CN203569174U

CN203569174U - 热喷涂旋转靶材的冷却装置

Info

Publication number: CN203569174U
Application number: CN201320665889.6U
Authority: CN
Inventors: 徐从康
Original assignee: WUXI XUMATIC NEW ENERGY TECHNOLOGY Inc
Current assignee: WUXI XUMATIC NEW ENERGY TECHNOLOGY Inc
Priority date: 2013-10-25
Filing date: 2013-10-25
Publication date: 2014-04-30
Anticipated expiration: 2023-10-25

Abstract

本实用新型涉及一种热喷涂旋转靶材的冷却装置，特征是：在基管内设衬管，衬管内设空心轴，基管两端安装第一端盖和第二端盖，第一端盖外侧连接第一连接管，第一端盖上设与空心轴连通的第一通孔，第一通孔外围设与基管和衬管之间空腔连通的第二通孔，第二端盖外侧连接第二连接管，第二连接管通过第三连接管与芯轴连接，第二端盖上设与空心轴连通的第三通孔，第三通孔处设中空杆，中空杆伸入芯轴内阶梯孔中，中空杆外围设与基管与衬管之间空腔连通的第四通孔；芯轴上设与中空杆连通的第一径向孔和与阶梯孔连通的第二径向孔，芯轴外套外壳，外壳上进水孔与第一径向孔连通，出水孔与第二径向孔连通。本实用新型减轻了靶材承受的重量，并达到均匀的温度。

Description

热喷涂旋转靶材的冷却装置

技术领域

本实用新型涉及一种冷却装置，尤其是一种热喷涂旋转靶材的冷却装置，属于旋转靶材生产设备技术领域。

背景技术

旋转靶材常用不锈钢管作为基材，经过喷砂、打底处理后，进行热喷涂，由于喷枪在喷射过程中温度极高，因此在喷涂过程中需要对不锈钢管进行冷却，目前常用的做法是把不锈钢管套在一根钢管中，两端用螺母固定，然后在钢管中通入冷却水通过钢管管壁的热传导对不锈钢管进行冷却，但是这种冷却效果不理想，容易出现不锈钢管过热膨胀而导致涂层开裂，影响产品的成品率和质量。

专利申请CN201120376529.5公开了一种喷涂旋转靶材的冷却装置，包括冷却芯轴、进水管、出水管，冷却芯轴中心的两端设有互不连通的两段轴向阶梯孔，两段轴向阶梯孔靠近孔的底部设有连通冷却芯轴外表面的径向孔，冷却芯轴一端外表面靠近径向孔处设有圆柱形肩台与旋转靶材的管状金属基材相配合，冷却芯轴另一端外表面套接一个活动环，活动环上也设有圆柱形肩台与旋转靶材的管状金属基材相配合，活动环旁设置一个锁在冷却芯轴外表面的螺母，冷却芯轴两端的轴向阶梯孔与进水管和出水管相配合。该申请的冷却效果好，但结构较为复杂，并且旋转靶材在旋转中承受的重量较大。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种热喷涂旋转靶材的冷却装置，减轻旋转靶材在旋转中承受的重量，并在生产过程中达到均匀的温度，避免因温度而造成成品率下降。

按照本实用新型提供的技术方案，一种热喷涂旋转靶材的冷却装置，包括旋转靶材基管，特征是：在所述旋转靶材基管内部设置衬管，衬管两端封闭，衬管内部设置空心轴，空心轴的两端伸出衬管的两端；在所述旋转靶材基管的两端分别安装第一连接装置和第二连接装置，第一连接装置包括安装在旋转靶材基管一端的第一端盖，第一端盖的外侧连接第一连接管，第一连接管的外端密封，在第一端盖上设有与空心轴一端连通的第一通孔，在第一通孔外围设置第二通孔，第二通孔与旋转靶材基管与衬管之间的空腔连通；所述第二连接装置包括安装在旋转靶材基管另一端的第二端盖，第二端盖的外侧连接第二连接管，第二连接管的外端与第三连接管的一端连接，第三连接管的另一端与旋转连接头芯轴连接；在所述第二端盖上设有与空心轴另一端连通的第三通孔，在第三通孔处设置中空连接杆，中空连接杆外端部穿过第三连接管的内腔伸入旋转连接头芯轴内部阶梯孔中；在所述中空连接杆和第二连接管之间的第二端盖上设置第四通孔，第四通孔与旋转靶材基管与衬管之间的空腔连通，中空连接杆和第二连接管之间的空腔与第三连接管和中空连接杆之间的空腔连通；在所述旋转连接头芯轴上分别沿径向设有第一径向孔和第二径向孔，第一径向孔和第二径向孔均与旋转连接头芯轴内部阶梯孔连通；所述中空连接杆的外端部顶住阶梯孔底部的台肩，中空连接杆与阶梯孔之间设置第一密封圈，第一密封圈位于第一径向孔和第二径向孔之间；所述第一径向孔与中空连接杆的内腔连通，第二径向孔与中空连接杆和阶梯孔之间的空腔连通；在所述旋转连接头芯轴外部套设旋转连接头外壳，在旋转连接头外壳上设有进水孔和出水孔，进水孔与第一径向孔连通，出水孔与第二径向孔连通。

