CN203367243U - 芯片挑拣装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种芯片挑拣装置，用于在至少两个芯片取放面提取或置放一芯片，芯片挑拣装置包含一旋转轴、一延伸杆、及一提放件，旋转轴的轴向的延伸线相交于两个芯片取放面的延伸面，且两个芯片取放面的延伸面的夹角小于180°，延伸杆自旋转轴的径向方向延伸出，而经旋转轴旋转形成一回旋面，回旋面朝向两个芯片取放面的夹角皆为小于90°，提放件设置于延伸杆，而经旋转轴旋转依序经过两个芯片取放面，以在两个芯片取放面提取或置放芯片，而达到回旋空间小、搬运动作快的效果，以减少半导体制程中挑拣芯片的时间。
Description
技术领域
本实用新型系关于一种芯片挑拣装置，特别是关于一种旋转式的芯片挑拣装置。
背景技术
芯片可制作为集成电路所用的载体，其经由感光剂涂布、曝光、显影、蚀刻、及渗透等处理流程，以制成具有多层线路的组件，并经由检测、封装，而制成实际可用的集成电路产品。而为了避免环境尘埃微粒对于制造流程所产生的影响，以及人为操作所产生的错误，芯片的处理制造大多于无尘室中，并且利用自动化的设备进行。
由于芯片制程中的各处理流程所使用的设备不同，以及各种设备分布于不同位置，所以通常藉由一芯片挑拣装置，以对于芯片进行挑拣、分选，并将芯片搬运至下一制造流程所使用的设备。芯片挑拣装置设计不适当，则会使挑拣的时间过久、搬运的距离过长、分选的时间间隔过长，而耗费多余的处理时间，使产品的总加工时间增加，而增加了制程成本。
鉴于以上所述，芯片挑拣装置的设计规划对于芯片的制程时间相当重要，并进一步关系到生产在线各加工设备的使用率，以及影响到产品整体的生产时间。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是提供一种芯片挑拣装置，以降低制程成本，改善习知技术的问题。
本实用新型为解决习知技术的问题所采用的技术手段系为一种芯片挑拣装置，用于在至少两个芯片取放面提取或置放一芯片。芯片挑拣装置包含一旋转轴、一延伸杆、及一提放件。旋转轴的轴向的延伸线相交于两个芯片取放面的延伸面，且两个芯片取放面的延伸面的夹角小于180°。延伸杆自旋转轴的径向方向延伸出，而经旋转轴旋转形成一回旋面，回旋面朝向两个芯片取放面的夹角皆为小于90°。提放件设置于延伸杆，而经旋转轴旋转依序经过两个芯片取放面，以在两个芯片取放面提取或置放芯片。
在本实用新型的一实施例中，还包括一摄影构件，摄影构件的照射方向相交于提放件的移动路径的一特定位置处。
在本实用新型的一实施例中，旋转轴延伸出有多个延伸杆。
在本实用新型的一实施例中，两个延伸杆的提放件为同时于两个芯片取放面提取或置放芯片。
在本实用新型的一实施例中，每个延伸杆之间的夹角的角度为相同。
在本实用新型的一实施例中，每个延伸杆的长度为相同。
在本实用新型的一实施例中，延伸杆呈弯折状而具有一折角。
在本实用新型的一实施例中，延伸杆的一延伸末段垂直于芯片取放面。
在本实用新型的一实施例中，延伸杆设置为多个，每个延伸杆的折角的角度为相同。
在本实用新型的一实施例中，两个芯片取放面相互垂直。
在本实用新型的一实施例中，提放件在芯片取放面时为停留。
在本实用新型的一实施例中，回旋面朝向两个芯片取放面的夹角的角度为相同。
经由本实用新型所采用的技术手段，藉由使芯片取放面更为靠近自旋转轴所延伸出的延伸杆的提放件，而只需要较小的搬运空间，可达到回旋空间小、搬运动作快的效果，以节省芯片搬运时间。此外，本实用新型更缩小延伸杆间的角度，让各个延伸杆至芯片取放面的移动时间更快，使芯片的挑拣分选更快速方便，相当适用于多种加工处理方式的生产流程中，进一步提高各加工设备的使用率并减少整体生产时间。
