CN203348587U

CN203348587U - 插入式风道阀门及废气处理系统

Info

Publication number: CN203348587U
Application number: CN 201320403970
Authority: CN
Inventors: 陆士德
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2013-07-08
Filing date: 2013-07-08
Publication date: 2013-12-18
Anticipated expiration: 2023-07-08

Abstract

本实用新型公开了一种插入式风道阀门及废气处理系统，该插入式风道阀门包括阀片、阀片拉放滚筒机构、阀片收纳滚筒机构、导轮弹簧机构以及分别用于连接对接管道的动阀体和静阀体，动阀体通过导轮弹簧机构压合于静阀体上并能相对静阀体移动，阀片拉放滚筒机构带动阀片伸入动阀体和静阀体之间的间隙通道内，阀片拉放滚筒机构带动阀片从动阀体和静阀体之间的间隙通道伸出。在风道正常运行时，阀片不在风道内，因而不但不会阻碍风道通畅性，而且结晶物不会堆结于阀片上腐蚀和堵塞阀门，在洗涤塔进行维护时，洗涤塔前后阀门的阀片从外面慢慢插入风道内而达到关闭阀门的目的。

Description

插入式风道阀门及废气处理系统

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种插入式风道阀门及废气处理系统。

背景技术

在半导体行业，进行酸性废气处理系统的洗涤塔维护（PM）时，发现一问题：洗涤塔前后阀门不能手动和自动关闭，而必须依靠人员穿着防护衣穿过检修口钻进运行中的风道内，清除阀片上的结晶后才能关闭阀门，然后方可进行PM工作。如此操作对排气压力波动存在较大风险，并且加大了人员操作安全风险。

而产生上述的风险的根本原因，是现有的风道阀门的设计阀片是在风道内，一方面，在风道正常运行（传输气体）时增加了阻力，因此，增加了能源消耗；另一方面，风道内的酸性气体结晶物被阀片阻挡容易堆结于阀片上，造成阀门因腐蚀堵死而不能正常操作（如关闭操作）。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种插入式风道阀门及废气处理系统，在风道正常运行时，阀片不在风道内，如此不但不会阻碍风道通畅性，而且结晶物不会堆结于阀片上腐蚀和堵塞阀门，而需洗涤塔进行维护时，洗涤塔前后阀门的阀片从外面慢慢插入风道内而达到关闭阀门的目的，以实现洗涤塔正常的维护工作。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种插入式风道阀门，包括阀片、阀片拉放滚筒机构、阀片收纳滚筒机构、导轮弹簧机构以及分别用于连接对接管道的动阀体和静阀体，所述动阀体通过所述导轮弹簧机构压合于所述静阀体上并能相对所述静阀体移动，所述阀片拉放滚筒机构带动所述阀片伸入所述动阀体和所述静阀体之间的间隙通道内，阀片拉放滚筒机构带动所述阀片从所述动阀体和所述静阀体之间的间隙通道伸出。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述动阀体包括用于连接管道的第一法兰、第二法兰、第一连接管和软接头，所述第一法兰依次经所述软接头和所述第一连接管与所述第二法兰连接，所述第二法兰与所述静阀体相对。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述导轮弹簧机构包括滚轮导杆、导滚轮、导轮座、弹簧底座块以及弹簧，所述滚轮导杆的两端分别与所述第一法兰和所述静阀体固定连接，所述弹簧底座块固定设置于所述第一法兰上，所述导轮座与所述第二法兰固定连接，所述弹簧连接弹簧底座块和导轮座，所述导滚轮设置于所述导轮座上，所述导轮座经由所述导滚轮能够相对所述导轮座滑动。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述阀片拉放滚筒机构包括拉放轮轴、拉放轮轴驱动器、钢丝绳拉放滚筒以及钢丝绳，所述拉放轮轴与所述钢丝绳拉放滚筒同轴固定连接，所述钢丝绳的一端缠绕于所述钢丝绳拉放滚筒，另一端与所述阀片固定连接，所述轮轴驱动器带动所述拉放轮轴转动。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述拉放轮轴驱动器包括拉放葫芦和链条，所述拉放葫芦固定于所述拉放轮轴上，所述链条的一端与所述拉放葫芦连接。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述拉放轮轴驱动器包括第一电动机，第一电动机和所述拉放轮轴连接，所述第一电动机驱动所述拉放轮轴转动。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述阀片收纳滚筒机构包括收纳轮轴、阀片收纳滚筒和驱动机构，所述收纳轮轴与所述阀片收纳滚筒同轴固定连接，所述驱动机构带动阀片收纳滚筒转动，所述驱动机构是旋转手轮和/或第二电动机，所述阀片由若干片件通过销轴连接，所述阀片的一端缠绕于所述阀片收纳滚筒上，所述阀片的另一端与所述钢丝绳连接。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述阀片上与所述阀片拉放滚筒机构相连的一端的头部制成尖头，所述动阀体和所述静阀体之间供所述阀片进入的间隙通道的入口处设置成喇叭口。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述动阀体和所述静阀体沿水平方向或者竖直方向设置。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，还包括磁性密封条，所述磁性密封条设置于动阀体和静阀体的相对表面上。

