CN203307428U - 一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构，包括真空室、设置在真空室内的旋转台、设置在真空室外的旋转台驱动机构，所述的旋转台包括旋转轴、对称设置在旋转轴两侧的台车传动机构，所述的旋转台驱动机构包括电机、采集旋转台转动角度信号的光栅尺，所述的真空室的顶部设有拖链。采用上述结构，本实用新型具有以下优点：1.结构简单合理、性能稳定、使用寿命长、安装更换方便；2.与传统的带传动方式相比较，本实用新型的传动精度要比带传动的精度高出很多。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，特别涉及一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构。
背景技术
现有的旋转传送机构，驱动部分主要是通过柔性带连接方式，此种方式不仅结构复杂，而且同步带在如此大的重力下工作，其使用寿命不长，需经常更换同步带，且每次更换都会对水路、气路及电路的安装产生一些影响，为正常生产中带来了一系列的不便。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种结构简单合理、性能稳定、使用寿命长、安装更换方便的真空镀膜机的真空室旋转传送机构。
为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构，包括真空室、设置在真空室内的旋转台、设置在真空室外的旋转台驱动机构，所述的旋转台包括旋转轴、对称设置在旋转轴两侧的台车传动机构，所述的旋转台驱动机构包括电机、采集旋转台转动角度信号的光栅尺，所述的真空室的顶部设有拖链。
所述的光栅尺将采集的旋转台转动角度信号传输到电机控制器。
所述的旋转台还包括上端盖板、下端盖板、连接上下端盖板的旋转台连接杆，所述的台车传动机构设置在下端盖板上。
所述的真空室的室壁上设有分别与两个台车传动机构位置对应的台车入口、台车出口。
所述的旋转台驱动机构还包括设置在真空室顶部的磁流体。
所述的加热器安装在旋转台连接杆上。
本实用新型采用上述结构，具有以下优点：1、结构简单合理、性能稳定、使用寿命长、安装更换方便；2、与传统的带传动方式相比较，本实用新型的传动精度要比带传动的精度高出很多。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明；
图1为本实用新型的截面结构示意图；
图2为本实用新型的结构示意图；
图3为本实用新型的外部结构图；
在图1~图3中，1、光栅尺；2、电机；3、磁流体；4、旋转轴；5、真空室；6、真空室内加热器；7、台车传动机构；8、下端盖板；9、拖链；10、旋转台连接杆；11、上端盖板；12、台车入口；13、台车出口。
具体实施方式
如图1~图3所示一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构，包括真空室5、设置在真空室5内的旋转台、设置在真空室5外的旋转台驱动机构，旋转台包括旋转轴4、对称设置在旋转轴4两侧的台车传动机构7，旋转台驱动机构包括电机2、采集旋转台转动角度信号的光栅尺1，真空室5的顶部设有拖链9。旋转台驱动机构带动旋转台运动从而实现旋转功能。
光栅尺1将采集的旋转台转动角度信号传输到电机控制器。旋转台还包括上端盖板11、下端盖板8、连接上下端盖板的旋转台连接杆10，台车传动机构7设置在下端盖板8上。台车传动主要是通过同步带带动磁流体上面的滚轮，从而使位于其上的台车进行运动，其驱动部分是通过电机带动。真空室5的室壁上设有分别与两个台车传动机构7位置对应的台车入口12、台车出口13。旋转台驱动机构还包括设置在真空室5顶部的磁流体3及一些感应开关。加热器6安装在旋转台连接杆10上。
真空室内加热器器6、台车传动机构7等主要工作部件均安装于旋转台之上。磁流体3安装于真空室顶部，连接着驱动电机2和旋转轴4，其中旋转轴4位于真空室内，即位于真空区域，磁流体3起到了连接与密封的作用。如图3所示，当带有基片的台车通过台车入口12进入到该真空室内，台车通过台车传动机构7进行运动，台车到达指定旋转位置时候，驱动电机2将得到信号进行工作。当驱动电机2得到信号之后，将带动旋转轴4旋转180°，从而带动旋转台旋转180°，然后停止旋转。此时在台车传动机构7的作用下，带有基片的台车将从真空室门13出来，进入到下一个真空室腔体，该旋转传送机构完成了一个动作。在驱动电机2带动旋转轴4进行旋转的过程中，光栅尺1会一直记录其旋转的角度，并进行数据的传送，当到达指定角度的时候，会有一个信号反馈给驱动电机2，使其停止。真空室顶部的水管、气管和电缆的安装均通过拖链9，当旋转台进行旋转的过程中，拖链9将起到保护这些管路及电缆，使其不至于发生缠绕或者扯断。
如上所述，当带有基板的台车从台车出口13进入到下一个真空室时候，另一组带有基板的台车会继续从台车入口12进入该真空室，台车通过台车传动机构7进行运动，台车到达指定旋转位置时候，驱动电机2将得到信号进行工作。当驱动电机2得到信号之后，会在上一次动作的基础上回转180°，旋转台也将回转180°然后停止旋转。此时在台车传动结构7的作用下，带有基片的台车将从台车出口13出来，进入到下一个真空室腔体，该旋转传送机构完成了一个动作。综上，该旋转传送机构将循环往复的进行这一整套动作。由于该旋转传送机构的活动范围为180°，同时在拖链9的保护之下，可以避免真空室顶部的水、气、电路因旋转台旋转造成损坏。
上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构，其特征在于：包括真空室（5）、设置在真空室（5）内的旋转台、设置在真空室（5）外的旋转台驱动机构，所述的旋转台包括旋转轴（4）、对称设置在旋转轴（4）两侧的台车传动机构（7），所述的旋转台驱动机构包括电机（2）、采集旋转台转动角度信号的光栅尺（1），所述的真空室（5）的顶部设有拖链（9）。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构，其特征在于：所述的光栅尺（1）将采集的旋转台转动角度信号传输到电机控制器。
3.根据权利要求1或2所述的一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构，其特征在于：所述的旋转台还包括上端盖板（11）、下端盖板（8）、连接上下端盖板的旋转台连接杆（10），所述的台车传动机构（7）设置在下端盖板（8）上。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构，其特征在于：所述的真空室（5）的室壁上设有分别与两个台车传动机构（7）位置对应的台车入口（12）、台车出口（13）。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构，其特征在于：所述的旋转台驱动机构还包括设置在真空室（5）顶部的磁流体（3）。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构，其特征在于：所述的加热器（6）安装在旋转台连接杆（10）上。
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|---|---|---|---|---|
| CN103728996A (zh) * | 2013-12-25 | 2014-04-16 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 压力控制器及其开口度调节方法 |
| CN107805784A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-03-16 | 常州市知豆信息科技有限公司 | 一种oled蒸镀设备 |
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| CN103728996B (zh) * | 2013-12-25 | 2016-06-15 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 压力控制器及其开口度调节方法 |
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| CN107805784B (zh) * | 2017-12-08 | 2018-12-21 | 泉州市派腾新材料科技有限公司 | 一种oled蒸镀设备 |
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