CN103542947A - 一种热偶升降装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种热偶升降装置，包括热偶支撑架，调整热偶支撑架高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上，所述支撑腿为三个连杆，所述连杆一端与所述支撑动平台可转动连接，所述连杆的另一端与传动部件可转动连接。本发明热偶升降装置可对热偶进行三个方向的移动，节约人力，操作方便。

Description

一种热偶升降装置
技术领域
本发明涉及半导体加工技术领域，特别是涉及一种热偶升降装置。
背景技术
为了测量半导体扩散设备的炉体恒温区的长度，确定恒温区的位置，确定生产硅片的位置，需要将热偶（长约1000mm）在炉体内进行升降操作。因此，需要热偶升降装置，支撑热偶实现竖直方向的直线运动。
目前的半导体扩散设备的热偶升降装置的底部多为固定的支撑架，因此，热偶相对于工艺门的拉温区孔的位置的调整操作很不方便。图1为现有技术中的热偶升降装置的结构示意图，热偶升降装置采用钢材质为支撑结构，整个装置的质量较高，采用电机7驱动，利用带轮8、带9实现热偶支撑架1a上下往复运动。该装置的底部支撑为固定支撑腿11，不能进行水平位置调整，只能靠工作人员手动搬运，现场工作人员操作极不方便。
热偶支撑架1a的运动过程中需要直线导轨10进行导向，而直线导轨10安装在一根导轨支撑上，为了保证直线导轨10的直线度，需要对导轨支撑精加工，提高了成本，同时导轨支撑一般质量较高，造成整个装置的不稳定。带传动过程中，由于装配松紧程度变化，引起滑动，影响传动的精确程度。整个直线运动装置的结构不够紧凑，电机7、直线导轨10等所占空间较大，整个运动控制过程不够精确。
发明内容
（一）要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是如何实现热偶升降装置中，热偶支撑架具有三个方向均可移动的功能。
（二）技术方案
为了解决上述技术问题，本发明提供一种热偶升降装置，包括热偶支撑架，调整热偶支撑架高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上，所述支撑腿为三个连杆，所述连杆一端与所述支撑动平台可转动连接，所述连杆的另一端与传动部件可转动连接。
其中，所述连杆与支撑动平台通过虎克铰链连接。
其中，所述连杆与传动部件通过虎克铰链连接。
其中，所述传动部件为第二气缸，所述第二气缸的活塞杆与虎克铰链采用螺纹连接方式连接。
其中，所述升降机构为第一气缸。
其中，所述第一气缸与热偶支撑架可转动连接。
其中，所述热偶支撑架、支撑动平台、连杆均采用铝材质。
其中，所述第二气缸安装在固定地脚上。
（三）有益效果
上述技术方案所提供的一种热偶升降装置，其支撑腿为三个连杆，连杆一端与支撑动平台可转动连接，连杆的另一端与传动部件可转动连接，本发明可对热偶进行三个方向的移动，节约人力，操作方便；此外，本发明热偶升降装置还采用气压传动代替现有的带传动，对热偶位置的调整更加精确，且结构紧凑。
附图说明
图1是现有技术中的热偶升降装置的结构示意图；
图2是本发明一种热偶升降装置的示意图。
其中，1、热偶支撑架；1a、热偶支撑架；2、第一气缸；3、支撑动平台；4、连杆；5、第二气缸；6、固定地脚；7、电机；8、带轮；9、带；10、直线导轨；11、固定支撑腿。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图2，为本发明一种热偶升降装置的结构示意图，包括热偶支撑架1，热偶支撑架1用于支撑热偶，调整热偶支撑架1高度的升降机构第一气缸2，第一气缸2与热偶支撑架1可转动连接，支撑升降机构的支撑腿，支撑腿与第一气缸2均连接在支撑动平台3上，支撑腿为三个连杆4，连杆4一端与所述支撑动平台3通过虎克铰链连接，连杆4的另一端与传动部件第二气缸5通过虎克铰链连接，第二气缸5的活塞杆与虎克铰链采用螺纹连接方式连接，第二气缸5安装在固定地脚6上，固定地脚6起到与地面固定的作用，保证热偶升降装置的水平，支撑三个小型第二气缸；热偶支撑架1、支撑动平台3、连杆4均采用铝材质，铝材质使热偶升降装置质量较轻，易于实现热偶的三维移动调整操作。
本发明热偶升降装置中，每个连杆4有5个自由度，三个连杆4构成的整体可以实现三个方向的移动，而无转动。工作过程中，底部的3个小型的第二气缸5实现热偶升降装置在竖直方向上的小幅度上、下运动，在竖直方向运动过程中，要机械锁紧第二气缸5与连杆4间的三个虎克铰链，从而调节本发明热偶升降装置的整体高度。当本发明热偶升降装置需要进行水平方向移动时，对连杆4与第二气缸5间的虎克铰链解锁，第二气缸5的活塞杆伸缩，从而可以实现热偶升降装置水平位置的调整，克服了现有装置中，通过人工搬运来改变热偶升降装置的水平位置。
本发明热偶升降装置中，调整热偶高度时，采用一个可以实时反馈的第一气缸2实现热偶支撑架1的上、下运动，通过第一气缸2活塞杆的伸缩实现热偶支撑架1高度位置变换。采用气缸作为驱动装置，使结构更加紧凑，避免了现有技术中，外部驱动，如电机驱动，造成的占据空间大的问题，实现了装置结构的简化，并提高了传动精度；用于升降热偶支撑架1的第一气缸2与热偶支撑架1通过一个转动铰链连接，在需要小幅转动热偶时，则对转动铰链解锁，实现热偶支撑架1的转动。在升降热偶时，锁紧转动铰链，从而使第一气缸2驱动热偶支撑架1升降运动。
上述虎克铰链可替换为其它公知的能实现转动的部件，如两个转动铰链；
上述气压传动可替换为其它公知的能实现直线往复运动的部件，如液压传动。
本发明热偶升降装置，可对热偶进行三个方向的移动，节约人力，操作方便；此外，本发明热偶升降装置还采用气压传动代替现有的带传动，对热偶位置的调整更加精确，且结构紧凑。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种热偶升降装置，包括热偶支撑架（1），调整热偶支撑架（1）高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，其特征在于，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台（3）上，所述支撑腿为三个连杆（4），所述连杆（4）一端与所述支撑动平台（3）可转动连接，所述连杆（4）的另一端与传动部件可转动连接。
2.根据权利要求1所述的热偶升降装置，其特征在于，所述连杆（4）与支撑动平台（3）通过虎克铰链连接。
3.根据权利要求1所述的热偶升降装置，其特征在于，所述连杆（4）与传动部件通过虎克铰链连接。
4.根据权利要求3所述的热偶升降装置，其特征在于，所述传动部件为第二气缸（5），所述第二气缸（5）的活塞杆与虎克铰链采用螺纹连接方式连接。
5.根据权利要求1所述的热偶升降装置，其特征在于，所述升降机构为第一气缸（2）。
6.根据权利要求5所述的热偶升降装置，其特征在于，所述第一气缸（2）与热偶支撑架（1）可转动连接。
7.根据权利要求1所述的热偶升降装置，其特征在于，所述热偶支撑架（1）、支撑动平台（3）、连杆（4）均采用铝材质。
8.根据权利要求4所述的热偶升降装置，其特征在于，所述第二气缸（5）安装在固定地脚（6）上。
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