本实用新型还公开了一种废气处理系统，包括两端设有管路的洗涤塔和两个阀门，所述两个阀门分别设置于所述洗涤塔两端的所述管路上，所述阀门采用如上所述的插入式风道阀门。

本实用新型提供的插入式风道阀门及废气处理系统，该插入式风道阀门包括阀片、阀片拉放滚筒机构、阀片收纳滚筒机构、导轮弹簧机构、磁性密封条以及分别用于连接对接管道的动阀体和静阀体，所述动阀体通过所述导轮弹簧机构压合于所述静阀体上并能相对所述静阀体移动，所述磁性密封条设置于动阀体和静阀体的相对表面上，所述阀片拉放滚筒机构带动所述阀片伸入所述动阀体和所述静阀体之间的间隙通道内，阀片拉放滚筒机构带动所述阀片从所述动阀体和所述静阀体之间的间隙通道伸出，如此，在风道正常运行时，阀片不在风道内，因而不但不会阻碍风道通畅性，而且结晶物不会堆结于阀片上腐蚀和堵塞阀门，在洗涤塔进行维护时，洗涤塔前后阀门的阀片从外面慢慢插入风道内而达到关闭阀门的目的，以实现洗涤塔正常的维护工作。

附图说明

本实用新型的插入式风道阀门及废气处理系统由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型实施例1的插入式风道阀门的结构示意图；

图2是本实用新型实施例1的插入式风道阀门的局部示意图；

图3是本实用新型实施例1的插入式风道阀门中阀片手动驱动结构示意图；

图4是本实用新型实施例1的插入式风道阀门中阀片手动和电动组合驱动结构示意图；

图5是本实用新型实施例1中的第二法兰或第三法兰与磁性密封条的组装示意图；

图6是本实用新型实施例1的插入式风道阀门的结构示意图；

图7是本实用新型实施例3的废气处理系统的结构示意图；

图中，1-阀片、21-拉放轮轴、22-拉放轮轴驱动器、221-拉放葫芦、222-链条、223-第一电动机、23-钢丝绳拉放滚筒、24-钢丝绳、31-阀片收纳滚筒、32-旋转手轮、33-第二电动机、34-收纳轮轴、4-导轮弹簧机构、41-滚轮导杆、42-导滚轮、43-导轮座、44-弹簧底座块、45-弹簧、5-磁性密封条、6-动阀体、61-第一法兰、62-第二法兰、63-第一连接管、64-软接头、7-静阀体、71-第三法兰、72-第四法兰、73-第二连接管、8-管道、9-洗涤塔。

