CN203498086U - 一种用于生产电子级硫酸的装置 - Google Patents
一种用于生产电子级硫酸的装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203498086U CN203498086U CN201320479306.0U CN201320479306U CN203498086U CN 203498086 U CN203498086 U CN 203498086U CN 201320479306 U CN201320479306 U CN 201320479306U CN 203498086 U CN203498086 U CN 203498086U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- absorption tower
- sulfuric acid
- electronic
- grade sulfuric
- production
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种用于生产电子级硫酸的装置，其特征在于，在吸收塔设有上下两层填料层，三氧化硫气体从吸收塔底部上方并位于下层的填料层下方进入吸收塔内，超纯水从吸收塔中部并两层填料层之间进入吸收塔内，吸收塔顶部并位于上层的填料层上方位置经由管路连接冷却器的硫酸溶液回流出口，吸收塔内形成的硫酸溶液出吸收塔底部后经由传输泵被送入冷却器内，硫酸溶液在冷却器内别流入其内的冷媒冷却后经由硫酸溶液回流出口通过管路或回流至吸收塔，或出管路形成硫酸成品。本实用新型通过超纯水吸收三氧化硫气体来生产电子级硫酸，所采用的设备材质也是洁净的聚四氟乙烯系统，因此产品质量安全可靠，工艺运行安全稳定。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种超纯水吸收三氧化硫的装置，用于生产应用于集成电路行业的电子级硫酸。
背景技术
硫酸，化学式为H2SO4，相对分子质量为98.08。是一种无色无味油状液体，是一种高沸点难挥发的强酸，易溶于水，能以任意比与水混溶。硫酸是基本化学工业中重要产品之一。它不仅作为许多化工产品的原料，而且还广泛地应用于其他的国民经济部门。
电子级硫酸目前广泛应用于集成电路制作工艺，用作抗蚀剂剥离，最常用的硫酸的浓度在96％左右。残留在基片及相关设备上的有机污染物会对正常生产产生不良的影响，硫酸结合过的过氧化氢或臭氧可在沉积金属前去除基片表面上的有机污染物。
电子级硫酸的制备工艺主要有精馏法等。目前应用比较多的是采用浓度98％的工业级浓硫酸经过高温精馏后得到98％左右的电子级硫酸产品。由于硫酸的沸点很高，98％的硫酸在常压下的沸点为338℃，因此必须使用电加热丝对硫酸溶液在石英玻璃容器中进行加热蒸馏，在如此高温下操作，不仅能耗高，也带来一定的安全风险，另外，由于浓硫酸的强腐蚀性，高温蒸馏出的硫酸会溶解玻璃设备中的部分不纯物，造成了用此方法生产的硫酸很难达到真正符合集成电路要求的电子级标准。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种能安全可靠地生产出电子级硫酸的装置。
为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是提供了一种用于生产电子级硫酸的装置，其特征在于，至少包括吸收塔、传输泵及冷却器，在吸收塔设有上下两层填料层，三氧化硫气体从吸收塔底部上方并位于下层的填料层下方进入吸收塔内，超纯水从吸收塔中部并两层填料层之间进入吸收塔内，吸收塔顶部并位于上层的填料层上方位置经由管路连接冷却器的硫酸溶液回流出口，吸收塔内形成的硫酸溶液出吸收塔底部后经由传输泵被送入冷却器内，硫酸溶液在冷却器内别流入其内的冷媒冷却后经由硫酸溶液回流出口通过管路或回流至吸收塔，或出管路形成硫酸成品。
优选地，在所述吸收塔的塔釜设有用以控制吸收塔内液位的液位计。
优选地，所述液位计为超声波式液位计、电容式液位计、或浮球式液位计中的一种。
优选地，在所述传输泵的出口设有用以控制所述吸收塔出口硫酸溶液浓度的浓度计。
优选地，所述浓度计为在线式浓度仪。
优选地，在与所述冷却器的硫酸溶液回流出口相连的管路上设有用来控制所述冷却器冷媒添加量的温度传感器。
优选地，所述吸收塔为不锈钢或碳钢内衬聚四氟乙烯材质。
优选地，所述传输泵为离心泵，其膜片为聚四氟乙烯材质，腔体为不锈钢或碳钢内衬聚四氟乙烯材质。
优选地，所述冷却器为内盘管冷却结构或外盘管冷却结构，冷却盘管为聚四氟乙烯材质，所述冷却器的材质为不锈钢或碳钢内衬聚四氟乙烯材质。
优选地，所述冷媒为冷冻水、冷却水、或冰盐水中的一种。
本实用新型通过超纯水吸收三氧化硫气体来生产电子级硫酸，所采用的设备材质也是洁净的聚四氟乙烯系统，因此产品质量安全可靠，工艺运行安全稳定。
附图说明
图1为本实用新型提供的一种用于生产电子级硫酸的装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型更明显易懂，兹以优选实施例，并配合附图作详细说明如下。
