CN203521386U - 硅片的容载装置 - Google Patents

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明建华
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Abstract

本实用新型涉及一种硅片的容载装置,包括沿口周边有法兰的花篮,其特征在于:还包括花篮架,所述花篮架包括提手和具有用来容置花篮的框孔的框架,且提手与框架相连接,所述花篮配装在框孔内且通过其法兰扣挂在框架上。本实用新型具有结构简单,且易于石英管相分离,降低生产成本等优点。

Description

硅片的容载装置
技术领域
本实用新型具体涉及一种硅片的容载装置。 
背景技术
现有的硅片需要对其进行清洗、煮酸、镀镍等处理,而清洗,煮酸和镀镍处理都要使用到清洗液、酸液和镀镍液,操作人员将硅片直接放置在花篮内,然后手持花篮对硅片进行清洗、煮酸、镀镍等处理,由于是单个花篮操作,因而生产效率低,而且也不安全。 
发明内容
本实用新型的目的是:提供一种提高生产效率,且安全性高的用于工艺处理硅片的容载装置,以克服现有技术的不足。 
为了达到上述目的,本实用新型的技术方案:一种硅片的容载装置,包括沿口周边有法兰的花篮,而其:还包括花篮架,所述花篮架包括提手和具有用来容置花篮的框孔的框架,且提手与框架相连接,所述花篮配装在框孔内且通过其法兰扣挂在框架上。 
在上述技术方案中,所述框架有2个框孔,而其整体呈日字型结构。 
在上述技术方案中,所述框架有4个框孔,而其整体呈田字型结构。 
在上述技术方案中,所述花篮有若干个液体进出通孔。 
本实用新型所具有的积极效果是:由于采用上述容载装置后,使用时,将多个装有硅片的花篮配装在框孔内且通过其法兰扣挂在框架上,在对硅片进行清洗、煮酸和镀镍处理时,只需操作人员手持花篮架的提手,而花篮架上的花篮浸在液体中即可,这样可以同时对多个花篮实施工艺操作,而且不易发生摔破花篮,造成破片的事故,不仅提高了生产效率,而且可靠性高,保证了生产安全。实现了本实用新型的目的。 
附图说明
图1是本实用新型第一种具体实施方式的结构示意图; 
图2是图1的左视图;
图3是图1不带花篮的仰视图;
图4是本实用新型第二种具体实施方式的结构示意图;
图5是图4的左视图;
图6是图4不带花篮的仰视图。
具体实施方式
以下结合附图以及给出的实施例,对本实用新型作进一步的说明,但并不局限于此。 
实施例1 
如图1、2、3所示,一种硅片的容载装置,包括沿口周边有法兰1-1的花篮1,而其:还包括花篮架2,所述花篮架2包括提手2-1和具有用来容置花篮1的框孔2-3的框架2-2,且提手2-1与框架2-2相连接,所述花篮1配装在框孔2-3内且通过其法兰1-1扣挂在框架2-2上。
如图3所示,实施例1所述框架2-2有2个框孔2-3,而其整体呈日字型结构。所述框架2-2可承载两个花篮1。 
如图2所示,为了满足工艺处理的需要,防止花篮1中留有清洗液、酸液或者是镀镍液,所述花篮1有若干个液体进出通孔1-2。 
实施例2 
如图4、5、6所示,一种硅片的容载装置,包括沿口周边有法兰1-1的花篮1,而其:还包括花篮架2,所述花篮架2包括提手2-1和具有用来容置花篮1的框孔2-3的框架2-2,且提手2-1与框架2-2相连接,所述花篮1配装在框孔2-3内且通过其法兰1-1扣挂在框架2-2上。
如图6所示,实施例2中所述框架2-2有4个框孔2-3,而其整体呈田字型结构。所述框架2-2可承载四个花篮1。 
如图5所示,所述花篮1有若干个液体进出通孔1-2。 
本实用新型小试效果显示,使用时,将多个装有硅片的花篮1配装在框孔2-3内且通过其法兰1-1扣挂在框架2-2上,在对硅片进行清洗、煮酸和镀镍处理时,只需操作人员手持花篮架2的提手2-1,而花篮架2上的花篮1浸在液体中即可,这样可以同时对多个花篮实施工艺操作,而且不易发生摔破花篮,造成破片的事故,不仅提高了生产效率,而且可靠性高,保证了生产安全。其使用效果是十分满意的。 

Claims (4)

1.一种硅片的容载装置,包括沿口周边有法兰(1-1)的花篮(1),其特征在于:还包括花篮架(2),所述花篮架(2)包括提手(2-1)和具有用来容置花篮(1)的框孔(2-3)的框架(2-2),且提手(2-1)与框架(2-2)相连接,所述花篮(1)配装在框孔(2-3)内且通过其法兰(1-1)扣挂在框架(2-2)上。
2.根据权利要求1所述的硅片的容载装置,其特征在于:所述框架(2-2)有2个框孔(2-3),而其整体呈日字型结构。
3.根据权利要求1所述的硅片的容载装置,其特征在于:所述框架(2-2)有4个框孔(2-3),而其整体呈田字型结构。
4.根据权利要求1所述的硅片的容载装置,其特征在于:所述花篮(1)有若干个液体进出通孔(1-2)。
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