具体实施方式

以下将对本实用新型的插入式风道阀门及废气处理系统作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有益效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参阅图1至图5，这种插入式风道阀门，包括阀片1、阀片拉放滚筒机构、阀片收纳滚筒机构、导轮弹簧机构4以及分别用于连接对接管道8的动阀体6和静阀体7，所述动阀体6通过所述导轮弹簧机构4压合于所述静阀体7上并能相对所述静阀体7移动，所述阀片拉放滚筒机构带动所述阀片1伸入所述动阀体6和所述静阀体7之间的间隙通道内，阀片拉放滚筒机构3带动所述阀片1从所述动阀体6和所述静阀体7之间的间隙通道伸出。如此，采用本实施例所述的插入式风道阀门，在风道正常运行时，阀片1不在风道内，因而，不但不会阻碍风道通畅性，提高气体的传输效率，而且结晶物不会堆结于阀片1上以致腐蚀和堵塞该阀门，故可延长阀门的使用寿命。

较佳的，在本实施例的插入式风道阀门中，所述动阀体6包括第二法兰62、用于连接管道8的第一法兰61、第一连接管63和软接头64，所述第一法兰61依次经所述软接头64和所述第一连接管63与所述第二法兰62连接，所述第二法兰62与所述静阀体7相对设置。所述静阀体7包括第三法兰71、第二连接管73和第四法兰72，所述第三法兰71和所述第四法兰73通过所述第二连接管72固定连接。由于在动阀体6中，设置软接头64，可以使得所述动阀体6能够相对所述静阀体7移动，即可以使得所述动阀体6中的第二法兰62能够相对所述静阀体7的第三法兰71移动。

较佳的，在本实施例的插入式风道阀门中，所述导轮弹簧机构4包括滚轮导杆41、导滚轮42、导轮座43、弹簧底座块44以及弹簧45，所述滚轮导杆41的两端分别与所述第一法兰61和所述静阀体7（具体是和所述第三法兰71）固定连接，所述弹簧底座块44固定设置于所述第一法兰61上，所述导轮座43与所述第二法兰62固定连接，所述弹簧45连接弹簧底座块44和导轮座43，所述导滚轮42设置于所述导轮座43上，所述导轮座43经由所述导滚轮42能够相对所述导轮座43滑动。在弹簧45的作用下，动阀体6的第二法兰62压向静阀体7的第三法兰71，起主要密封作用。

较佳的，在本实施例的插入式风道阀门中，还包括磁性密封条5，所述磁性密封条5设置于动阀体6和静阀体7的相对表面上，具体的，所述磁性密封条5设置于动阀体6的第二法兰62和静阀体7的第三法兰71的相对表面上。所述而第二法兰62和第三法兰71上嵌设有磁性密封条5，如图5所示，该磁性密封条5的作用是在阀片插入时动阀体6和静阀体7之间时起辅助密封作用以减少漏气，并在动阀体6与静阀体结合时起辅助密封作用。

优选的，在上述的插入式风道阀门中，所述导轮弹簧机构的数量是两组，间隔设置与所述动阀体和所述静阀体之间，从而使得动阀体6和静阀体7之间的相对运动更加平稳。

较佳的，在本实施例的插入式风道阀门中，所述阀片拉放滚筒机构包括拉放轮轴21、拉放轮轴驱动器22、钢丝绳拉放滚筒23以及钢丝绳24，所述拉放轮轴21与所述钢丝绳拉放滚筒23同轴固定连接，所述钢丝绳24的一端缠绕于所述钢丝绳拉放滚筒23，另一端与所述阀片1固定连接，所述轮轴驱动器22带动所述拉放轮轴21转动。

