CN203325846U - 一种预清洁式分片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种预清洁式分片机，用于对若干个层叠在一起的片体进行分离并传送至下一工序，包括：传送机构，其包括至少两个带轮、张紧在这些带轮上传送带；片体承托架，其具有承托片体的承托面，该承托面延伸至靠近传送面的位置；分片机构，设置在传送机构的前端，用于将上述若干层叠的片体逐一放置在传送带上；传送机构的侧部设置有清洁机构，清洁机构具有清洁毛刷，该清洁毛刷的刷毛与传送带之间的距离小于片体的厚度。本实用新型在传送带侧部设置清洁机构，当分拣后的硅片从清洁机构下方经过时，清洁机构得以对硅片的上表面进行预清洁，从而有效地为后续的超声波清洗提供更高的表面清洁度，节省了清洗的时间，也可以避免清洗液过快脏污。

Description

一种预清洁式分片机

技术领域

本实用新型涉及一种硅片制造设备领域，特别涉及一种用于分离硅片的负压式分片机。

背景技术

在太阳能硅片的生产过程中，切割后的硅片经过除胶后，堆叠在一起，再手工分拣或者硅片分片机分拣后，送入清洗机进行清洗，由于硅片表面带有一层细小的切割碎屑，因此清洗过程时间长，清洗液需要经常更换。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种能够在分拣的同时对硅片表面进行预清扫的负压式分片机。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种预清洁式分片机，用于对若干个层叠在一起的片体进行分离并传送至下一工序，包括：传送机构，其包括至少两个带轮、张紧在这些所述的带轮上传送带，所述的传送带具有用于传送片体的传送面；片体承托架，其具有承托所述的片体的承托面，该承托面延伸至靠近所述传送面的位置；分片机构，设置在所述的传送机构的前端，用于将上述若干层叠的片体逐一放置在所述的传送带上；所述的传送带的侧部设置有清洁机构，所述的清洁机构具有清洁毛刷，该清洁毛刷的刷毛与所述的传送带之间的距离小于所述的片体的厚度。

优选地，所述的清洁机构还包括驱动所述的清洁毛刷转动的电机，且所述的清洁毛刷与所述的传送带同为顺时针转动或同为逆时针转动。

优选地，所述的清洁机构具有一对所述的清洁毛刷，且一对所述的清洁毛刷的转动轴心之间的连线平行于所述的传送带。

优选地，所述的传送带包括一直段，所述的传送面位于该直段上，所述的清洁毛刷位于所述的传送面的侧部。

优选地，所述的传送机构还包括负压吸附系统，所述的负压吸附系统包括负压腔、控制所述的负压腔内产生负压的负压源，所述的负压腔、所述的片体承托架分居所述的传送面的内、外两侧，所述的负压腔具有一贴紧在所述的传送面内侧的腔壁，且该腔壁上沿所述的传送带的行进方向开设有长通孔；所述的长通孔的长度与所述的传送面的长度大致相等，所述的传送带上沿长度方向上排列有多个吸嘴，相邻的两个所述的吸嘴之间的距离大于片体沿传输方向上的宽度，所述的长通孔与对应的所述的传送面上的吸嘴相贯通，所述的长通孔的长度大于相邻的两个所述的吸嘴之间的距离。

优选地，所述的传送面沿大致竖直的方向设置，所述的承托面倾斜设置且靠近所述的传送面的一端向下倾斜设置，片体放置在所述的承托面的靠近所述的传送面的一端上。

优选地，所述的分拣机构包括辅助将待吸附的片体与后一片体相分离的吹嘴，该吹嘴设置在片体的上方且对准待吸附的片体与后一片体之间。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型在传送带侧部设置清洁机构，当分拣后的硅片从清洁机构下方经过时，清洁机构得以对硅片的上表面进行预清洁，从而有效地为后续的超声波清洗提供更高的表面清洁度，节省了清洗的时间，也可以避免清洗液过快脏污。

附图说明

附图1为本实用新型的负压式分片机的侧视示意图；

附图2为本实用新型的负压式分片机的主视示意图。

附图中：1、片体；2、第一带轮；3、第二带轮；4、传送带；5、传输电机；6、传送面；7、承托面；8、负压腔；9、负压源；10、长通孔；11、吸嘴；12、控制阀；13、通孔；14、吹嘴；15、水槽；16、清洁机构；17、清洁毛刷；18、电机。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本实用新型作以下详细描述：

