CN203422358U - 一种5n高纯二氧化碳中气体的分析装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型的目的在于公开一种5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，它包括定体积量管、混合填充柱和热导检测器，载气钢瓶与所述定体积量管的输入端连接，所述定体积量管的输出端依次连接混合填充柱和热导检测器，所述定体积量管上设置有样品气进出口，所述混合填充柱中设置有用于吸附高纯二氧化碳气体的吸附填充物；与现有技术相比，在没有切割流程以及DID气相色谱仪的情况下，通过混合填充柱中的吸附填充物将进入的二氧化碳全部吸收，同时优化氧气、氮气、一氧化碳和甲烷的分离，这样即消除了二氧化碳主峰信号对微量氧气、氮气、一氧化碳和甲烷的影响，也保证待测组分分离情况理想，峰型较好，降低成本，简化操作，实现本实用新型的目的。

Description

一种5N高纯二氧化碳中气体的分析装置

技术领域

本实用新型涉及一种气体分析装置，特别涉及一种在5N高纯二氧化碳中分析氧气、氮气、一氧化碳和甲烷的分析装置。

背景技术

在现有技术中，二氧化碳由于其性质稳定，作为清洗剂大量应用于半导体行业，随着需求的增加，越来越多的企业单位都在进行液体二氧化碳生产工艺的改进和二氧化碳纯化技术的研发，逐步进入高纯度二氧化碳的生产和检测领域，这就要求我们在生产高纯二氧化碳能力的同时，具备简单、快速和有效高纯度二氧化碳的分析检测装置。

5N二氧化碳中氧气、氮气、一氧化碳和甲烷通常采用带切割流程的DID气相色谱仪进行检测，DID气相色谱仪的价格昂贵，一台仪器目前价格在30-40万，这对中小型企业负担较重，所以普及程度较低，并且仪器气路复杂，维护成本高，同时对操作人员的技术要求也较高。

因此，特别需要一种5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，以解决上述现有存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，针对现有技术的不足，在不使用复杂的切割流程以及DID气相色谱仪的条件下，分析5N高纯二氧化碳中的氧气、氮气、一氧化碳和甲烷，大大降低了成本，且简化了操作。

本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：

一种5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，其特征在于，它包括定体积量管、混合填充柱和热导检测器，载气钢瓶与所述定体积量管的输入端连接，所述定体积量管的输出端依次连接混合填充柱和热导检测器，所述定体积量管上设置有样品气进出口，所述混合填充柱中设置有用于吸附高纯二氧化碳气体的吸附填充物。

在本实用新型的一个实施例中，所述载气钢瓶通过一载气纯化器与所述定体积量管的输入端相连接。

在本实用新型的一个实施例中，在所述载气钢瓶的输出端设置有压力调节器。

在本实用新型的一个实施例中，在所述定体积量管的输入端连接有稳流调节阀。

在本实用新型的一个实施例中，所述热导检测器还连接有一流量计。

本实用新型的5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，与现有技术相比，在没有切割流程以及DID气相色谱仪的情况下，通过混合填充柱中的吸附填充物将进入的二氧化碳全部吸收，同时优化氧气、氮气、一氧化碳和甲烷的分离，这样即消除了二氧化碳主峰信号对微量氧气、氮气、一氧化碳和甲烷的影响，也保证待测组分分离情况理想，峰型较好，降低成本，简化操作，实现本实用新型的目的。

本实用新型的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。

附图说明

图1为本实用新型的5N高纯二氧化碳中气体的分析装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

实施例

如图1和图2所示，本实用新型的5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，它包括定体积量管100、混合填充柱200和热导检测器300，载气钢瓶400与所述定体积量管100的输入端连接，所述定体积量管100的输出端依次连接混合填充柱200和热导检测器300，所述定体积量管100上设置有样品气进出口110，所述混合填充柱200中设置有用于吸附高纯二氧化碳气体的吸附填充物。

在本实施例中，所述载气钢瓶400通过一载气纯化器500与所述定体积量管100的输入端相连接。

在本实施例中，在所述载气钢瓶400的输出端设置有压力调节器600。

在本实施例中，在所述定体积量管100的输入端连接有稳流调节阀700。

在本实施例中，所述热导检测器300还连接有一流量计800。

本实用新型的5N高纯二氧化碳中气体的分析装置在没有切割流程的情况下，依靠混合填充柱200中的吸附填充物，调节混合填充柱200的吸附及分离能力，进行二氧化碳中氧气、氮气、一氧化碳和甲烷的测定。

混合填充柱200中的吸附填充物为多种分子筛类的吸附剂的混合物，分别是13X分子筛、5A分子筛和Noy分子筛以3:1:1重量比例的混合物；混合填充柱200的外径为3mm，长为2m。

混合填充柱200可保证将进入的二氧化碳全部被吸收，并保持6-8小时不脱附，同时优化氧气、氮气、一氧化碳和甲烷的分离；这样即消除了二氧化碳主峰信号对微量氧气、氮气、一氧化碳和甲烷的影响，也保证待测组分分离情况理想，峰型较好。

本实用新型的5N高纯二氧化碳中气体的分析装置大幅度降低了高纯二氧化碳分析检测的成本，提高了检测效率，只有DID气相色谱仪价格的十分之一左右，同时维护成本也较低，对操作人员的要求也比较低，可广泛应用普及。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内，本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (5)

1.一种5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，其特征在于，它包括定体积量管、混合填充柱和热导检测器，载气钢瓶与所述定体积量管的输入端连接，所述定体积量管的输出端依次连接混合填充柱和热导检测器，所述定体积量管上设置有样品气进出口，所述混合填充柱中设置有用于吸附高纯二氧化碳气体的吸附填充物。

2.如权利要求1所述的5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，其特征在于，所述载气钢瓶通过一载气纯化器与所述定体积量管的输入端相连接。

3.如权利要求1所述的5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，其特征在于，在所述载气钢瓶的输出端设置有压力调节器。

4.如权利要求1所述的5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，其特征在于，在所述定体积量管的输入端连接有稳流调节阀。

5.如权利要求1所述的5N高纯二氧化碳中气体的分析装置，其特征在于，所述热导检测器还连接有一流量计。

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