如图1所示，本实用新型提供了一种用于电子级硫酸生产的装置，包括由不锈钢或碳钢内衬聚四氟乙烯材料制成的吸收塔1，塔内填料为聚四氟乙烯材质，聚四氟乙烯能耐酸碱和耐温，是很好的洁净材料。在吸收塔1的塔釜设有液位计4，用以显示吸收塔1内的液位，控制吸收塔1的回流比。蒸发出来的三氧化硫气体从吸收塔1底部上方位置进入吸收塔1，超纯水从吸收塔1中部进入塔内，超纯水为25℃时，电阻率达到18MΩ·cm的超纯水，回流的硫酸溶液则从吸收塔1的顶部进入塔内，因为三氧化硫和水反应很剧烈，产生大量的热，且如果仅使用超纯水对三氧化硫气体进行吸收，想要得到浓度为96-98％的硫酸溶液需要一个极其漫长的过程，鉴于以上两点，回流的硫酸溶液可以将三氧化硫和水反应产生的热量带走，另外，回流的硫酸溶液是96-98％的成品，与中部少量的超纯水混合后可以很快地将三氧化硫气体吸收成96-98％的成品酸。
传输泵2为离心泵，膜片为聚四氟乙烯材质，腔体为不锈钢或碳钢内衬聚四氟乙烯材质，采用以上材质同样是为了营造一个洁净的设备环境，传输泵2出口设有浓度计5，在线显示硫酸成品的浓度，用以控制吸收塔1超纯水的添加量。
由于超纯水吸收三氧化硫气体的吸收过程会放出热量，所以冷却器3来对吸收下来的硫酸溶液进行冷却，冷却器3的结构包括但不限于内盘管冷却结构、外盘管冷却结构，冷却器3的材质为不锈钢或碳钢内衬聚四氟乙烯材质，冷却盘管为聚四氟乙烯材质。冷却器3出口管路上装有温度传感器6，可以用来控制冷却器冷媒的添加量，冷却器3的冷媒包括但不限于冷冻水、冷却水、冰盐水等。
Claims (10)
1.一种用于生产电子级硫酸的装置，其特征在于，至少包括吸收塔(1)、传输泵(2)及冷却器(3)，在吸收塔(1)设有上下两层填料层，三氧化硫气体从吸收塔(1)底部上方并位于下层的填料层下方进入吸收塔(1)内，超纯水从吸收塔(1)中部并两层填料层之间进入吸收塔(1)内，吸收塔(1)顶部并位于上层的填料层上方位置经由管路连接冷却器(3)的硫酸溶液回流出口，吸收塔(1)内形成的硫酸溶液出吸收塔(1)底部后经由传输泵(2)被送入冷却器(3)内，硫酸溶液在冷却器(3)内别流入其内的冷媒冷却后经由硫酸溶液回流出口通过管路或回流至吸收塔(1)，或出管路形成硫酸成品。
2.如权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的装置，其特征在于，在所述吸收塔(1)的塔釜设有用以控制吸收塔(1)内液位的液位计(4)。
3.如权利要求2所述的一种用于电子级硫酸生产的装置，其特征在于：所述液位计(4)为超声波式液位计、电容式液位计、或浮球式液位计中的一种。
4.如权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的装置，其特征在于，在所述传输泵(2)的出口设有用以控制所述吸收塔(1)出口硫酸溶液浓度的浓度计(5)。
5.如权利要求4所述的一种用于生产电子级硫酸的装置，其特征在于，所述浓度计(5)为在线式浓度仪。
6.如权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的装置，其特征在于，在与所述冷却器(3)的硫酸溶液回流出口相连的管路上设有用来控制所述冷却器(3)冷媒添加量的温度传感器(6)。
7.如权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的装置，其特征在于，所述吸收塔(1)为不锈钢或碳钢内衬聚四氟乙烯材质。
8.如权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的装置，其特征在于，所述传输泵(2)为离心泵，其膜片为聚四氟乙烯材质，腔体为不锈钢或碳钢内衬聚四氟乙烯材质。
9.如权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的装置，其特征在于，所述冷却器(3)为内盘管冷却结构或外盘管冷却结构，冷却盘管为聚四氟乙烯材质，所述冷却器(1)的材质为不锈钢或碳钢内衬聚四氟乙烯材质。
10.如权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的装置，其特征在于，所述冷媒为冷冻水、冷却水、或冰盐水中的一种。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320479306.0U CN203498086U (zh) | 2013-08-06 | 2013-08-06 | 一种用于生产电子级硫酸的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320479306.0U CN203498086U (zh) | 2013-08-06 | 2013-08-06 | 一种用于生产电子级硫酸的装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203498086U true CN203498086U (zh) | 2014-03-26 |
Family