在所述第一通孔处设置挡管，挡管外端部开口；所述第二通孔设置在挡管和第一连接管之间的第一端盖上。

在所述旋转连接头芯轴和旋转连接头外壳之间设置第二密封圈，第二密封圈位于进水孔和出水孔之间。

所述第一端盖和第二端盖分别通过靶管螺母安装在旋转靶材基管的两端。

本实用新型通过旋转连接头来实现同进同出，可以减轻旋转靶材在旋转中承受的重量，并且在生产过程中可以达到均匀的温度，不会因温度而造成成品率下；并且可以提高旋转靶材的结合强度，降低生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。

如图1所示：所述热喷涂旋转靶材的冷却装置包括旋转靶材基管1、衬管2、空心轴3、第一连接装置4、第一端盖4-1、第一连接管4-2、第一通孔4-3、挡管4-4、第二通孔4-5、第二连接装置5、第二端盖5-1、第二连接管5-2、第三通孔5-3、第四通孔5-4、第三连接管6、旋转连接头芯轴7、第一径向孔7-1、第二径向孔7-2、中空连接杆8、阶梯孔9、第一密封圈10、旋转连接头外壳11、进水孔12、出水孔13、第二密封圈14、靶管螺母15等。

如图1所示，本实用新型包括旋转靶材基管1，在旋转靶材基管1内部设置衬管2，衬管2两端封闭，衬管2内部设置空心轴3，空心轴3的两端伸出衬管2的两端；在所述旋转靶材基管1的两端分别安装第一连接装置4和第二连接装置5，第一连接装置4包括安装在旋转靶材基管1一端的第一端盖4-1，第一端盖4-1的外侧连接第一连接管4-2，第一连接管4-2的外端密封，在第一端盖4-1上设有与空心轴3一端连通的第一通孔4-3，在第一通孔4-3处设置挡管4-4，挡管4-4外端部开口，在挡管4-4和第一连接管4-2之间的第一端盖4-1上设置第二通孔4-5，第二通孔4-5与旋转靶材基管1与衬管2之间的空腔连通；

所述第二连接装置5包括安装在旋转靶材基管1另一端的第二端盖5-1，第二端盖5-1的外侧连接第二连接管5-2，第二连接管5-2的外端与第三连接管6的一端连接，第三连接管6的另一端与旋转连接头芯轴7连接；在所述第二端盖5-1上设有与空心轴3另一端连通的第三通孔5-3，在第三通孔5-3处设置中空连接杆8，中空连接杆8外端部穿过第三连接管6的内腔伸入旋转连接头芯轴7内部阶梯孔9中；在所述中空连接杆8和第二连接管5-2之间的第二端盖5-1上设置第四通孔5-4，第四通孔5-4与旋转靶材基管1与衬管2之间的空腔连通，中空连接杆8和第二连接管5-2之间的空腔与第三连接管6和中空连接杆8之间的空腔连通；

在所述旋转连接头芯轴7上分别沿径向设有第一径向孔7-1和第二径向孔7-2，第一径向孔7-1和第二径向孔7-2均与旋转连接头芯轴7内部阶梯孔9连通；所述中空连接杆8的外端部顶住阶梯孔9底部的台肩，中空连接杆8与阶梯孔9之间设置第一密封圈10，第一密封圈10位于第一径向孔7-1和第二径向孔7-2之间，从而将中空连接杆8的内腔与中空连接杆8和阶梯孔9之间的空腔相密封；所述第一径向孔7-1与中空连接杆8的内腔连通，第二径向孔7-2与中空连接杆8和阶梯孔9之间的空腔连通；

在所述旋转连接头芯轴7外部通过轴承套设旋转连接头外壳11，在旋转连接头外壳11上设有进水孔12和出水孔13，进水孔12与第一径向孔7-1连通，出水孔13与第二径向孔7-2连通；在所述旋转连接头芯轴7和旋转连接头外壳11之间设置第二密封圈14，第二密封圈14位于进水孔12和出水孔13之间；

