CN203804701U - 一种多晶硅端面磨床 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅端面磨床，包括机架以及安装在机架上的驱动电机，驱动电机通过丝杆机构与磨头组件连接，磨头组件包括主轴、磨头旋转驱动机构及磨头；磨头旋转驱动机构包括支撑框、绕组、导磁块及外壳，支撑框位于外壳的内腔，且支撑框套接在主轴外围，同时支撑框与主轴固定连接，绕组分布在支撑框与主轴之间的间隙内；外壳可旋转地套接在主轴外围，导磁块安装在外壳上；绕组与激励电源连接，且绕组与导磁块之间磁性连接；因此，本实用新型采用由支撑框、绕组、导磁块以及外壳组成的励磁机构驱动磨头做旋转运动，更易于满足多晶硅块的磨削加工需求；同时本实用新型还配备了相应的冷却系统，便于磨头磨削加工时的磨头定向冷却。

Description

一种多晶硅端面磨床

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅端面磨床，属于多晶硅块的磨削加工技术领域。

背景技术

在对多晶硅块进行磨削加工时，因磨削发热，通常会导致磨头或者磨头与多晶硅块接触面温度升高过快，为降低该温度，现在的一般做法时，工人根据经验对磨头喷淋冷却水。由此可知，这样的冷却方式存在以下的不足：1、冷却水喷淋时间的不可控制，极易导致磨头在过热情况下进行磨削加工，一方面造成次品率增加，另一方面，磨头的使用寿命将极大地降低；2、磨头冷却水喷淋位置的不可确定，即对磨头的冷却可能不够均匀，同时冷却水到处喷洒，影响其他部件的正常工作。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术的不足，提供一种多晶硅端面磨床，其具有不同于现有技术的磨床驱动方式，并对所述的磨头配备了冷却机构，便于磨头磨削加工时的磨头定向冷却。

为实现以上的技术目的，本实用新型将采取以下的技术方案：

一种多晶硅端面磨床，包括机架以及安装在机架上的驱动电机，所述的驱动电机通过丝杆机构与磨头组件连接，所述的磨头组件包括主轴、磨头旋转驱动机构以及磨头；所述的磨头旋转驱动机构包括支撑框、绕组、导磁块以及外壳，支撑框位于外壳的内腔，且支撑框套接在主轴外围，同时支撑框与主轴固定连接，绕组分布在支撑框与主轴之间的间隙内；外壳可旋转地套接在主轴外围，导磁块安装在外壳的内壁所设置的凸台上；所述绕组与激励电源连接，且绕组与导磁块之间磁性连接；所述主轴为空心管件，主轴的一端穿出外壳后与机架固定，主轴的另一端穿出外壳后闲置，所述主轴靠近闲置端的管壁上周向开设排水孔；磨头通过磨头连接块与外壳连接成一体，且磨头连接块与主轴闲置端之间具有容水区域，容水区域通过主轴上的排水孔与主轴内腔连通；磨头连接块开设有两条以上的喷水通道，所述的喷水通道与容水区域连通，且喷水通道的喷水口靠近磨头设置。

所述的丝杆机构包括丝杠以及连接座，丝杠以及连接座之间具有螺纹连接副；丝杠与驱动电机的动力输出端连接，连接座通过箍环与磨头组件连接，所述的箍环与磨头组件的外壳箍紧。

所述的驱动电机为步进电机。

所述机架包括一立板以及与立板下端连接的底板、与立板上端连接的顶板，步进电机固定安装在顶板上，而主轴通过衬套与顶板固定；底板上则安装用于夹持工件的夹具。

根据以上的技术方案，相对于现有技术，本实用新型具有以下的优点：

本实用新型所述的多晶硅端面磨床，采用由支撑框、绕组、导磁块以及外壳组成的励磁机构驱动磨头做旋转运动，以进行工件（多晶硅块）的磨削加工，由于多晶块的易碎特质，本发明所述的驱动机构更易于满足其磨削加工的需求；同时本实用新型还配备了相应的冷却系统，便于磨头磨削加工时的磨头定向冷却。