ID=50329084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201320479306.0U Expired - Fee Related CN203498086U (zh) | 2013-08-06 | 2013-08-06 | 一种用于生产电子级硫酸的装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203498086U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103896220A (zh) * | 2014-04-04 | 2014-07-02 | 天津瑞唐涂装科技有限公司 | 用于制备硫酸的设备 |
| CN104843653A (zh) * | 2015-03-30 | 2015-08-19 | 浙江建业化工股份有限公司 | 膜吸收制备超净高纯硫酸的方法及所用装置 |
| CN108793089A (zh) * | 2018-09-03 | 2018-11-13 | 中国瑞林工程技术股份有限公司 | 一种硫酸厂生产精制硫酸的工艺 |
-
2013
- 2013-08-06 CN CN201320479306.0U patent/CN203498086U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103896220A (zh) * | 2014-04-04 | 2014-07-02 | 天津瑞唐涂装科技有限公司 | 用于制备硫酸的设备 |
| CN104843653A (zh) * | 2015-03-30 | 2015-08-19 | 浙江建业化工股份有限公司 | 膜吸收制备超净高纯硫酸的方法及所用装置 |
| CN104843653B (zh) * | 2015-03-30 | 2016-10-05 | 浙江建业化工股份有限公司 | 膜吸收制备超净高纯硫酸的方法及所用装置 |
| CN108793089A (zh) * | 2018-09-03 | 2018-11-13 | 中国瑞林工程技术股份有限公司 | 一种硫酸厂生产精制硫酸的工艺 |
| CN108793089B (zh) * | 2018-09-03 | 2021-08-20 | 中国瑞林工程技术股份有限公司 | 一种硫酸厂生产精制硫酸的工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103407972B (zh) | 电子级硫酸生产方法 | |
| CN203498086U (zh) | 一种用于生产电子级硫酸的装置 | |
| CN204588694U (zh) | 一种电子工业用氢氟酸的生产系统 | |
| CN100441500C (zh) | 一种精制硫酸的生产方法及其生产设备 | |
| CN103359698B (zh) | 一种工业生产电子级硝酸的纯化系统 | |
| CN103508547B (zh) | 高含盐腐蚀性有机废水超临界水氧化反应装置 | |
| CN210448142U (zh) | 一种氮气曝气精馏设备 | |
| CN104829438A (zh) | 一种甲醛生产方法及装置 | |
| CN205619798U (zh) | 一种合金盘管式浓酸取样冷却器 | |
| Jiang et al. | Experimental study on the influence of adding TiO2 nanoparticles on practical ammonia-water absorption refrigeration system-the generation and rectification processes | |
| CN103432945B (zh) | 一种制备混酸的设备和方法 | |
| CN206454298U (zh) | 一种化工精馏装置 | |
| CN104418723B (zh) | 工业废水稀甲酸的回收方法及装置 | |
| CN206437449U (zh) | 一种用于石油储存的新型储油罐 | |
| CN205709899U (zh) | 一种氨气纯化装置 | |
| CN212819081U (zh) | 一种高效含酸尾气吸收液增浓回收利用系统 | |
| CN206924738U (zh) | 一种杂酸蒸馏反应釜用换热器 | |
| CN201023905Y (zh) | 易挥发危险化学品挥发气体回收装置 | |
| CN202691590U (zh) | 一种铜盘管式液氯气化器 | |
| CN207792695U (zh) | 一种电子级硫酸加热装置 | |
| CN201680143U (zh) | 一种三氯化磷生产用液氯汽化系统 | |
| CN207472081U (zh) | 一种用于生产西地那非枸橼酸盐中间体的酒精冷凝器 | |
| CN207259452U (zh) | 一种沥青烟气环保还原处理装置 | |
| CN207429731U (zh) | 制取高纯四氟甲烷的精馏装置 | |
| CN1446621A (zh) | 管式高温高压水热反应装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140326 Termination date: 20160806 |