附图说明
图1系显示依据本实用新型的第一实施例的芯片挑拣装置的立体图。
图2系显示依据本实用新型的第一实施例的芯片挑拣装置的前视图之一。
图3系显示依据本实用新型的第一实施例的芯片挑拣装置的前视图之二。
图4系显示依据本实用新型的第一实施例的芯片挑拣装置的轴向上视图。
图5系显示依据本实用新型的第二实施例的芯片挑拣装置的立体图。
符号说明
100、100a 芯片挑拣装置
1 旋转轴
2 延伸杆
21 延伸末段
3 提放件
4 摄影构件
A 延伸线
D1、D2、D3 移动方向
F1、F2 芯片取放面
F1e、F2e 延伸面
F3、F4 中间取放面
Fr 回旋面
P 移动路径
R1、R2、R3 旋转方向
W 芯片
θ1、θ2、θ3 夹角
θ4 折角
θ5 夹角
具体实施方式
本实用新型所采用的具体实施例，将藉由以下的实施例及附呈图式作进一步的说明。
参阅图1及图2所示，本实用新型的第一实施例的芯片挑拣装置100系用于在芯片取放面F1、F2提取或置放一芯片W。芯片挑拣装置100包括一旋转轴1、一延伸杆2、及一提放件3。延伸杆2自旋转轴1的径向方向延伸出，而提放件3设置于延伸杆2的一端部。当旋转轴1沿着一旋转方向R1旋转时，提放件3为依序经过芯片取放面F1、F2，而可在芯片取放面F1、F2提取或置放芯片W。并且在本实施例中，提放件3在芯片取放面F1、F2时，旋转轴1为停止旋转，而使提放件3为停留，以更为确实地执行提取及置放芯片W的动作。在本实施例中，提放件3为一吸嘴，而藉由一气体管（图未示）连通于一吸放机构（图未示），吸放机构为一种可将气体增压排出或减压吸入的机器。藉由吸放机构将气体减压而使气体管中的气体于提放件3处为负压，而使定位于芯片取放面F1、F2的提放件3提取芯片W，或藉由吸放机构将气体增压而使气体管中的气体于提放件3处为正压，而使定位于芯片取放面F1、F2的提放件3置放芯片W。然而，本实用新型不限于此，提放件3也可为一种抓取器或其它类似物，只要可以提取或置放芯片W即可。
配合参阅图3所示，在旋转轴1位于两个芯片取放面F1、F2之间的条件下，即旋转轴1的轴向的延伸线A相交于芯片取放面F1的延伸面F1e以及相交于芯片取放面F2的延伸面F2e，当延伸面F1e与延伸面F2e之间的夹角θ1越小，表示芯片取放面F1、F2为越靠近自旋转轴1所延伸出的延伸杆2的端部的提放件3，而只需要较小的搬运空间，以节省芯片搬运时间。在本实施例中，两个芯片取放面的延伸面F1e、F2e的夹角θ1小于180。如此，延伸杆2的端部经旋转轴1旋转所形成的一回旋面Fr所朝向两个芯片取放面F1、F2的夹角θ2、θ3皆为小于90，而可达到回旋空间小、搬运动作快的效果。此外，在本实施例中，延伸杆2呈弯折状而具有一折角θ4，如此更可缩小回旋面Fr的面积，以进一步提供芯片取放面F1、F2内靠的空间，以减少回旋空间。且延伸杆2经弯折后的一延伸末段21垂直于芯片取放面F1、F2，而可使提放件3对于芯片W的提取与置放的效果更好。
在本实施例中，两个芯片取放面F1、F2为相互垂直，这样的好处是，芯片挑拣装置100的形成空间为局限于一立方形的区域轮廓中，而更有利于芯片挑拣装置100的设置摆放，并且整体上进一步可达到节省空间的效果。再者，在本实施例中，为了使提放件3得以于芯片取放面F1、F2上的任意位置取放芯片W，芯片取放面F1可沿着移动方向D1、D2移动，以及以旋转方向R2旋转，芯片取放面F2可沿着移动方向D1、D3移动，以及以旋转方向R3旋转，即可将欲取放芯片W的位置调整至对应处，而供提放件3进行提取或置放。此外，为了使置放于芯片取放面F1、F2上的芯片W不会偏离其置放位置。在其它实施例中，在芯片取放面F1、F2上可进一步提供有一黏着件（例，蓝膜），以使芯片W能够固定黏着于芯片取放面F1、F2上的置放位置。