如附图1至附图2所示，本实用新型的负压式分片机，用于对若干个层叠在一起的片体1进行分离并传送至下一工序，其结构包括：传送机构、片体1承托架、分拣机构和清洁机构。清洁机构设置在传送机构侧部，待分拣的若干层叠的硅片被放置在水槽内，由分拣机构将其逐一分拣，并放置在传送机构上，当硅片经过清洁机构时，清洁机构得以对硅片的上表面进行预清洁，然后再经传送机构传送至后道清洗机内进行超声波清洗。

其中：分拣机构包括辅助将待吸附的片体1与后一片体1相分离的吹嘴14，该吹嘴14设置在片体1的上方且对准待吸附的片体1与后一片体1之间，在吸嘴11预吸附或刚刚吸附最靠近传送面的片体1时，该吹嘴14向该片体1与后一片体1之间喷水，而辅助将该片体1与后一片体1之间相分离。

传送机构包括至少两个带轮、张紧在这些带轮上的传送带4、利用负压原理将硅片吸附在传送带4上的负压吸附系统。传送带4包括一直段，该直段为用于传送片体1的传送面6（本实施例中的传送机构包括第一带轮2、第二带轮3、张紧在第一带轮2与第二带轮3上的传送带4、与第一带轮2或第二带轮3相传动连接的传输电机5，传送带4包括两侧的两直段和两端的两弧段，其中一直段为用于传送片体1的传送面6），片体1承托架具有承托片体1的承托面7，该承托面7延伸至靠近传送面6的位置，负压吸附系统包括负压腔8、控制负压腔8内产生负压的负压源9，负压腔8、片体1承托架分居传送面6的内、外两侧，负压腔8的一腔壁贴紧在传送面6的内侧，且该腔壁上沿传送带4的行进方向开设有长通孔10，长通孔10的长度与传送面6的长度大致相等，传送带4上沿长度方向上排列有多个吸嘴11，相邻的两个吸嘴11之间的距离大于片体1沿传输方向上的宽度，长通孔10与传送面上对应的吸嘴11相贯通，长通孔10的长度大于相邻的两个吸嘴11之间的距离，传送面6沿大致竖直的方向设置，承托面7倾斜设置且靠近传送面6的一端向下倾斜设置，进一步优选的话，可以设置承托面相对于水平面的倾斜角为小于等于15°，片体1放置在承托面7的靠近传送面6的一端上，这样，在这些片体1的自重的作用下，随着当前片体1的吸附并传送走，后面的片体1逐一靠近传送带4而便于吸附和传送，实现自动进给。

清洁机构16包括能够转动的清洁毛刷17和驱动所述的清洁毛刷17转动的电机18，具体的说，所述的清洁机构16具有一对所述的清洁毛刷17，且一对所述的清洁毛刷17的转动轴心之间的连线平行于所述的传送带4，该清洁毛刷17的刷毛与所述的传送带4之间的距离小于所述的片体的厚度。本实施例中，清洁毛刷采用电机驱动，因此可以使所述的清洁毛刷与所述的传送带同为顺时针转动或同为逆时针转动，清洁效果更好。更简化的实施例中，也可以不用电机驱动，将清洁毛刷固定设置在机壳上，硅片经过清洁毛刷时，表面也可以得到清扫，但清洁效果不如安装电机好。

负压源9与负压腔8之间设置有用于调节负压腔8内的压力值的控制阀12，负压吸附系统还包括用于监测负压腔8内的压力的监测器，监测器信号连接至控制阀12，例如长通孔10对应的吸嘴11的数目为3个，那么在开始吸附并传送的前两个片体1，由于最前方的两个或一个吸嘴11未被片体1覆盖，就会需要较大的吸附力才能够将第一片体1吸附在传送面6上，而在吸附上第三个片体1上之后，为防止片体1发生碎裂，又要将吸附力调小，这就需要监测器的反馈数据来调节控制阀12的开流量的大小而控制负压腔8内的负压值，同理，在吸附这一叠片体1中的倒数第二个和最后一个片体1时，也需要监测器与控制阀12的配合动作来调节，甚至还包括在中间过程中意外出现裂片，就会需要较大的吸附力，而后面又需要吸附力变小，同样均需要监测器及控制阀12进行控制调节，承托面7的端部距传送面6的距离小于片体1的厚度，吸嘴11沿传送带4的长度方向上均匀分布，吸嘴11包括多个开设在传送带4上的通孔13，控制长通孔10的起始端与放置在承托面7上的片体1的相对位置，进而控制这些通孔13正好吸附在对应片体1的中心处，且待吸附的片体1恰好覆盖在对应的一个吸嘴11所包含的所有的通孔13上，此处的待吸附的片体1是指层叠在一起的这些片体中最靠近传送面的即将被吸附的片体。

