CN203425689U - 半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置 - Google Patents
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Abstract
一种半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置，所述有机废气回收再利用装置包括除水器、有机废气吸收器和第二吸收器，用以导入待处理有机废气的排气管与所述除水器的进口连接，所述除水器的出口与第一气体收集管的上端连接，所述第一气体收集管的下端伸入所述有机废气吸收器的内腔的吸收液中，所述有机废气吸收器的顶部与第二气体收集管的一端连接，所述第二气体收集管的另一端伸入所述第二吸收器的内腔的吸收液中，所述第二吸收器的顶部与排空管连通。本实用新型提供了一种节省成本、实现再利用的半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种有机废气回收再利用装置。
背景技术
目前，国内半导体晶圆制造厂及TFT-LCD面板厂制程中需要使用大量有机溶液产生大量有机废气（VOCs）。其中，光刻胶剥离工序是产生有机废气的主要工序之一。目前所用的光刻胶剥离液（stripper）主要成分为高沸点而且几乎全溶于水的有机溶液，如乙醇胺（MEA），二甲基亚砜（DMSO），乙二醇单丁醚（BDG）等。有机废气对人体直接影响很大，由于有机废气具有渗透、脂及挥发等作用，人体与有机废气接触或经呼吸消化系统造成危害。某些不但容易造成作业环境空气品质恶化，而且经光化作用所造成二次污染。所以必须加以处理后方可直接排放到大气中。焚烧法是目前被各面板厂所广泛采用的有机废气处理方法。该方法由于废气中有机成分浓度通常不足以提供燃烧能量，因此保持高温的燃料费用十分可观。
发明内容
为了克服已有有机废气回收装置的成本较高、不能循环利用的不足，本实用新型提供了一种节省成本、实现再利用的半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置，所述有机废气回收再利用装置包括除水器、有机废气吸收器和第二吸收器，用以导入待处理有机废气的排气管与所述除水器的进口连接，所述除水器的出口与第一气体收集管的上端连接，所述第一气体收集管的下端伸入所述有机废气吸收器的内腔的吸收液中，所述有机废气吸收器的顶部与第二气体收集管的一端连接，所述第二气体收集管的另一端伸入所述第二吸收器的内腔的吸收液中，所述第二吸收器的顶部与排空管连通。
进一步，所述第一气体收集管的上部安装防倒吸装置。
更进一步，所述第一气体收集管的下端分布有第一气孔。
第二气体收集管的下端分布有第二气孔。
再进一步，所述有机废气吸收器安装第一液位仪和水冷却装置。
所述第二吸收器安装第二液位仪。
所述有机废气吸收器的上部安装第一进液阀，下部安装第一出液阀。
所述第二吸收器的上部安装第二进液阀，下部安装第二出液阀。
本实用新型的有益效果主要表现在：结构简单，维护方便，能耗低，成本小，实现有机物循环再利用，易于推广实用。
附图说明
图1是半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置的示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步描述。
参照图1，一种半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置，所述有机废气回收再利用装置包括除水器1、有机废气吸收器4和第二吸收器9，用以导入待处理有机废气的排气管与所述除水器1的进口连接，所述除水器1的出口与第一气体收集管3的上端连接，所述第一气体收集管3的下端伸入所述有机废气吸收器4的内腔的吸收液中，所述有机废气吸收器4的顶部与第二气体收集管8的一端连接，所述第二气体收集管8的另一端伸入所述第二吸收器9的内腔的吸收液中，所述第二吸收器9的顶部与排空管11连通。
进一步，所述第一气体收集管3的上部安装防倒吸装置2。所述第一气体收集管3的下端分布有第一气孔5。第二气体收集管8的下端分布有第二气孔10。所述有机废气吸收器4安装第一液位仪6和水冷却装置7。所述第二吸收器9安装第二液位仪12。所述有机废气吸收器4的上部安装第一进液阀13，下部安装第一出液阀14。所述第二吸收器9的上部安装第二进液阀15，另一侧下部安装第二出液阀16。
本实施例中，stripper有机废气经过排气管道，首先经过除水器1，除去气体中的水蒸汽；除水后的有机废气通过第一气体收集管3伸入到有机废气吸收器4，在收集管上分布有多个第一气孔5，为了防止倒吸，在除水器1和有机废气吸收器4之间安装防倒吸装置2；为了有机废气冷凝液后续提纯的经济性，有机废气吸收器中采用高沸点有机溶剂为吸收液，如NMP，DMAc，MEA等，更优选为stripper配方溶剂,如此提纯后可直接用于stripper的配置使用；
有机废气吸收器4中安装第一液位计6，以液位控制排放；有机废气吸收器安装水冷装置7，控制有机废气吸收器4的温度在室温；
有机废气吸收器4通过第二气体收集管8与第二吸收器9相连，进一步吸收有机废气；第二吸收器9中采用BDG为吸收液；第二吸收器通过排空管11排空。
本实施例采用stripper配方液为吸收液，stripper有机废气进行冷凝、吸收。所得收集液只需要经过简易的精馏就可以实现stripper的循环利用，气体收集管多孔设计和设置于吸收器底部保证了有机废气得到充分吸收。通过水冷的方法保持吸收器为室温，此处的水不需要冰水，节省了能源。第二吸收器对有机废气进一步吸收，以BDG为吸收液，BDG无毒且高沸点，能与stripper配方溶剂互溶，而且沸点差异大，所得收集液可以通过简易的精馏得到对应的stripper配方溶剂，所余的BDG可以重新用作吸收液。
如图1所示，stripper有机废气回收装置，有机废气由排气管首先经过除水器1，之后有气体收集管3经由防倒吸装置2导入有机废气吸收器4的底部，收集管底部分布有多个第一气孔5，有机废气吸收器4设置有第一液位仪6，周边为水冷装置7，经过吸收后，气体通过气体收集管8进入第二吸收器9底部，收集管底部分布多个第二气孔10，最后通过排空管11排空，设置有第二液位仪12，各吸收器，各有阀门13和14，15和16，分别控制新液的加入和收集液的排出。
Claims (8)
1.一种半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置，其特征在于：所述有机废气回收再利用装置包括除水器、有机废气吸收器和第二吸收器，用以导入待处理有机废气的排气管与所述除水器的进口连接，所述除水器的出口与第一气体收集管的上端连接，所述第一气体收集管的下端伸入所述有机废气吸收器的内腔的吸收液中，所述有机废气吸收器的顶部与第二气体收集管的一端连接，所述第二气体收集管的另一端伸入所述第二吸收器的内腔的吸收液中，所述第二吸收器的顶部与排空管连通。
2.如权利要求1所述的半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置，其特征在于：所述第一气体收集管的上部安装防倒吸装置。
3.如权利要求1或2所述的半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置，其特征在于：所述第一气体收集管的下端分布有第一气孔。
4.如权利要求1或2所述的半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置，其特征在于：第二气体收集管的下端分布有第二气孔。
5.如如权利要求1或2所述的半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置，其特征在于：所述有机废气吸收器安装第一液位仪和水冷却装置。
6.如如权利要求1或2所述的半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置，其特征在于：所述第二吸收器安装第二液位仪。
7.如如权利要求1或2所述的半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置，其特征在于：所述有机废气吸收器的上部安装第一进液阀，下部安装第一出液阀。
8.如如权利要求1或2所述的半导体/面板生产中有机废气回收再利用装置，其特征在于：所述第二吸收器的上部安装第二进液阀，下部安装第二出液阀。
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