所述第一端盖4-1和第二端盖5-1分别通过靶管螺母15安装在旋转靶材基管1的两端。

本实用新型在使用时，冷却水由旋转连接头外壳11上的进水孔12进入，再由旋转连接头芯轴7上的第一径向孔7-1进入旋转连接头芯轴7内部阶梯孔9的底部，由阶梯孔9的底部进入中空连接杆8的内腔，由中空连接杆8的内腔送入空心轴3的一端，再由空心轴3的另一端流出，依次从第一通孔4-3、第二通孔4-5进入旋转靶材基管1与衬管2之间的空腔中，再由第四通孔5-4进入中空连接杆8与第二连接管5-2之间的空腔，接着进入中空连接杆8与第三连接管6之间的空腔，再进入中空连接杆8与阶梯孔9之间的空腔后，由旋转连接头芯轴7上的第二径向孔7-2流至出水孔13流出。

本实用新型可以实现冷却水同进同出，保证温度的均匀性，减轻靶材承载的重量；生产过程中水的分量很轻，流量很快，靶材温度均匀，从而增强靶材的结合强度，提高在镀膜工艺使用中的可靠性。

Claims

1.一种热喷涂旋转靶材的冷却装置，包括旋转靶材基管（1），其特征是：在所述旋转靶材基管（1）内部设置衬管（2），衬管（2）两端封闭，衬管（2）内部设置空心轴（3），空心轴（3）的两端伸出衬管（2）的两端；在所述旋转靶材基管（1）的两端分别安装第一连接装置（4）和第二连接装置（5），第一连接装置（4）包括安装在旋转靶材基管（1）一端的第一端盖（4-1），第一端盖（4-1）的外侧连接第一连接管（4-2），第一连接管（4-2）的外端密封，在第一端盖（4-1）上设有与空心轴（3）一端连通的第一通孔（4-3），在第一通孔（4-3）外围设置第二通孔（4-5），第二通孔（4-5）与旋转靶材基管（1）与衬管（2）之间的空腔连通；所述第二连接装置（5）包括安装在旋转靶材基管（1）另一端的第二端盖（5-1），第二端盖（5-1）的外侧连接第二连接管（5-2），第二连接管（5-2）的外端与第三连接管（6）的一端连接，第三连接管（6）的另一端与旋转连接头芯轴（7）连接；在所述第二端盖（5-1）上设有与空心轴（3）另一端连通的第三通孔（5-3），在第三通孔（5-3）处设置中空连接杆（8），中空连接杆（8）外端部穿过第三连接管（6）的内腔伸入旋转连接头芯轴（7）内部阶梯孔（9）中；在所述中空连接杆（8）和第二连接管（5-2）之间的第二端盖（5-1）上设置第四通孔（5-4），第四通孔（5-4）与旋转靶材基管（1）与衬管（2）之间的空腔连通，中空连接杆（8）和第二连接管（5-2）之间的空腔与第三连接管（6）和中空连接杆（8）之间的空腔连通；在所述旋转连接头芯轴（7）上分别沿径向设有第一径向孔（7-1）和第二径向孔（7-2），第一径向孔（7-1）和第二径向孔（7-2）均与旋转连接头芯轴（7）内部阶梯孔（9）连通；所述中空连接杆（8）的外端部顶住阶梯孔（9）底部的台肩，中空连接杆（8）与阶梯孔（9）之间设置第一密封圈（10），第一密封圈（10）位于第一径向孔（7-1）和第二径向孔（7-2）之间；所述第一径向孔（7-1）与中空连接杆（8）的内腔连通，第二径向孔（7-2）与中空连接杆（8）和阶梯孔（9）之间的空腔连通；在所述旋转连接头芯轴（7）外部套设旋转连接头外壳（11），在旋转连接头外壳（11）上设有进水孔（12）和出水孔（13），进水孔（12）与第一径向孔（7-1）连通，出水孔（13）与第二径向孔（7-2）连通。

2.如权利要求1所述的热喷涂旋转靶材的冷却装置，其特征是：在所述第一通孔（4-3）处设置挡管（4-4），挡管（4-4）外端部开口；所述第二通孔（4-5）设置在挡管（4-4）和第一连接管（4-2）之间的第一端盖（4-1）上。

3.如权利要求1所述的热喷涂旋转靶材的冷却装置，其特征是：在所述旋转连接头芯轴（7）和旋转连接头外壳（11）之间设置第二密封圈（14），第二密封圈（14）位于进水孔（12）和出水孔（13）之间。

4.如权利要求1所述的热喷涂旋转靶材的冷却装置，其特征是：所述第一端盖（4-1）和第二端盖（5-1）分别通过靶管螺母（15）安装在旋转靶材基管（1）的两端。