CN203454783U - 扩散炉炉门 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种扩散炉炉门，它包括石英炉门（1）以及金属外壳（2），所述石英炉门（1）设置于金属外壳（2）的一侧中部，其特征在于所述金属外壳（2）的另一侧中部设置有波纹管（5）。该扩散炉炉门具有气密性较好，且可进行俯仰、左右各个方向角度自动调整，无需频繁检查的优点，从而减少调整炉门次数，提高产量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种扩散炉炉门，属于太阳能电池扩散设备领域。
背景技术
兴起于上世纪八十年代的多晶硅太阳电池技术，经过进三十年的积累与改进，已成功将该技术应用于大规模多晶硅太阳电池生产中。全球光伏发电装机总量的突破，得益于诸如德国Centrotherm Photovoltaics、荷兰Tempress Systems等公司提供的卓越的管式扩散方案。这些适用于多晶硅片的管式扩散炉从控温方式、抽排风处理、软着陆等系统都进行了独特的设计，满足了多晶硅光伏电池大规模生产的需要。
目前广泛采用的软着陆全封闭扩散炉相对于开管扩散炉有诸多优势：节省扩散杂质源、工艺气体用量，降低热损耗，扩散均匀性也显著提高。闭管扩散炉的原理是通过高温下炉门密封装置、尾气收集装置、超长恒温区加热炉体设计制造以及温度的测量与控制技术，确保高产能、扩散均匀性的前提下减少液态源、工艺气体用量，从而降低偏磷酸生成量及废气进行定向回收，集中处理。对于该扩散炉来讲，炉门的密封显得尤为关键。目前使用的炉门通常是由石英炉门加保温棉加金属外壳构成的，通过金属外壳上的金属连接轴来控制炉门的开关。参见图1，目前广泛采用扩散炉炉门包括石英炉门1、金属外壳2以及支撑底座3，支撑底座上下设置两个螺丝4用来调节炉门的俯仰角度，该扩散炉炉门具有以下不足：
1、炉门角度发生轻微变化即可导致炉门漏气，气密性较差影响工艺。
2、炉门的角度依靠支撑底座上下两个螺丝来调整俯仰角度，且调整过程较复杂。
3、由于在正常使用时炉门频繁开关及自身重量的原因，导致螺丝2较易松动，一个月就需中止生产，检查、调整炉门一次。
4、现有炉门仅能调整俯仰角度，左右角度无法调整。
因此，寻求一种气密性较好，且可进行俯仰、左右各个方向角度自动调整，无需频繁检查的扩散炉炉门尤为重要。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种气密性较好，且可进行俯仰、左右各个方向角度自动调整，无需频繁检查的扩散炉炉门。
本实用新型的目的是这样实现的：
一种扩散炉炉门，它包括石英炉门以及金属外壳，所述石英炉门设置于金属外壳的一侧中部，其特征是所述金属外壳的另一侧中部设置有波纹管。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型当炉门关闭时，波纹管受到机械推力发生弹性形变，推动金属外壳、石英炉门关闭，由于波纹管具有弹性，炉门的角度可根据受到石英管的反作用力自行调整，达到炉门与石英炉门接触面无角度紧密结合的效果，从而保证了炉门的密封性。该扩散炉炉门具有气密性较好，且可进行俯仰、左右各个方向角度自动调整，无需频繁检查的优点，从而减少调整炉门次数，提高产量。
附图说明
图1为传统扩散炉炉门的结构示意图。
图2为本实用新型扩散炉炉门的结构示意图。
其中：
石英炉门1
金属外壳2
支撑底座3
螺丝4
波纹管5。
具体实施方式
参见图2，本实用新型涉及的一种扩散炉炉门，它包括石英炉门1以及金属外壳2，所述石英炉门1设置于金属外壳2的一侧中部，所述金属外壳2的另一侧中部设置有波纹管5。
Claims (1)
1.一种扩散炉炉门，它包括石英炉门（1）以及金属外壳（2），所述石英炉门（1）设置于金属外壳（2）的一侧中部，其特征在于所述金属外壳（2）的另一侧中部设置有波纹管（5）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201320372644.4U CN203454783U (zh) | 2013-06-27 | 2013-06-27 | 扩散炉炉门 |
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ID=50134650
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|---|---|---|---|
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN203454783U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105543976A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-05-04 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种减压扩散炉炉口冷却密封装置 |
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2013
- 2013-06-27 CN CN201320372644.4U patent/CN203454783U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105543976A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-05-04 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种减压扩散炉炉口冷却密封装置 |
| CN105543976B (zh) * | 2015-12-14 | 2018-07-24 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种减压扩散炉炉口冷却密封装置 |
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