CN203367255U - 半导体制程夹具处理设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体制程夹具处理设备，包含有移载滑台、载料单元及卸料单元，载料单元包含有电性连接的载料移载机具、载料物料存取区以及载料物料取放机具，卸料单元包含有电性连接的卸料移载机具、卸料物料存取区以及卸料物料取放机具。本实用新型主要通过移载滑台，使载料单元及卸料单元对半导体制程夹具的拆装、载料及卸料作业完全自动化，形成一自动化循环装、卸除机构，不仅节省人力的消耗，也大幅提升作业效率。

Description

半导体制程夹具处理设备

技术领域

本实用新型涉及一种半导体制程夹具处理设备，特别是指一种可节省人力、提升效率、可完全自动化载料及卸料的半导体制程夹具处理设备。

背景技术

半导体制程夹具主要用来夹掣欲烘烤的半导体组件，在夹具的体积、重量、夹掣稳定度的改善下，如今半导体制程夹具的操作方式已逐渐简单、方便化。

然而，纵使半导体制程夹具的操作方式再简单、方便，仍需要人力拆卸半导体制程夹具，才得以放置欲烘烤的半导体组件于半导体制程夹具上，且在半导体组件放置后，仍需额外人力再装设半导体制程夹具，才得以使半导体制程夹具稳固夹掣半导体组件，不论在人力及效率上皆有改善的空间。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，利用移载滑台移载半导体制程夹具，使半导体制程夹具移载至载料单元及卸料单元，使得半导体制程夹具的拆装、载料及卸料作业完全自动化，形成一自动化循环装、卸除机构，不仅节省人力的消耗，也大幅提升作业效率。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种半导体制程夹具处理设备，半导体制程夹具包含有由上而下依序设置的上夹板、中夹板及下夹板，其中，上夹板两侧分别设置有贯穿上夹板的锥度孔，锥度孔内穿设有连接下夹板的螺杆，螺杆上则锁设可锁入锥度孔的锥度定位件，上夹板下方通过数个弹性组件连接中夹板，而下夹板的四个端部则分别设置有连接上夹板的挡止块，使挡止块与中夹板及下夹板之间可形成一置放物料的容置空间； 

    半导体制程夹具处理设备对半导体制程夹具进行载料及卸料作业，处理设备主要包含有：

    移载滑台，该移载滑台移载半导体制程夹具；

　载料单元，包含有电性连接的载料移载机具、载料物料存取区以及载料物料取放机具，通过移载滑台承载半导体制程夹具，并将半导体制程夹具移载定位后，载料移载机具拆卸半导体制程夹具的锥度定位件、上夹板及中夹板，而载料物料取放机具搬运存放于载料物料存取区的物料至半导体制程夹具上，在半导体制程夹具载满物料后再通过载料移载机具装载锥度定位件、上夹板及中夹板于半导体制程夹具上；

　卸料单元，连接移载滑台，卸料单元主要包含有电性连接的卸料移载机具、卸料物料存取区以及卸料物料取放机具，移载滑台将载满物料的半导体制程夹具移载定位后，通过卸料移载机具拆卸半导体制程夹具的锥度定位件、上夹板及中夹板，而卸料物料取放机具则搬运半导体制程夹具上的物料存放至卸料物料存取区，在半导体制程夹具卸除完物料后再通过卸料移载机具装载锥度定位件、上夹板及中夹板于半导体制程夹具上。

进一步地，移载滑台、载料单元及卸料单元之间形成半导体制程夹具的自动载料、卸料的循环机构。

进一步地，载料移载机具在装载上夹板及中夹板时，压合位于容置空间内的物料。

进一步地，载料单元通过载料滑轨连接载料物料总存取区。

进一步地，卸料单元通过由卸料滑轨连接卸料物料总存取区。

进一步地，物料为蓝钢片、玻璃或半导体组件。

进一步地，载料物料取放机具自动选择物料的种类并搬运至半导体制程夹具上。

进一步地，卸料物料取放机具将半导体制程夹具上的物料进行分类并放置于卸料物料存取区。

如上所述，本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型所述半导体制程夹具处理设备，通过载料单元上的载料移载机具及卸料单元上的卸料移载机具，使得半导体制程夹具的锥度定位件、上夹板及中夹板可完全自动化拆装，大幅节省人力的消耗；

2、本实用新型所述半导体制程夹具处理设备，通过载料单元上的载料物料取放机具及卸料单元上的卸料物料取放机具，使得半导体制程夹具的载料及卸料作业完全自动化，同样可大幅节省人力的消耗，同时提升作业效率；

