CN203659834U - 一种等离子刻蚀用硅片夹具 - Google Patents

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万松博
孙祥
王栩生
章灵军
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Abstract

本实用新型公开了一种等离子刻蚀用硅片夹具，包括上底板、下底板和螺杆，所述上下底板的四边各设有4个连接部，连接部内设有与所述螺杆配合的通孔；所述螺杆为4根；所述上下底板通过通孔套设于螺杆上。本实用新型设计得到了一种新的等离子刻蚀用硅片夹具，在上下底板的四边各设置1连接部，四边通过螺杆套接，从而使硅片的四边受力更加均匀，都得到充分的夹紧，杜绝了等离子气体钻入硅片之间，很好的解决了在等离子刻蚀过程中等离子气体对硅片表面磷硅玻璃层的破坏问题。

Description

一种等离子刻蚀用硅片夹具
技术领域
本实用新型涉及一种等离子刻蚀用硅片夹具，是太阳能电池生产过程中使用的一种辅助工具，属于太阳能领域。
背景技术
光伏发电是最具可持续发展理想特征的发电技术之一。常规的化石燃料日益消耗殆尽，在所有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。目前，在所有的太阳能电池中，硅太阳能电池是得到大范围商业推广的太阳能电池之一，这是由于硅材料在地壳中有着极为丰富的储量，同时硅太阳能电池相比其他类型的太阳能电池，有着优异的电学性能和机械性能。在未来光伏技术的发展中，随着硅太阳能电池光电性能的进一步提高，硅材料价格的进一步降低，硅太阳能电池仍将在光伏领域占据重要的地位。
目前，硅太阳能电池的生产工艺已经工业化，其制造流程一般为：表面清洗及织构化、扩散、清洗刻蚀去边、镀膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触、测试。其中，用于制作PN结的扩散工序是核心工序之一。扩散工序之后是清洗刻蚀去边工序，现有的刻蚀去边工序普遍采用的是等离子刻蚀去边。生产时，首先将扩散后的硅片整齐的叠放在一起，然后使用等离子刻蚀用的硅片夹具夹紧后，放入等离子刻蚀设备内进行刻蚀去边。
现有的等离子刻蚀用的硅片夹具包括上底板和下底板，上、下底板呈正方形或矩形，上下底板的相对两边各设一根导柱，这两根导柱起到夹紧上下底板的作用，例如，中国实用新型CN202013874U公开的等离子刻蚀夹具，其包括底座和压板，底座设在下部，底座和压板的两端套设有2根螺杆，螺杆设在两侧。
然而，由于硅片是依靠上下底板的压力而贴合在一起的。由于夹具的四边中只有两边有导柱而另外两边没有导柱，硅片四边的受力不均匀，无导柱的硅片的两边很容易因为夹的较松而导致等刻气体钻入硅片之间而破坏硅片表面的磷硅玻璃层。在早期的制作工艺中，扩散生成的磷硅玻璃层在扩散结束后最终会被去除，因此等刻造成的磷硅玻璃破坏不会对电池制作造成负面影响。但随着工艺的进步，一些新出现的工艺会利用到上述扩散生成的副产物磷硅玻璃。
发明内容
本实用新型目的是提供一种等离子刻蚀用硅片夹具。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种等离子刻蚀用硅片夹具，包括上底板、下底板和螺杆，所述上下底板的四边各设有4个连接部，连接部内设有与所述螺杆配合的通孔；所述螺杆为4根；所述上下底板通过通孔套设于螺杆上。
上述技术方案中，所述上下底板和其上的连接部为一体结构。
上述技术方案中，所述上底板和下底板的尺寸均与其所夹硅片的尺寸相同。
上述技术方案中，所述导柱的长度为15 cm，直径为12 mm。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：
1、本实用新型设计得到了一种新的等离子刻蚀用硅片夹具，在上下底板的四边各设置1连接部，四边通过螺杆套接，从而使硅片的四边受力更加均匀，都得到充分的夹紧，杜绝了等离子气体钻入硅片之间，很好的解决了在等离子刻蚀过程中等离子气体对硅片表面磷硅玻璃层的破坏问题。
2、本实用新型的结构简单，便于制备，且具有良好的可操作性、实用性，适于推广应用。
3、本实用新型方便多种类型硅片进行等离子刻蚀工艺，且其结构简单，充分考虑了现场的可操作性、安全性和工艺卫生的要求，具有积极的现实意义。
附图说明
图1是本实用新型实施例一中下底板的结构示意图；
图2是图1的A-A剖视图；
图3是本实用新型实施例一中上底板的结构示意图；
图4是图3的B-B剖视图；
图5是本实用新型实施例一的组装示意图。
其中：1、上底板；2、下底板；3、螺杆；4、连接部；5、通孔；6、锁紧螺母。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
实施例一
参见图1~5所示，一种等离子刻蚀用硅片夹具，包括上底板1、下底板2和螺杆3，所述上下底板的四边各设有4个连接部4，连接部内设有与所述螺杆配合的通孔5；所述螺杆为4根；所述上下底板通过通孔套设于螺杆上。
上底板通过四边的通孔套在四根螺杆上，上底板可沿螺杆上下滑动。所述上底板和下底板的边长等于其所夹硅片的边长。所述通孔位于连接部的中点位置。螺杆的长度为15cm，直径为12mm。所述上底板的圆孔内有导套，且导套与上底板紧配。所述导柱上端配有锁紧螺母6。

Claims (4)

1.一种等离子刻蚀用硅片夹具，包括上底板(1)、下底板(2)和螺杆(3)，其特征在于：所述上下底板的四边各设有4个连接部(4)，连接部内设有与所述螺杆配合的通孔(5)；所述螺杆为4根；所述上下底板通过通孔套设于螺杆上。
2.根据权利要求1所述的等离子刻蚀用硅片夹具，其特征在于：所述上下底板和其上的连接部为一体结构。
3.根据权利要求1所述的等离子刻蚀用硅片夹具，其特征在于：所述上底板和下底板的尺寸均与其所夹硅片的尺寸相同。
4.根据权利要求1所述的等离子刻蚀用硅片夹具，其特征在于：所述导柱的长度为15 cm，直径为12 mm。
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CN105845607A (zh) * 2016-04-18 2016-08-10 中国电子科技集团公司第十研究所 一种衬底腐蚀夹具

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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