在本实施例中，旋转轴1延伸出有多个延伸杆2，其中两个延伸杆2提放件3为同时于两个芯片取放面F1、F2提取或置放芯片W，以达到更好的搬运效率。而由于旋转轴1为旋转，在本实施例中，每个延伸杆2的长度为相同，并且，每个延伸杆2的折角θ4的角度为相同，而且回旋面Fr朝向芯片取放面F1的夹角θ2与回旋面Fr朝向芯片取放面F2的夹角θ3的角度为相同，以使得多个延伸杆2的提放件3经旋转轴1旋转仍皆可对应于芯片取放面F1、F2，以提取或置放芯片W。
此外，为了确认提放件3经过芯片取放面F1、F2时为确实提取或置放芯片W。在本实施例中，芯片挑拣装置100还包括一摄影构件4。如图4所示，摄影构件4的照射方向相交于提放件3的移动路径P的一特定位置处。藉此当提放件3经旋转轴1旋转而经过摄影构件4的上方位置处时，摄影构件4的镜头可拍摄到提放件3上是否提取有芯片W，以进行确认，或者摄影构件4也可对于芯片W作外观检测，或是也可以利用摄影构件4对于旋转轴1、延伸杆2、提放件3、及芯片W加以定位。
参阅图5所示，其系显示本实用新型的第二实施例的芯片挑拣装置100a。芯片挑拣装置100a与第一实施例的芯片挑拣装置100的结构大致相同，故相同的组件以相同的符号表示，在此不再赘述，其差别在于：在本实施例中，还包括一中间取放面F3、F4，接近于提放件3的移动路径P（图4）。当旋转轴1沿着旋转方向R1旋转时，提放件3系依序经过芯片取放面F1、中间取放面F3、芯片取放面F2、及中间取放面F4。并且，每个延伸杆2之间的夹角θ5的角度为相同，使四个延伸杆2的提放件3为同时于芯片取放面F1、F2以及中间取放面F3、F4提取或置放芯片W，藉此达到更佳的搬运效率。
以上的叙述仅为本实用新型的较佳实施例说明，凡精于此项技艺者当可依据上述的说明而作其它种种的改良，然而这些改变仍属于本实用新型的创作精神及所界定的专利范围中。
Claims (11)
1.一种芯片挑拣装置，系用于在至少两个芯片取放面提取或置放一芯片，其特征在于，该芯片挑拣装置包含：
一旋转轴，该旋转轴的轴向的延伸线系相交于该两个芯片取放面的延伸面，且该两个芯片取放面的延伸面的夹角系小于180°；
一延伸杆，自该旋转轴的径向方向延伸出，而经该旋转轴旋转形成一回旋面，该回旋面朝向两个芯片取放面的夹角系皆为小于90°；以及
一提放件，设置于该延伸杆。
2.如权利要求1所述的芯片挑拣装置，其特征在于，还包括一摄影构件，该摄影构件的照射方向系相交于该提放件的移动路径的一位置处。
3.如权利要求1所述的芯片挑拣装置，其特征在于，该旋转轴系延伸出有多个延伸杆。
4.如权利要求3所述的芯片挑拣装置，其特征在于，该每个该延伸杆之间的夹角的角度系为相同。
5.如权利要求3所述的芯片挑拣装置，其特征在于，每个该延伸杆的长度系为相同。
6.如权利要求1所述的芯片挑拣装置，其特征在于，该延伸杆系呈弯折状而具有一折角。
7.如权利要求6所述的芯片挑拣装置，其特征在于，该延伸杆的一延伸末段系垂直于该芯片取放面。
8.如权利要求6所述的芯片挑拣装置，其特征在于，该延伸杆系设置为多个，每个该延伸杆的折角的角度系为相同。
9.如权利要求1所述的芯片挑拣装置，其特征在于，该两个芯片取放面系相互垂直。
10.如权利要求1所述的芯片挑拣装置，其特征在于，该芯片取放面为该提放件的停留位置。
11.如权利要求1所述的芯片挑拣装置，其特征在于，该回旋面朝向两个该芯片取放面的夹角的角度系为相同。
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