附图说明

图1是本实用新型所述多晶硅端面磨床的结构示意图；

图中：机架1；丝杠2；步进电机3；衬套4；主轴5；箍环6；磨头组件7；连接座8；夹具9；

图2是本实用新型所述磨头组件的结构示意图；

图中：主轴5；止推块72；绕组73；支撑框74；外壳75；导磁块76；螺栓组件77；喷水通道78；连接插柱79；磨头710；排水孔711；磨头连接块712。

具体实施方式

附图非限制性地公开了本实用新型所涉及优选实施例的结构示意图；以下将结合附图详细地说明本实用新型的技术方案。

如图1所示，本实用新型所述的多晶硅端面磨床，包括机架1、丝杠2、步进电机3、衬套4、箍环6、磨头组件7、连接座8、夹具9；其中：所述机架包括一立板以及与立板下端连接的底板、与立板上端连接的顶板，所述夹具安装在底板上，而步进电机则与顶板固定连接，同时，磨头组件7的主轴也通过衬套与顶板固定连接；所述步进电机的动力输出端依次通过丝杆、连接座以及箍环与磨头组件连接，所述的丝杆与连接座之间具有一螺纹连接幅，以用于调节磨头组件与夹具之间的间距；

如图2所示，本实用新型所述的磨头组件，包括主轴5、止推块72、绕组73、支撑框74、外壳75、导磁块76、螺栓组件77、喷水通道78、连接插柱79、磨头710、排水孔711、磨头连接块712；其中：

所述主轴，为一空心管件，其一端设置有止推块，另一端附近的管壁周向开设排水孔；

所述外壳，可以绕主轴做旋转运动，用于安装导磁块；

所述支撑框，套接在主轴外围，并与主轴固定连接，用于安装绕组；绕组与激励电源连接，使得绕组和导磁块之间磁性连接，产生磁场，促使外壳做围绕主轴的旋转运动；

所述磨头连接块，通过螺栓组件将磨头和外壳连接成一体， 其与主轴之间具有间隙，为容水区域，便于主轴内腔的水通过该流水区域流向磨头连接块上所开设的多条喷水通道，所述的喷水通道的喷水口在磨头的外侧，并紧靠着磨头设置；喷水通道的进水口依次通过容水区域、主轴上的排水孔与主轴的内腔连通；在外壳的带动下，一方面磨头做旋转运动，进行磨削加工，另一方面，由于磨头连接块的旋转，使得喷水通道中的水流因离心而喷洒在磨头的磨削面上，从而对磨头进行冷却操作。

Claims (4)

1.一种多晶硅端面磨床，包括机架以及安装在机架上的驱动电机，所述的驱动电机通过丝杆机构与磨头组件连接，其特征在于，所述的磨头组件包括主轴、磨头旋转驱动机构以及磨头；所述的磨头旋转驱动机构包括支撑框、绕组、导磁块以及外壳，支撑框位于外壳的内腔，且支撑框套接在主轴外围，同时支撑框与主轴固定连接，绕组分布在支撑框与主轴之间的间隙内；外壳可旋转地套接在主轴外围，导磁块安装在外壳的内壁所设置的凸台上；所述绕组与激励电源连接，且绕组与导磁块之间磁性连接；所述主轴为空心管件，主轴的一端穿出外壳后与机架固定，主轴的另一端穿出外壳后闲置，所述主轴靠近闲置端的管壁上周向开设排水孔；磨头通过磨头连接块与外壳连接成一体，且磨头连接块与主轴闲置端之间具有容水区域，容水区域通过主轴上的排水孔与主轴内腔连通；磨头连接块开设有两条以上的喷水通道，所述的喷水通道与容水区域连通，且喷水通道的喷水口靠近磨头设置。

2.根据权利要求1所述多晶硅端面磨床，其特征在于：所述的丝杆机构包括丝杠以及连接座，丝杠以及连接座之间具有螺纹连接副；丝杠与驱动电机的动力输出端连接，连接座通过箍环与磨头组件连接，所述的箍环与磨头组件的外壳箍紧。

3.根据权利要求1所述多晶硅端面磨床，其特征在于：所述的驱动电机为步进电机。

4.根据权利要求3所述多晶硅端面磨床，其特征在于：所述机架包括一立板以及与立板下端连接的底板、与立板上端连接的顶板，步进电机固定安装在顶板上，而主轴通过衬套与顶板固定；底板上则安装用于夹持工件的夹具。