CN203559123U - 一种波浪式多气体独立通道的喷淋结构 - Google Patents
一种波浪式多气体独立通道的喷淋结构 Download PDFInfo
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- 238000005507 spraying Methods 0.000 title abstract description 5
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 51
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 1
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Abstract
一种波浪式多气体独立通道的喷淋结构,主要解决现有的喷淋结构由于设计不够合理,气体在进入腔室之前已进行接触,不易于控制沉积的时间及特气资源浪费的技术问题。该结构采用平面分区方式,隔离不同的气体路径。喷淋头结构中主体以太极或波浪式的结构形式,均匀布置气体B分区及气体C分区两个分区。分别作为气体B、C的分区,气体B、C在分区扩散后从各自分区中的孔中进入反应腔室,气体A直接从其独自的气体A通道的两个通道进入腔室。本实用新型结构合理,可广泛应用于半导体薄膜沉积技术领域。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种新型的喷淋结构,通过平面分区方式,来实现三种及三种以上气体独立、均匀的到达基底表面进行沉积反应,属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域。
背景技术
半导体镀膜设备在进行沉积反应时,一般需要一种气体或两种气体,有时需要三种(或三种以上)气体同时进入腔室进行薄膜沉积,要求几种气体路径相互独立,在进入腔体前不能相遇,进入腔室后都能均匀扩散到基底表面。而现有的喷淋结构大都是针对单独的气体设计的路径,或是最多有两种气体路径,并且大多结构都只是在气体进口处进行分离,在进入腔室之前两种气体已进行接触,使沉积反应提前进行。这样一来,即不易于控制沉积的时间及反应条件,也浪费了宝贵的不可再生的特气资源。当需要三种或三种以上气体时,之前的喷淋方法已不能满足要求。针对要求多种(三种及三种以上)气体同时、独立、均匀的苛刻要求,本实用新型应运而生。
发明内容
本实用新型是以解决上述问题为目的,主要解决现有的喷淋结构由于设计不够合理,气体在进入腔室之前已进行接触,不易于控制沉积的时间及特气资源浪费的技术问题,而提供一种能够满足三种气体同时、独立、均匀沉积的喷淋新型结构。
为实现上述目的,本实用新型采用下述技术方案:一种波浪式多气体独立通道的喷淋结构,该结构采用平面分区方式,隔离不同的气体路径。气体分别从各自独立的气体进口进入,通过各自独立的通道,到达各自分区,并从各自的分区到达腔室。彼此独立结构使不同气体不会提前相遇或反应。通过规划不同的分区结构及分区形式,能满足多种气体的分布,使气体能均匀、快速的扩散在腔室内,并在基板上进行沉积反应。其具体结构:喷淋头结构中主体以太极或波浪式的结构形式,均匀布置气体B分区及气体C分区两个分区。分别作为气体B、C的分区,气体B、C在分区扩散后从各自分区中的孔中进入反应腔室,气体A直接从其独自的气体A通道的两个通道进入腔室。
本实用新型的有益效果及特点:由于该结构采用平面分区方式,隔离不同的气体路径,来实现三种气体独立、均匀的到达基底表面进行沉积反应,较好地解决了气体在进入腔室之前已进行接触,不易于控制沉积的时间及特气资源浪费的技术问题。并可在其上安装加热或冷却构件,以满足更严苛的工艺条件要求。具有结构合理及易于推广的特点。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图(实施例1为太极形式结构)。
图2是本实用新型的实施例2(波浪式)的结构示意图。
图中零件标号分别代表:
1、气体A通道;2、气体B分区;3、气体C分区;4、气体A通道Ⅰ;、气体B分区Ⅰ;5、气体C分区Ⅰ。
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
具体实施方式
实施例1
如图1所示,喷淋头结构中主体以太极形式均匀布置气体B分区2及气体C分区3两个分区。分别作为气体B、C的分区,气体B、C在分区扩散后从各自分区中的孔中进入反应腔室,气体A直接从其独自的气体A通道1的两个通道进入腔室。
实施例2
如图2所示,喷淋头结构中主体以波浪式形式均匀布置气体B分区Ⅰ5及气体C分区Ⅰ6两个分区。分别作为气体B、C的分区,气体B、C在分区扩散后从各自分区中的孔中进入反应腔室,气体A直接从其独自的气体A通道Ⅰ4的两个通道进入腔室。
Claims (1)
1.一种波浪式多气体独立通道的喷淋结构,其特征在于:喷淋头结构中主体以太极或波浪式的结构形式,均匀布置气体B分区及气体C分区两个分区,分别作为气体B、C的分区,气体B、C在分区扩散后从各自分区中的孔中进入反应腔室,气体A直接从其独自的气体A通道的两个通道进入腔室。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320682574.2U CN203559123U (zh) | 2013-10-31 | 2013-10-31 | 一种波浪式多气体独立通道的喷淋结构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320682574.2U CN203559123U (zh) | 2013-10-31 | 2013-10-31 | 一种波浪式多气体独立通道的喷淋结构 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN203559123U true CN203559123U (zh) | 2014-04-23 |
Family
ID=50508854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201320682574.2U Expired - Lifetime CN203559123U (zh) | 2013-10-31 | 2013-10-31 | 一种波浪式多气体独立通道的喷淋结构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN203559123U (zh) |
-
2013
- 2013-10-31 CN CN201320682574.2U patent/CN203559123U/zh not_active Expired - Lifetime
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP03 | Change of name, title or address |
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|
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CX01 | Expiry of patent term |
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|
CX01 | Expiry of patent term |