CN203465015U - 一种热偶升降装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体加工技术领域,公开了一种热偶升降装置,包括热偶支撑架,调整热偶支撑架高度的升降机构,支撑升降机构的支撑腿,所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上,所述支撑腿为三个连杆,所述连杆一端与所述支撑动平台可转动连接,所述连杆的另一端与传动部件可转动连接。本实用新型热偶升降装置可对热偶进行三个方向的移动,节约人力,操作方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工技术领域,特别是涉及一种热偶升降装置。
背景技术
为了测量半导体扩散设备的炉体恒温区的长度,确定恒温区的位置,确定生产硅片的位置,需要将热偶(长约1000mm)在炉体内进行升降操作。因此,需要热偶升降装置,支撑热偶实现竖直方向的直线运动。
目前的半导体扩散设备的热偶升降装置的底部多为固定的支撑架,因此,热偶相对于工艺门的拉温区孔的位置的调整操作很不方便。图1为现有技术中的热偶升降装置的结构示意图,热偶升降装置采用钢材质为支撑结构,整个装置的质量较高,采用电机7驱动,利用带轮8、带9实现热偶支撑架1a上下往复运动。该装置的底部支撑为固定支撑腿11,不能进行水平位置调整,只能靠工作人员手动搬运,现场工作人员操作极不方便。
热偶支撑架1a的运动过程中需要直线导轨10进行导向,而直线导轨10安装在一根导轨支撑上,为了保证直线导轨10的直线度,需要对导轨支撑精加工,提高了成本,同时导轨支撑一般质量较高,造成整个装置的不稳定。带传动过程中,由于装配松紧程度变化,引起滑动,影响传动的精确程度。整个直线运动装置的结构不够紧凑,电机7、直线导轨10等所占空间较大,整个运动控制过程不够精确。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题是如何实现热偶升降装置中,热偶支撑架具有三个方向均可移动的功能。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种热偶升降装置,包括热偶支撑架,调整热偶支撑架高度的升降机构,支撑升降机构的支撑腿,所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上,所述支撑腿为三个连杆,所述连杆一端与所述支撑动平台可转动连接,所述连杆的另一端与传动部件可转动连接。
其中,所述连杆与支撑动平台通过虎克铰链连接。
其中,所述连杆与传动部件通过虎克铰链连接。
其中,所述传动部件为第二气缸,所述第二气缸的活塞杆与虎克铰链采用螺纹连接方式连接。
其中,所述升降机构为第一气缸。
其中,所述第一气缸与热偶支撑架可转动连接。
其中,所述热偶支撑架、支撑动平台、连杆均采用铝材质。
其中,所述第二气缸安装在固定地脚上。
(三)有益效果
上述技术方案所提供的一种热偶升降装置,其支撑腿为三个连杆,连杆一端与支撑动平台可转动连接,连杆的另一端与传动部件可转动连接,本实用新型可对热偶进行三个方向的移动,节约人力,操作方便;此外,本实用新型热偶升降装置还采用气压传动代替现有的带传动,对热偶位置的调整更加精确,且结构紧凑。
附图说明
图1是现有技术中的热偶升降装置的结构示意图;
图2是本实用新型一种热偶升降装置的示意图。
其中,1、热偶支撑架;1a、热偶支撑架;2、第一气缸;3、支撑动平台;4、连杆;5、第二气缸;6、固定地脚;7、电机;8、带轮;9、带;10、直线导轨;11、固定支撑腿。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
如图2,为本实用新型一种热偶升降装置的结构示意图,包括热偶支撑架1,热偶支撑架1用于支撑热偶,调整热偶支撑架1高度的升降机构第一气缸2,第一气缸2与热偶支撑架1可转动连接,支撑升降机构的支撑腿,支撑腿与第一气缸2均连接在支撑动平台3上,支撑腿为三个连杆4,连杆4一端与所述支撑动平台3通过虎克铰链连接,连杆4的另一端与传动部件第二气缸5通过虎克铰链连接,第二气缸5的活塞杆与虎克铰链采用螺纹连接方式连接,第二气缸5安装在固定地脚6上,固定地脚6起到与地面固定的作用,保证热偶升降装置的水平,支撑三个小型第二气缸;热偶支撑架1、支撑动平台3、连杆4均采用铝材质,铝材质使热偶升降装置质量较轻,易于实现热偶的三维移动调整操作。
