CN203333813U - 一种带排气槽的单晶炉热场石墨埚 - Google Patents
一种带排气槽的单晶炉热场石墨埚 Download PDFInfo
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Abstract
一种带排气槽的单晶炉热场石墨埚，包括多个石墨埚瓣，所述石墨埚瓣内侧壁上设置有排气槽，本实用新型在石墨埚瓣上设置排气槽，且相邻的两个石墨锅瓣之间具有间隙。石英埚变软过程中，位于石英埚和石墨埚之间的气体可以随时从排气槽排出，避免了由于气体无法排出引起的石英埚“鼓包”，从而保证了单晶炉的稳定运行。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉热场领域，特别是涉及一种防止石英埚出现“鼓包”的带排气槽的单晶炉热场石墨埚。
背景技术
单晶炉是在惰性气体环境中，采用石墨电阻加热器，将硅材料熔化，并采用直拉法生长无位错单晶的设备，加热器、石墨埚和石英埚是单晶炉热场的重要组成部件，其中加热器是为单晶炉提供加热的发热部件，石墨埚在高温的状态下支撑石英埚，保护石英埚。
单晶炉在运行的时候炉内温度从室温逐渐增加到高温1600℃左右，当加热到1175℃的时候，由于石英埚材质的性质会导致石英埚体变软，石英埚的侧壁的外表面会紧贴到石墨埚侧壁的内表面。如果在石英埚与石墨埚之间存有气体，当继续在升高温度后气体的体积会膨胀，导致石英埚出现“鼓包”现象，使单晶炉无法继续运行。
如图1所示，现有的石墨埚内壁表面平滑，当热场内温度升高后，石英埚的侧壁的外表面会紧贴到石墨埚侧壁的内表面，在石英埚与石墨埚之间会存有气体，随着温度继续升高，气体体积会逐渐膨胀，导致石英埚出现“鼓包”现象，使单晶炉无法继续运行，影响了单晶炉的成品率，增加了生产成本，具体的影响有以下几种：
（1）石英埚变形后，在拉晶过程中随着埚位的上升，石英埚变形的凸出部分将碰撞到导流筒，影响或无法继续正常的拉晶。
（2）发生鼓包且鼓包较大时，在拉晶过程中随着液位的下降，鼓包会渐渐露出液面，这时已经拉出的晶棒会碰擦鼓包，如不及时停炉会发生晶棒跌落的严重事故。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种可以及时排出石墨埚和石英埚之间气体的、带有排气槽的单晶炉热场石墨埚。
为实现上述实用新型目的，本实用新型的技术方案如下：
一种带排气槽的单晶炉热场石墨埚，包括多个石墨埚瓣，所述石墨埚瓣内侧壁上设置有排气槽。
进一步地，述排气槽为横向槽。
进一步地，所述横向槽为多个且均匀排布。
进一步地，包括三块石墨埚瓣。
采用上述技术方案，本实用新型的有益效果有：
本实用新型在石墨埚瓣上设置排气槽，石英埚变软过程中，位于石英埚和石墨埚之间的气体可以随时从排气槽排出，避免了由于气体无法排出引起的石英埚“鼓包”，从而保证了单晶炉的稳定运行。
附图说明
图1为现有的石墨埚结构示意图；
图2，图3，图4为本实用新型一实施例结构示意图；
其中：1石墨埚瓣，2排气槽，5石英埚，6石墨锅。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
本实用新型提供了一种带排气槽的单晶炉热场石墨埚，如图2，图3，图4所示（图4为图3中A部示意图）的实施例，所述的石墨埚瓣1的内侧壁上设置有排气槽2，石墨埚6由三瓣石墨锅瓣1组成（如图3所示），石英埚5位于石墨锅瓣内侧，使用时，石英埚置于石墨埚内侧，随着温度的升高，石英埚5和石墨埚6之间的空气有排气槽移走，气体从沿着排气槽，从石墨锅瓣之间的间隙（如图4所示）排出，直至石英埚的外壁与石墨埚的内壁紧密贴合，不会在石墨埚和石英埚的接触面上残留气体，由此避免了残留气体随着温度升高而逐渐膨胀，引起的石英埚“鼓包”，提高了单晶炉生产的稳定性，提高了单晶炉的成品率，减少了生产成本。
作为本实用新型的一种实施例，所述排气槽2为多个均匀排布于每个石墨埚内侧的横向槽，横向槽的两端分别连通石墨锅瓣之间的缝隙，供气体排出。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (4)
1.一种带排气槽的单晶炉热场石墨埚，其特征在于，包括多个石墨埚瓣，所述石墨埚瓣内侧壁上设置有排气槽，且相邻的两个石墨锅瓣之间具有间隙。
2.根据权利要求1所述的带排气槽的单晶炉热场石墨埚，其特征在于，所述排气槽为横向槽。
3.根据权利要求2所述的带排气槽的单晶炉热场石墨埚，其特征在于，所述横向槽为多个且均匀排布。
4.根据权利要求1或2或3所述的带排气槽的单晶炉热场石墨埚，其特征在于，包括三块石墨埚瓣。
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| CN2013203250654U CN203333813U (zh) | 2013-06-06 | 2013-06-06 | 一种带排气槽的单晶炉热场石墨埚 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106012000A (zh) * | 2016-08-11 | 2016-10-12 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种硅料生产用坩埚装置 |
| CN113529162A (zh) * | 2021-07-19 | 2021-10-22 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 石墨坩埚和防止石英坩埚变形的装置 |
| WO2022135301A1 (zh) * | 2020-12-21 | 2022-06-30 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 单晶炉的石墨坩埚及其制造方法、坩埚组件和单晶炉 |
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2013
- 2013-06-06 CN CN2013203250654U patent/CN203333813U/zh not_active Expired - Fee Related
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