所述钢丝绳拉放滚筒23的驱动方式可以是手动驱动，如图3所示，所述拉放轮轴驱动器22包括拉放葫芦221和链条222，所述拉放葫芦221固定于所述拉放轮轴21上，所述链条222的一端与所述拉放葫芦221连接。使用时，拉动链条222可以使得拉放葫芦221转动，从而使得拉放轮轴21转动，从而使得钢丝绳24带动阀片1运动。当然，所述钢丝绳拉放滚筒23的驱动方式也可以是电动驱动，如图4所示，所述拉放轮轴驱动器22可以包括第一电动机223，第一电动机223和所述拉放轮轴21连接，所述第一电动机223驱动所述拉放轮轴21转动，从而带动所述钢丝绳24移动。本实施例中，所述钢丝绳拉放滚筒23同时采用手动和电动驱动方式，如图4所示

较佳的，在本实施例的插入式风道阀门中，所述阀片收纳滚筒机构包括收纳轮轴34、阀片收纳滚筒31和驱动机构，所述收纳轮轴34与所述阀片收纳滚筒31同轴固定连接，所述驱动机构带动阀片收纳滚筒31转动，所述驱动机构是旋转手轮32和/或第二电动机33，所述阀片收纳滚筒31和所述旋转手轮32同轴固定设置，所述阀片1由若干片件11通过销轴12连接，所述阀片1的一端缠绕于所述阀片收纳滚筒31上，所述阀片1的另一端与所述钢丝绳24连接。阀片收纳滚筒31的驱动方式可以是手动驱动例如采用旋转手轮32，如图3所示，也可以是电动驱动例如采用第二电动机33，如图4所示，本实施例中，同时采用旋转手轮32和第二电动机33，如图4所示。

较佳的，在本实施例的插入式风道阀门中，所述阀片1上与所述阀片拉放滚筒机构相连的一端的头部制成尖头，所述动阀体6和所述静阀体7之间供所述阀片1进入的间隙通道的入口处设置成喇叭口。从而，可以使得阀片1更容易进入动阀体6和静阀体7之间的间隙通道内。

较佳的，所述动阀体6和所述静阀体7可以沿水平方向或者竖直方向设置。本实施例中，所述动阀体6和所述静阀体7可以沿水平方向设置。此种结构形式针对于管道8水平设置的情形。

请继续参阅图1至图4，本实施例的插入式风道阀门的工作原理和使用方法：

关闭阀门：当需要关闭阀门时，通过卷拉(手动或电动)钢丝绳拉放滚筒23，释放阀片收纳滚筒33，将阀片1拉入动阀体6和静阀体7之间，以达到关闭风道的作用。.

打开阀门：当需要打开阀门时，通过卷拉(手动或电动)阀片收纳滚筒31，释放钢丝绳拉放滚筒23，将阀片1拉出动阀体6和静阀体7之间，以达到打开风道的作用。

实施例2

请参阅图6，本实施例与实施例1的区别在于：所述动阀体6和所述静阀体7可以沿竖直方向设置。此种结构形式针对于管道8竖直设置的情形。

实施例3

请参阅图7，本实施例提供了一种废气处理系统，包括两端设有管路8的洗涤塔9和两个阀门A、B，所述两个阀门A、B分别设置于所述洗涤塔9两端的所述管路8上，所述阀门A、B分别采用如实施例1和实施例2所述的插入式风道阀门。

综上所述看，本实用新型提供的插入式风道阀门即废气处理系统，该插入式风道阀门包括阀片、阀片拉放滚筒机构、阀片收纳滚筒机构、导轮弹簧机构、磁性密封条以及分别用于连接对接管道的动阀体和静阀体，所述动阀体通过所述导轮弹簧机构压合于所述静阀体上并能相对所述静阀体移动，所述磁性密封条设置于动阀体和静阀体的相对表面上，所述阀片拉放滚筒机构带动所述阀片伸入所述动阀体和所述静阀体之间的间隙通道内，阀片拉放滚筒机构带动所述阀片从所述动阀体和所述静阀体之间的间隙通道伸出，如此，在风道正常运行时，阀片不在风道内，因而不但不会阻碍风道通畅性，而且结晶物不会堆结于阀片上腐蚀和堵塞阀门，在洗涤塔进行维护时，洗涤塔前后阀门的阀片从外面慢慢插入风道内而达到关闭阀门的目的，以实现洗涤塔正常的PM工作。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种插入式风道阀门，其特征在于，包括阀片、阀片拉放滚筒机构、阀片收纳滚筒机构、导轮弹簧机构以及分别用于连接对接管道的动阀体和静阀体，所述动阀体通过所述导轮弹簧机构压合于所述静阀体上并能相对所述静阀体移动，所述阀片拉放滚筒机构带动所述阀片伸入所述动阀体和所述静阀体之间的间隙通道内，阀片拉放滚筒机构带动所述阀片从所述动阀体和所述静阀体之间的间隙通道伸出。