3、本实用新型所述半导体制程夹具处理设备，载料单元上的载料物料取放机具可依控制而选择性的搬运物料至半导体制程夹具，提升载料作业的方便性；

4、本实用新型所述半导体制程夹具处理设备，卸料单元上的卸料物料取放机具可依控制而搬运并分类半导体制程夹具上的物料，使得烘烤后的物料得以直接自动归类，提升了物料储放的效率；

5、本实用新型所述半导体制程夹具处理设备，通过载料单元、移载滑台及卸料单元所形成的半导体制程夹具自动载料、卸料循环机构，使得整个载料、烘烤、卸料的作业不中断，有效地提高作业效率。

附图说明

图1为本实用新型的半导体制程夹具示意图；

图2为本实用新型的半导体制程夹具处理设备架构示意图。

图中，1.半导体制程夹具

10.上夹板

100.锥度孔

101.弹性组件

11.中夹板

12.下夹板

13.螺杆

14.锥度定位件

15.挡止块

16.容置空间

20.载料单元

201.载料移载机具

202.载料物料存取区

2020.蓝钢片储区

2021.玻璃储区

2022.半导体组件储区

203.载料物料取放机具

204.载料滑轨

205.载料物料总存取区

21.卸料单元

210.卸料移载机具

211.卸料物料存取区

212.卸料物料取放机具

2120.蓝钢片储区

2121.玻璃储区

2122.半导体组件储区

213.卸料滑轨

214.卸料物料总存取区

3.移载滑台

A.物料。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

由图可知，请参阅图1；由图1可知，本实用新型所述的半导体制程夹具1包含有由上而下依序设置的上夹板10、中夹板11及下夹板12；上夹板10两侧分别设置有贯穿上夹板10的锥度孔100，两锥度孔100内分别穿设有连接下夹板12的螺杆13，螺杆13上则锁设可锁入锥度孔100的锥度定位件14，其中，上夹板10下方通过数个弹性组件101（即弹簧，本实用新型以四个弹性组件101为举例）连接中夹板11，而下夹板12的四个端部则分别设置有连接上夹板10的挡止块15，使挡止块15与中夹板11及下夹板12之间可形成一容置空间16；而半导体制程夹具1的作动方式为现有技术，在此不再赘述。

续请参阅图2，配合参阅图1；由图所示，依据前述半导体制程夹具1，本实用新型的主要特征在于对半导体制程夹具1进行载料及卸料作业的处理设备，而处理设备主要包含有：

移载滑台3，用来移载半导体制程夹具1；

载料单元20，包含有电性连接的载料移载机具201、载料物料存取区202以及载料物料取放机具203；通过移载滑台3承载无载料的半导体制程夹具1，并将半导体制程夹具1移载定位（视载料移载机具201所设置的位置予以定位）后，通过载料移载机具201自动拆卸半导体制程夹具1的锥度定位件14、上夹板10及中夹板11，续，当锥度定位件14、上夹板10及中夹板11被拆卸完成后，载料物料取放机具203随即搬运存放于具有载料物料存取区202的物料A至半导体制程夹具1上（其中，物料A可为蓝钢片、玻璃或半导体组件等；载料物料取放机具203搬运物料A的搬运方式可藉由机械手臂予以搬运，或者可由其他夹掣方式搬运物料A；而载料物料存取区202具有蓝钢片储区2020、玻璃储区2021、半导体组件储区2022等，使得载料物料取放机具203可依据控制讯号搬运欲烘烤的物料A），接续，在半导体制程夹具1载满物料A后再通过载料移载机具201装载上夹板10及中夹板11，此时，载料移载机具201向下压掣上夹板10，使得位于中夹板11及下夹板12之间的物料A得以被紧密夹固，再将锥度定位件14锁设定为，以利物料A的烘烤作业；其中，所述载料单元20更可额外通过载料滑轨204连接载料物料总存取区205，使得欲做烘烤的物料A预先存放于载料物料总存取区205内，待欲进行烘烤作业时，再通过载料滑轨204导送至载料物料存取区202，以便载料物料取放机具203将物料A搬运至半导体制程夹具1上；

卸料单元21，连接移载滑台3；卸料单元21主要包含有电性连接的卸料移载机具210、卸料物料存取区211以及卸料物料取放机具212，移载滑台3将载满已烘烤过之物料A的半导体制程夹具1移载定位（同样视卸料移载机具210所设置的位置予以定位）后，通过卸料移载机具210拆卸半导体制程夹具1的锥度定位件14、上夹板10及中夹板11，续，通过卸料物料取放机具212将半导体制程夹具1上的物料A（蓝钢片、玻璃或半导体组件）搬运至卸料物料存取区211（含蓝钢片储区2120、玻璃储区2121、半导体组件储区2122等），并且依据物料A的种类存放，接续，待半导体制程夹具1已完全卸除完物料A后，再通过卸料移载机具210依序装载中夹板11、上夹板10及锥度定位件14于半导体制程夹具1上，之后再依需求通过移载滑台3移载无载料的半导体制程夹具1至载料单元20，继续半导体制程夹具1的载料作业；其中，所述卸料单元21可额外通过卸料滑轨213连接卸料物料总存取区214，使得经卸料物料取放机具212搬运至卸料物料存取区211的物料A，可再通过卸料滑轨213导送至卸料物料总存取区214内加以储存。