本实用新型的负压式分片机可以用于空气中，负压源9采用抽气泵，用于薄型玻璃片等的分离及传送，也可以用于水中，将传送机构、片体1承托架及部分负压吸附系统放于一个水槽15中，而对应的负压源9就采用一个抽水泵，用于硅片等的分离及传送。

本实用新型采用负压吸附系统将层叠在一起的若干片体中的片体吸附在传送带的传送面上，并随传送带的传动而将其带至下一工序所需的位置，使承托面倾斜设置且靠近传送面的一端向下倾斜，片体放置在该端，这样由于这些片体的自重就会随着当前的片体被吸附走而逐一下滑至靠近传送带的位置，即实现了自动进给，大大节约了其他的进给方式的成本，另外，在当前片体与后一片体之间对应的位置设置有用于辅助将当前片体与后一片体相分离的吹嘴，在吸嘴预吸当前片体和各个吸附上当前片体时，吹嘴向当前片体与后一片体之间吹气或水而将当前片体与后一片体分离开，整个吸附及传送过程中，片体都是整面贴合在传送带上，保证过程中不会造成碎片，大大提高了成片率，且传送效率高。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种预清洁式分片机，用于对若干个层叠在一起的片体进行分离并传送至下一工序，包括：传送机构，其包括至少两个带轮、张紧在这些所述的带轮上传送带，所述的传送带具有用于传送片体的传送面；片体承托架，其具有承托所述的片体的承托面，该承托面延伸至靠近所述传送面的位置；分片机构，设置在所述的传送机构的前端，用于将上述若干层叠的片体逐一放置在所述的传送带上；其特征是：所述的传送带的侧部设置有清洁机构，所述的清洁机构具有清洁毛刷，该清洁毛刷的刷毛与所述的传送带之间的距离小于所述的片体的厚度。

2.根据权利要求1所述的一种预清洁式分片机，其特征在于：所述的清洁机构还包括驱动所述的清洁毛刷转动的电机，且所述的清洁毛刷与所述的传送带同为顺时针转动或同为逆时针转动。

3.根据权利要求2述的一种预清洁式分片机，其特征在于：所述的清洁机构具有一对所述的清洁毛刷，且一对所述的清洁毛刷的转动轴心之间的连线平行于所述的传送带。

4.根据权利要求1述的一种预清洁式分片机，其特征在于：所述的传送带包括一直段，所述的传送面位于该直段上，所述的清洁毛刷位于所述的传送面的侧部。

5.根据权利要求4述的一种预清洁式分片机，其特征在于：所述的传送机构还包括负压吸附系统，所述的负压吸附系统包括负压腔、控制所述的负压腔内产生负压的负压源，所述的负压腔、所述的片体承托架分居所述的传送面的内、外两侧，所述的负压腔具有一贴紧在所述的传送面内侧的腔壁，且该腔壁上沿所述的传送带的行进方向开设有长通孔；所述的长通孔的长度与所述的传送面的长度大致相等，所述的传送带上沿长度方向上排列有多个吸嘴，相邻的两个所述的吸嘴之间的距离大于片体沿传输方向上的宽度，所述的长通孔与对应的所述的传送面上的吸嘴相贯通，所述的长通孔的长度大于相邻的两个所述的吸嘴之间的距离。

6.根据权利要求5所述的一种预清洁式分片机，其特征在于：所述的传送面沿大致竖直的方向设置，所述的承托面倾斜设置且靠近所述的传送面的一端向下倾斜设置，片体放置在所述的承托面的靠近所述的传送面的一端上。

7.根据权利要求1所述的一种预清洁式分片机，其特征在于：所述的分拣机构包括辅助将待吸附的片体与后一片体相分离的吹嘴，该吹嘴设置在片体的上方且对准待吸附的片体与后一片体之间。

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