2.根据权利要求1所述的插入式风道阀门，其特征在于，所述动阀体包括用于连接管道的第一法兰、第二法兰、第一连接管和软接头，所述第一法兰依次经所述软接头和所述第一连接管与所述第二法兰连接，所述第二法兰与所述静阀体相对。

3.根据权利要求2所述的插入式风道阀门，其特征在于，所述导轮弹簧机构包括滚轮导杆、导滚轮、导轮座、弹簧底座块以及弹簧，所述滚轮导杆的两端分别与所述第一法兰和所述静阀体固定连接，所述弹簧底座块固定设置于所述第一法兰上，所述导轮座与所述第二法兰固定连接，所述弹簧连接弹簧底座块和导轮座，所述导滚轮设置于所述导轮座上，所述导轮座经由所述导滚轮能够相对所述导轮座滑动。

4.根据权利要求1所述的插入式风道阀门，其特征在于，所述阀片拉放滚筒机构包括拉放轮轴、拉放轮轴驱动器、钢丝绳拉放滚筒以及钢丝绳，所述拉放轮轴与所述钢丝绳拉放滚筒同轴固定连接，所述钢丝绳的一端缠绕于所述钢丝绳拉放滚筒，另一端与所述阀片固定连接，所述轮轴驱动器带动所述拉放轮轴转动。

5.根据权利要求4所述的插入式风道阀门，其特征在于，所述拉放轮轴驱动器包括拉放葫芦和链条，所述拉放葫芦固定于所述拉放轮轴上，所述链条的一端与所述拉放葫芦连接。

6.根据权利要求4所述的插入式风道阀门，其特征在于，所述拉放轮轴驱动器包括第一电动机，第一电动机和所述拉放轮轴连接，所述第一电动机驱动所述拉放轮轴转动。

7.根据权利要求4所述的插入式风道阀门，其特征在于，所述阀片收纳滚筒机构包括收纳轮轴、阀片收纳滚筒和驱动机构，所述收纳轮轴与所述阀片收纳滚筒同轴固定连接，所述驱动机构带动阀片收纳滚筒转动，所述驱动机构是旋转手轮和/或第二电动机，所述阀片由若干片件通过销轴连接，所述阀片的一端缠绕于所述阀片收纳滚筒上，所述阀片的另一端与所述钢丝绳连接。

8.根据权利要求1所述的插入式风道阀门，其特征在于，所述阀片上与所述阀片拉放滚筒机构相连的一端的头部制成尖头，所述动阀体和所述静阀体之间供所述阀片进入的间隙通道的入口处设置成喇叭口。

9.根据权利要求1所述的插入式风道阀门，其特征在于，所述动阀体和所述静阀体沿水平方向或者竖直方向设置。

10.根据权利要求1所述的插入式风道阀门，其特征在于，还包括磁性密封条，所述磁性密封条设置于动阀体和静阀体的相对表面上。

11.一种废气处理系统，包括两端设有管路的洗涤塔和两个阀门，所述两个阀门分别设置于所述洗涤塔两端的所述管路上，所述其特征在于，所述阀门采用如权利要求1-10中任意一项所述的插入式风道阀门。