由上述可知，本实用新型所述的半导体制程夹具处理设备，主要通过载料单元20、移载滑台3及卸料单元21形成半导体制程夹具1的自动载料、卸料的循环机构，使得半导体制程夹具1通过移载滑台3移载至载料单元20时，通过载料移载机具201自动拆卸半导体制程夹具1的锥度定位件14、上夹板10及中夹板11，再通过载料物料取放机具203搬运存放于具有载料物料存取区202的物料A至半导体制程夹具1上，续将锥度定位件14、上夹板10及中夹板11重新装设后，即完成半导体制程夹具1的载料作业；接续，载满物料A的半导体制程夹具1则再通过移载滑台3移至烘烤作业（或通过操作人员搬送至烘烤作业），待物料A烘烤完毕后，载满物料A的半导体制程夹具1同样通过移载滑台3移载至卸料单元21，使得卸料单元21的卸料移载机具210再次自动拆卸半导体制程夹具1的锥度定位件14、上夹板10及中夹板11，以利卸料物料取放机具212将半导体制程夹具1上的物料A搬运至卸料物料存取区211，并且依据物料A的种类存放后，再重新装设锥度定位件14、上夹板10及中夹板11于半导体制程夹具1上，并通过移载滑台3重复移载至载料单元20，重复循环半导体制程夹具1的载料及卸料作业。

以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (8)

1.一种半导体制程夹具处理设备，半导体制程夹具包含有由上而下依序设置的上夹板、中夹板及下夹板，其中，上夹板两侧分别设置有贯穿上夹板的锥度孔，锥度孔内穿设有连接下夹板的螺杆，螺杆上则锁设可锁入锥度孔的锥度定位件，上夹板下方通过数个弹性组件连接中夹板，而下夹板的四个端部则分别设置有连接上夹板的挡止块，使挡止块与中夹板及下夹板之间可形成一置放物料的容置空间；其特征在于：

    半导体制程夹具处理设备对半导体制程夹具进行载料及卸料作业，处理设备主要包含有：

    移载滑台，该移载滑台移载半导体制程夹具；

　载料单元，包含有电性连接的载料移载机具、载料物料存取区以及载料物料取放机具，通过移载滑台承载半导体制程夹具，并将半导体制程夹具移载定位后，载料移载机具拆卸半导体制程夹具的锥度定位件、上夹板及中夹板，而载料物料取放机具搬运存放于载料物料存取区的物料至半导体制程夹具上，在半导体制程夹具载满物料后再通过载料移载机具装载锥度定位件、上夹板及中夹板于半导体制程夹具上；

　卸料单元，连接移载滑台，卸料单元主要包含有电性连接的卸料移载机具、卸料物料存取区以及卸料物料取放机具，移载滑台将载满物料的半导体制程夹具移载定位后，通过卸料移载机具拆卸半导体制程夹具的锥度定位件、上夹板及中夹板，而卸料物料取放机具则搬运半导体制程夹具上的物料存放至卸料物料存取区，在半导体制程夹具卸除完物料后再通过卸料移载机具装载锥度定位件、上夹板及中夹板于半导体制程夹具上。

2.如权利要求1所述的半导体制程夹具处理设备，其特征在于，移载滑台、载料单元及卸料单元之间形成半导体制程夹具的自动载料、卸料的循环机构。

3.如权利要求1所述的半导体制程夹具处理设备，其特征在于，载料移载机具在装载上夹板及中夹板时，压合位于容置空间内的物料。

4.如权利要求1所述的半导体制程夹具处理设备，其特征在于，载料单元通过载料滑轨连接载料物料总存取区。

5.如权利要求1所述的半导体制程夹具处理设备，其特征在于，卸料单元通过由卸料滑轨连接卸料物料总存取区。

6.如权利要求1所述的半导体制程夹具处理设备，其特征在于，物料为蓝钢片、玻璃或半导体组件。

7.如权利要求6所述的半导体制程夹具处理设备，其特征在于，载料物料取放机具自动选择物料的种类并搬运至半导体制程夹具上。

8.如权利要求6所述的半导体制程夹具处理设备，其特征在于，卸料物料取放机具将半导体制程夹具上的物料进行分类并放置于卸料物料存取区。

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