CN203741408U - 镀膜基片架 - Google Patents

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CN203741408U CN201420067351.XU CN201420067351U CN203741408U CN 203741408 U CN203741408 U CN 203741408U CN 201420067351 U CN201420067351 U CN 201420067351U CN 203741408 U CN203741408 U CN 203741408U
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徐旻生
庄炳河
张永祺
张永胜
王应斌
龚文志
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Aifake China Investment Co ltd
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Ulvac Opto Electronics Thinfilm Technology Shenzhen Co Ltd
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Abstract

一种镀膜基片架,包括基板、形成于基板上的固定座、以及连接于固定座上的压杆,所述基板上形成有凹槽用于装载基片,所述压杆用于抵压基片,所述固定座形成于凹槽的侧边,包括磁石、支架、以及磁性转块,所述支架连接于基板上,所述磁性转块可转动地连接于支架上,与磁石相对应并与其磁性相吸,所述压杆连接于所述磁性转块上并随所述磁性转块转动以靠近或远离基板,本实用新型镀膜基片架通过设置磁石以及磁性转块,利用磁性吸引力使压杆维持在特定的状态,方便地装载或取出基片,整个操作过程无需专人维持压杆的位置,单个操作人员即可轻易地完成整个操作过程,结构简单、操作方便、省时省力,大大提高生产效率。

Description

镀膜基片架
技术领域
本实用新型涉及镀膜技术,尤其涉及一种固定基片的镀膜基片架。
背景技术
镀膜技术是在真空条件下采用物理或化学的方法在物体表面上形成各种膜层,被广泛地应用于耐酸、耐蚀、耐热、表面硬化、装饰、润滑、光电通讯、电子集成、能源等领域。在进行镀膜之前,需要将待镀膜的基片装卡固定于镀膜基片架上,而在镀膜完成之后需要取出基片,基片的装载与取出相当浪费人力,严重影响生产效率。
发明内容
有鉴于此,提供一种可以方便、可靠装载与取出基片的镀膜基片架。
一种镀膜基片架,包括基板、形成于基板上的固定座、以及连接于固定座上的压杆,所述基板上形成有凹槽用于装载基片,所述压杆用于抵压基片,所述固定座形成于凹槽的侧边,包括磁石、支架、以及磁性转块,所述支架连接于基板上,所述磁性转块可转动地连接于支架上,与磁石相对应并与其磁性相吸,所述压杆连接于所述磁性转块上并随所述磁性转块转动以靠近或远离基板。
进一步地,所述磁性转块呈L形,包括相互垂直的内压块与外压块,枢轴穿过所述内压块与外压块的连接部位将所述磁性转块可转动地连接于支架上,所述枢轴平行于固定座对应的凹槽的侧边。
进一步地,所述支架上形成有缺口,所述枢轴的两端固定连接于缺口的两侧。
进一步地,所述磁石对应于所述缺口设置,所述枢轴位于磁石的中部。
进一步地,所述压杆上连接有弹片用于抵压基片。
进一步地,所述凹槽的每一侧边设有至少一固定座。
相较于现有技术,本实用新型镀膜基片架通过设置磁石以及磁性转块,利用磁性吸引力使压杆维持在特定的状态,方便地装载或取出基片,整个操作过程无需专人维持压杆的位置,单个操作人员即可轻易地完成整个操作过程,结构简单、操作方便、省时省力,同时还可避免在走架过程中基片掉落,大大提高生产效率。
附图说明
图1为本实用新型镀膜基片架的结构示意图。
图2为图1中圈II的放大图。
图3为本实用新型镀膜基片架的固定结构的剖视图。
具体实施方式
以下将结合附图及具体实施方式对本实用新型进行详细说明。
如图1所示,本实用新型镀膜基片架用于在镀膜过程中固定基片,包括基板10、形成于基板10上的固定座20、以及连接于固定座20上的压杆30。
所述基板10呈方形薄板状结构,其正面的中央设有若干凹槽12,每一凹槽12位置对应可放置一个基片,也就是说所述基板10上可以同时装载多个基片进行镀膜。本实施例中,所述凹槽12呈阵列状排布,可以理解地,所述凹槽12并不限于本实施例所示结构,其数量、排布可以根据需要做相应改变。
请同时参阅图2及图3,所述固定座20形成于凹槽12的侧边位置,每一凹槽12的每一侧边至少形成有一固定座20。本实施例中,每一凹槽12的每一侧边形成有两个固定座20。所述固定座20结构相同,每一固定座20包括支架22、磁性转块24、以及磁石26。所述基板10上形成有凹陷,所述磁石26收容于基板10的凹陷内,磁石26具有一定的宽度。
所述支架22固定连接于基板10上并抵压于所述磁石26之上,将磁石26固定于基板10上。所述支架22的中部形成有缺口,所述缺口正对所述磁石26。所述缺口内连接有枢轴23,枢轴23的两端固定连接于支架22的缺口的两侧。所述枢轴23平行于固定座20对应所在凹槽12的侧边,对应于磁石26的中央位置。所述磁性转块24通过枢轴23可转动地连接于支架22上且位于磁石26的正上方。本实施例中,所述磁性转块24呈L形,包括大致相互垂直的内压块241与外压块243,所述枢轴23穿过所述内压块241与外压块243的连接部位,从而所述磁性转块24可以相对支架22转动使其内压块241或外压块243与磁石26靠近或远离。
所述压杆30连接于所述固定座20的磁性转块24的内压块241上,并可随所述磁性转块24转动。所述压杆30上连接有弹片,可以提供一定的弹性力。
本实用新型镀膜基片架用于基片镀膜时,首先向外旋转固定座20的磁性转块24使内压块241垂直于基板10而外压块243平行于基板10,同时带动与磁性转块24的内压块241相连的压杆30向外翻转离开基板10,此时外压块243靠近所述磁石26并与磁石26相吸,通过磁石26对磁性转块24的外压块243的吸引力使压杆30维持在外翻与基板10分离的状态,如此可以方便地将基片装载至基板10的凹槽12位置上。
在基片装载完成后,向内旋转所述磁性转块24使其外压块243克服磁石26的吸引力向内转动,直至外压块243呈垂直状而内压块241平行于基板10,所述磁性转块24向内转动的同时带动所述压杆30向内转动,使压杆30上的弹片抵压装载于基板10上的基片,此时内压块241靠近所述磁石26并与磁石26相吸,通过磁石26对磁性转块24的内压块241的吸引力使压杆30维持在抵压基片的状态,如此在随后的镀膜过程中使基片维持在固定位置上,保证镀膜的质量。另外,由于所述压杆30上连接有弹片,在转动压杆30抵压基片的过程中所述弹片可以提供一定的缓冲,避免对基片造成损伤。在压杆30完全抵压于基片上时,所述弹片还能对基片提供一定的弹性回复力,使基片固定在预定位置。
当基片完成镀膜之后,同样地,仅需向外转动固定座20的磁性转块24,使压杆30维持在与基片分离的状态,即可方便地取出完成镀膜的基片,进行后续动作。本实用新型磁性基片架通过设置磁石26以及磁性转块24,利用磁性吸引力使压杆30维持在特定的状态,方便地装载或取出基片,整个操作过程无需专人维持压杆30的位置,单个操作人员即可轻易地完成整个操作过程,结构简单、操作方便、省时省力,同时还可避免在走架过程中基片掉落,大大提高生产效率。
需要说明的是,本实用新型并不局限于上述实施方式,根据本实用新型的创造精神,本领域技术人员还可以做出其他变化,这些依据本实用新型的创造精神所做的变化,都应包含在本实用新型所要求保护的范围之内。

