CN203589060U - 扩散炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种扩散炉，包括炉管，还包括：第一门板，第一门板与炉管的端口密封连接；第二门板，第二门板设置在炉管的管腔内；其中，第一门板与第二门板之间形成容纳腔，且容纳腔内通有惰性气体。本实用新型通过使第一门板和第二门板之间形成容纳腔，并在容纳腔通入惰性气体，进而可以防止因工艺气体与第一门板接触后进行反应而损坏第一门板，最终使得第一门板无法密封炉管。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池领域，更具体地，涉及一种扩散炉。
背景技术
晶硅太阳能电池已经被大规模应用到各个领域，其良好的稳定性和成熟的工艺流程是其大规模应用的基础。如何进一步提高效率，降低成本是国内外技术领域研究的基本目标。随着工艺技术的发展，N型晶硅电池以其成本低效率高的优势，越来越受到市场的重视。其中，硼扩散工序（N型硅片在扩散后表面形成P/N结）是生产过程中重要的环节，所以保证硼扩散的工艺的稳定和降低本工序的生产成本是我们研究的重点。
目前，扩散炉炉门与炉管的接触位置是一圈磨砂石英密封带，这保证了炉门与炉管的紧密接触，从而防止工艺气体泄漏到外界环境，但是进行工艺时产生的气体（例如五氧化二磷、三氧化二硼）会与石英密封带产生反应，进而使得密封带发生损耗，致使炉门无法使用。
实用新型内容
本实用新型旨在提供一种扩散炉，以解决现有技术的扩散炉的炉门容易损坏的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种扩散炉，包括炉管，还包括：第一门板，第一门板与炉管的端口密封连接；第二门板，第二门板设置在炉管的管腔内；其中，第一门板与第二门板之间形成容纳腔，且容纳腔内通有惰性气体。
进一步地，扩散炉还包括：连接杆，连接杆的一端与第一门板固定连接，连接杆的另一端与第二门板固定连接。
进一步地，第一门板设置有通孔，且通孔内安装有输气管。
进一步地，扩散炉包括多个平行设置的连接杆。
进一步地，扩散炉由石英材料制成。
进一步地，惰性气体为氮气。
本实用新型通过使第一门板和第二门板之间形成容纳腔，并在容纳腔通入惰性气体，进而可以防止因工艺气体与第一门板接触后进行反应而损坏第一门板，最终使得第一门板无法密封炉管。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1示意性示出了本实用新型中的扩散炉中的结构示意图。
图中附图标记：10、炉管；21、第一门板；22、第二门板；23、连接杆；24、通孔；25、输气管；26、容纳腔。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
本发明提供了一种扩散炉，请参考图1，该扩散炉包括炉管10，还包括：第一门板21，第一门板21与炉管10的端口密封连接；第二门板22，第二门板22设置在炉管10的管腔内；其中，第一门板21与第二门板22之间形成容纳腔26，且容纳腔26内通有惰性气体。
本实用新型通过使第一门板21和第二门板22之间形成容纳腔26，并在容纳腔26通入惰性气体，进而可以防止因工艺气体与第一门板21接触后进行反应而损坏第一门板21，最终使得第一门板21无法密封炉管10。
优选地，扩散炉还包括：连接杆23，连接杆23的一端与第一门板21固定连接，连接杆23的另一端与第二门板22固定连接。优选地，连接杆23的长度为20mm至50mm。
优选地，第一门板21设置有通孔24，且通孔24内安装有输气管25。优选地，通孔24的直径为5mm至15mm。优选地，通孔24设置在第一门板21的中心位置。优选地，输气管25与第二门板22之间的距离为10mm至30mm。优选地，第一门板21的直径与第二门板22之间的直径之差为20mm至50mm。
优选地，扩散炉包括多个平行设置的连接杆23。
优选地，扩散炉由石英材料制成。
优选地，惰性气体为氮气。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种扩散炉，包括炉管（10），其特征在于，还包括：
第一门板（21），所述第一门板（21）与所述炉管（10）的端口密封连接；
第二门板（22），所述第二门板（22）设置在所述炉管（10）的管腔内；
其中，所述第一门板（21）与所述第二门板（22）之间形成容纳腔（26），且所述容纳腔（26）内通有惰性气体。
2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉还包括：连接杆（23），所述连接杆（23）的一端与第一门板（21）固定连接，所述连接杆（23）的另一端与所述第二门板（22）固定连接。
3.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一门板（21）设置有通孔（24），且所述通孔（24）内安装有输气管（25）。
4.根据权利要求2所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉包括多个平行设置的所述连接杆（23）。
5.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉由石英材料制成。
6.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述惰性气体为氮气。
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