CN203521386U - 硅片的容载装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种硅片的容载装置，包括沿口周边有法兰的花篮，其特征在于：还包括花篮架，所述花篮架包括提手和具有用来容置花篮的框孔的框架，且提手与框架相连接，所述花篮配装在框孔内且通过其法兰扣挂在框架上。本实用新型具有结构简单，且易于石英管相分离，降低生产成本等优点。
Description
技术领域
本实用新型具体涉及一种硅片的容载装置。
背景技术
现有的硅片需要对其进行清洗、煮酸、镀镍等处理，而清洗，煮酸和镀镍处理都要使用到清洗液、酸液和镀镍液，操作人员将硅片直接放置在花篮内，然后手持花篮对硅片进行清洗、煮酸、镀镍等处理，由于是单个花篮操作，因而生产效率低，而且也不安全。
发明内容
本实用新型的目的是：提供一种提高生产效率，且安全性高的用于工艺处理硅片的容载装置，以克服现有技术的不足。
为了达到上述目的，本实用新型的技术方案：一种硅片的容载装置，包括沿口周边有法兰的花篮，而其：还包括花篮架，所述花篮架包括提手和具有用来容置花篮的框孔的框架，且提手与框架相连接，所述花篮配装在框孔内且通过其法兰扣挂在框架上。
在上述技术方案中，所述框架有2个框孔，而其整体呈日字型结构。
在上述技术方案中，所述框架有4个框孔，而其整体呈田字型结构。
在上述技术方案中，所述花篮有若干个液体进出通孔。
本实用新型所具有的积极效果是：由于采用上述容载装置后，使用时，将多个装有硅片的花篮配装在框孔内且通过其法兰扣挂在框架上，在对硅片进行清洗、煮酸和镀镍处理时，只需操作人员手持花篮架的提手，而花篮架上的花篮浸在液体中即可，这样可以同时对多个花篮实施工艺操作，而且不易发生摔破花篮，造成破片的事故，不仅提高了生产效率，而且可靠性高，保证了生产安全。实现了本实用新型的目的。
附图说明
图1是本实用新型第一种具体实施方式的结构示意图；
图2是图1的左视图；
图3是图1不带花篮的仰视图；
图4是本实用新型第二种具体实施方式的结构示意图；
图5是图4的左视图；
图6是图4不带花篮的仰视图。
具体实施方式
以下结合附图以及给出的实施例，对本实用新型作进一步的说明，但并不局限于此。
实施例1
如图1、2、3所示，一种硅片的容载装置，包括沿口周边有法兰1-1的花篮1，而其：还包括花篮架2，所述花篮架2包括提手2-1和具有用来容置花篮1的框孔2-3的框架2-2，且提手2-1与框架2-2相连接，所述花篮1配装在框孔2-3内且通过其法兰1-1扣挂在框架2-2上。
如图3所示，实施例1所述框架2-2有2个框孔2-3，而其整体呈日字型结构。所述框架2-2可承载两个花篮1。
如图2所示，为了满足工艺处理的需要，防止花篮1中留有清洗液、酸液或者是镀镍液，所述花篮1有若干个液体进出通孔1-2。
实施例2
如图4、5、6所示，一种硅片的容载装置，包括沿口周边有法兰1-1的花篮1，而其：还包括花篮架2，所述花篮架2包括提手2-1和具有用来容置花篮1的框孔2-3的框架2-2，且提手2-1与框架2-2相连接，所述花篮1配装在框孔2-3内且通过其法兰1-1扣挂在框架2-2上。
如图6所示，实施例2中所述框架2-2有4个框孔2-3，而其整体呈田字型结构。所述框架2-2可承载四个花篮1。
如图5所示，所述花篮1有若干个液体进出通孔1-2。
本实用新型小试效果显示，使用时，将多个装有硅片的花篮1配装在框孔2-3内且通过其法兰1-1扣挂在框架2-2上，在对硅片进行清洗、煮酸和镀镍处理时，只需操作人员手持花篮架2的提手2-1，而花篮架2上的花篮1浸在液体中即可，这样可以同时对多个花篮实施工艺操作，而且不易发生摔破花篮，造成破片的事故，不仅提高了生产效率，而且可靠性高，保证了生产安全。其使用效果是十分满意的。
Claims (4)
1.一种硅片的容载装置，包括沿口周边有法兰（1-1）的花篮（1），其特征在于：还包括花篮架（2），所述花篮架（2）包括提手（2-1）和具有用来容置花篮（1）的框孔（2-3）的框架（2-2），且提手（2-1）与框架（2-2）相连接，所述花篮（1）配装在框孔（2-3）内且通过其法兰（1-1）扣挂在框架（2-2）上。
2.根据权利要求1所述的硅片的容载装置，其特征在于：所述框架（2-2）有2个框孔（2-3），而其整体呈日字型结构。
3.根据权利要求1所述的硅片的容载装置，其特征在于：所述框架（2-2）有4个框孔（2-3），而其整体呈田字型结构。
4.根据权利要求1所述的硅片的容载装置，其特征在于：所述花篮（1）有若干个液体进出通孔（1-2）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320605131.3U CN203521386U (zh) | 2013-09-29 | 2013-09-29 | 硅片的容载装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203521386U true CN203521386U (zh) | 2014-04-02 |
Family
ID=50380276
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201320605131.3U Expired - Lifetime CN203521386U (zh) | 2013-09-29 | 2013-09-29 | 硅片的容载装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203521386U (zh) |
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2013
- 2013-09-29 CN CN201320605131.3U patent/CN203521386U/zh not_active Expired - Lifetime
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