化槽托架（5.5）的前方以及后方均设置有上层固化槽导料板（5.7），所述下层固化槽（5.4）的四个固化槽托架（5.5）的前方以及后方均设置有下层固化槽导料板（5.8），所述下层固化槽（5.4）的前段以及后段设置有固化槽导电轮（5.9），固化槽导电轮（5.9）前方的固化槽内从前至后设置有三块固化槽挡板（5.10），上层固化槽（5.3）以及下层固化槽（5.4）的底部均设置有排液孔。

2.根据权利要求1所述的一种固化装置，其特征在于固化装置机架（5.1）的左右侧面设置有固化装置侧门。

3.根据权利要求1所述的一种固化装置，其特征在于固化装置机架（5.1）的前后分别设置有进料口以及出料口。