Claims (6)

1.一种镀膜基片架,包括基板、形成于基板上的固定座、以及连接于固定座上的压杆,所述基板上形成有凹槽用于装载基片,所述压杆用于抵压基片,其特征在于,所述固定座形成于凹槽的侧边,包括磁石、支架、以及磁性转块,所述支架连接于基板上,所述磁性转块可转动地连接于支架上,与磁石相对应并与其磁性相吸,所述压杆连接于所述磁性转块上并随所述磁性转块转动以靠近或远离基板。
2.如权利要求1所述的镀膜基片架,其特征在于,所述磁性转块呈L形,包括相互垂直的内压块与外压块,枢轴穿过所述内压块与外压块的连接部位将所述磁性转块可转动地连接于支架上,所述枢轴平行于固定座对应的凹槽的侧边。
3.如权利要求2所述的镀膜基片架,其特征在于,所述支架上形成有缺口,所述枢轴的两端固定连接于缺口的两侧。
4.如权利要求3所述的镀膜基片架,其特征在于,所述磁石对应于所述缺口设置,所述枢轴位于磁石的中部。
5.如权利要求1所述的镀膜基片架,其特征在于,所述压杆上连接有弹片用于抵压基片。
6.如权利要求1~5中任意一项所述的镀膜基片架,其特征在于,所述凹槽的每一侧边设有至少一固定座。
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