本实用新型热偶升降装置中,每个连杆4有5个自由度,三个连杆4构成的整体可以实现三个方向的移动,而无转动。工作过程中,底部的3个小型的第二气缸5实现热偶升降装置在竖直方向上的小幅度上、下运动,在竖直方向运动过程中,要机械锁紧第二气缸5与连杆4间的三个虎克铰链,从而调节本实用新型热偶升降装置的整体高度。当本实用新型热偶升降装置需要进行水平方向移动时,对连杆4与第二气缸5间的虎克铰链解锁,第二气缸5的活塞杆伸缩,从而可以实现热偶升降装置水平位置的调整,克服了现有装置中,通过人工搬运来改变热偶升降装置的水平位置。
本实用新型热偶升降装置中,调整热偶高度时,采用一个可以实时反馈的第一气缸2实现热偶支撑架1的上、下运动,通过第一气缸2活塞杆的伸缩实现热偶支撑架1高度位置变换。采用气缸作为驱动装置,使结构更加紧凑,避免了现有技术中,外部驱动,如电机驱动,造成的占据空间大的问题,实现了装置结构的简化,并提高了传动精度;用于升降热偶支撑架1的第一气缸2与热偶支撑架1通过一个转动铰链连接,在需要小幅转动热偶时,则对转动铰链解锁,实现热偶支撑架1的转动。在升降热偶时,锁紧转动铰链,从而使第一气缸2驱动热偶支撑架1升降运动。
上述虎克铰链可替换为其它公知的能实现转动的部件,如两个转动铰链;
上述气压传动可替换为其它公知的能实现直线往复运动的部件,如液压传动。
本实用新型热偶升降装置,可对热偶进行三个方向的移动,节约人力,操作方便;此外,本实用新型热偶升降装置还采用气压传动代替现有的带传动,对热偶位置的调整更加精确,且结构紧凑。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和替换,这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.一种热偶升降装置,包括热偶支撑架(1),调整热偶支撑架(1)高度的升降机构,支撑升降机构的支撑腿,其特征在于,所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台(3)上,所述支撑腿为三个连杆(4),所述连杆(4)一端与所述支撑动平台(3)可转动连接,所述连杆(4)的另一端与传动部件可转动连接。
2.根据权利要求1所述的热偶升降装置,其特征在于,所述连杆(4)与支撑动平台(3)通过虎克铰链连接。
3.根据权利要求1所述的热偶升降装置,其特征在于,所述连杆(4)与传动部件通过虎克铰链连接。
4.根据权利要求3所述的热偶升降装置,其特征在于,所述传动部件为第二气缸(5),所述第二气缸(5)的活塞杆与虎克铰链采用螺纹连接方式连接。
5.根据权利要求1所述的热偶升降装置,其特征在于,所述升降机构为第一气缸(2)。
6.根据权利要求5所述的热偶升降装置,其特征在于,所述第一气缸(2)与热偶支撑架(1)可转动连接。
7.根据权利要求1所述的热偶升降装置,其特征在于,所述热偶支撑架(1)、支撑动平台(3)、连杆(4)均采用铝材质。
8.根据权利要求4所述的热偶升降装置,其特征在于,所述第二气缸(5)安装在固定地脚(6)上。
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CN201320471430.2U CN203465015U (zh) | 2013-08-02 | 2013-08-02 | 一种热偶升降装置 |
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CN103542947A (zh) * | 2013-08-02 | 2014-01-29 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种热偶升降装置 |
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2013
- 2013-08-02 CN CN201320471430.2U patent/CN203465015U/zh not_active Withdrawn - After Issue
Cited By (2)
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CN103542947A (zh) * | 2013-08-02 | 2014-01-29 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种热偶升降装置 |
CN103542947B (zh) * | 2013-08-02 | 2016-05-18 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种热偶升降装置 |
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