CN203288570U - 石英舟定位装置和石英舟传送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种石英舟定位装置和石英舟传送装置，石英舟定位装置包括：第一定位板，第一定位板包括本体和凸部，凸部沿垂直于本体的长度方向的方向突出于本体；第二定位板，与凸部连接，第一定位板、第二定位板和凸部间形成定位槽；弹性压紧部，设置在第二定位板上，弹性压紧部的至少一部分朝向第一定位板凸出，弹性压紧部朝向第一定位板的方向施压；定位块，设置在定位槽内，定位块用于将石英舟的舟脚定位在与弹性压紧部对应的位置。弹性压紧部可以将石英舟的舟脚压紧在定位槽内，避免舟脚在定位槽内移动，石英舟不会再出现位置的移动，这样就避免了硅片与石英舟发生不正常的碰撞，降低了硅片废片的出现率，提高了硅片的成品率。

Description

石英舟定位装置和石英舟传送装置

技术领域

本实用新型涉及光伏组件生产设备领域，更具体地，涉及一种石英舟定位装置和石英舟传送装置。

背景技术

光伏电池制造过程中最重要的步骤是扩散工序，扩散工序分为磷扩散和硼扩散两种，磷扩散用以在硅片表面形成N极，硼扩散用以在硅片表面形成P极。扩散工序的具体步骤为：在清洗后的P型（或N型）硅片基体（P型为硼掺杂，N型为磷掺杂）表面扩散磷或硼原子，以形成结深为0.3-0.5微米的P-N结。

扩散工序需要将酸洗后的硅片通过机械手放入到炉管中进行磷或硼原子的扩散，然后再通过机械手将扩散后的硅片卸载到片盒中转到下一个工序。酸洗后的硅片承载在石英舟上，机械手从石英舟上抓取硅片，完成扩散后机械手再将硅片放置到石英舟上。石英舟上具有放置硅片的槽。

石英舟固定在传送装置上，传送装置上设置有定位装置，用于将石英舟固定住。现有技术中的，定位装置如图1所示，包括第一定位板10，第一定位板10上具有一个定位槽，定位槽上设置有两个定位块30，石英舟的舟脚放置在卡槽内，并被两个定位块30固定。但是，由于每个石英舟尺寸会略有不同，所以经常会发生卡槽或定位块并未固定住石英舟的情况，进而导致石英舟的位置不稳定。由于石英舟放置地不稳定，导致机械手取片或放片的位置不好，这样会使硅片与石英舟发生不正常的碰撞，使得硅片的边缘产生磕痕，严重时会直接导致硅片破碎。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种石英舟定位装置和石英舟传送装置，以解决现有技术的由于石英舟没有被固定导致硅片损坏的问题。

为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，提供了一种石英舟定位装置，包括：第一定位板，第一定位板包括本体和凸部，凸部沿垂直于本体的长度方向的方向突出于本体；第二定位板，与凸部连接，第一定位板、第二定位板和凸部间形成定位槽；弹性压紧部，设置在第二定位板上，弹性压紧部的至少一部分朝向第一定位板凸出，弹性压紧部朝向第一定位板的方向施压；定位块，设置在定位槽内，定位块用于将石英舟的舟脚定位在与弹性压紧部对应的位置。

进一步地，本体包括第一侧面，凸部包括与第一侧面相连接的第二侧面，第二定位板包括与第二侧面相连接的第三侧面，第一侧面、第二侧面和第三侧面之间形成定位槽；第二定位板还包括第四侧面，第四侧面与第三侧面相对；第二定位板上开设有通孔；弹性压紧部包括压块和簧片，压块活动地设置在通孔中，簧片的一端与第四侧面连接，簧片的另一端与压块抵接。

进一步地，通孔的靠近第三侧面的一端具有限位部。

进一步地，压块为球形。

进一步地，石英舟定位装置还包括转动件，转动件可枢转地安装在本体上，转动件的轴线平行于本体的长度方向，转动件的至少一部分朝向第二定位板凸出，转动件与弹性压紧部对应地设置。

进一步地，本体上还开设有凹槽，转动件可枢转地设置在凹槽内。

进一步地，转动件为圆柱形或球形。

进一步地，石英舟定位装置还包括：压块位置检测单元，安装在簧片上，用于检测压块的位置。

进一步地，压块位置检测单元为应变片。

根据本实用新型的另一个方面，还提供了一种石英舟传送装置，包括驱动部和支撑部，驱动部驱动支撑部移动，支撑部包括石英舟定位装置，石英舟定位装置为上述的石英舟定位装置。

弹性压紧部可以将石英舟的舟脚压紧在定位槽内，避免舟脚在定位槽内移动，石英舟的舟脚的位置被第一定位板、定位块和弹性压紧部固定住，不会再出现位置的移动。石英舟被固定在石英舟定位装置上，使得机械手能够准确的从石英舟上取片，或者将硅片放回石英舟，这样就避免了硅片与石英舟发生不正常的碰撞，降低了硅片废片的出现率，提高了硅片的成品率。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示意性示出了现有技术中的石英舟的固定装置的示意图；

图2示意性示出了本实用新型中的石英舟固定装置的示意图；

图3示意性示出了本实用新型中的石英舟固定装置的爆炸图；以及

图4示意性示出了本实用新型中的石英舟传送装置的侧视图。

图中附图标记：10、第一定位板；11、本体；12、凸部；13、凹槽；20、第二定位板；21、通孔；30、定位块；40、弹性压紧部；41、压块；42、簧片；50、转动件；111、第一侧面；121、第二侧面；201、第三侧面；202、第四侧面；421、卡孔；100、底板。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。

根据本实用新型的一个方面，提供了一种石英舟定位装置，如图2和3所示，该石英舟定位装置包括：第一定位板10，第一定位板10包括本体11和凸部12，凸部12沿垂直于本体11的长度方向的方向突出于本体11；第二定位板20，与凸部12连接，第一定位板10、第二定位板20和凸部12间形成定位槽；弹性压紧部40，设置在第二定位板20上，弹性压紧部40的至少一部分朝向第一定位板10凸出，弹性压紧部40朝向第一定位板10的方向施压；定位块30，设置在定位槽内，定位块30用于将石英舟的舟脚定位在与弹性压紧部40对应的位置。

弹性压紧部40可以将石英舟的舟脚压紧在定位槽内，避免舟脚在定位槽内移动，石英舟的舟脚的位置被第一定位板10、定位块30和弹性压紧部40固定住，不会再出现位置的移动。石英舟被固定在石英舟定位装置上，使得机械手能够准确的从石英舟上取片，或者将硅片放回石英舟，这样就避免了硅片与石英舟发生不正常的碰撞，降低了硅片废片的出现率，提高了硅片的成品率。

优选地，本体11包括第一侧面111，凸部12包括与第一侧面111相连接的第二侧面121，第二定位板20包括与第二侧面121相连接的第三侧面201，第一侧面111、第二侧面121和第三侧面201之间形成定位槽；第二定位板20还包括第四侧面202，第四侧面202与第三侧面201相对；第二定位板20上开设有通孔21；弹性压紧部40包括压块41和簧片42，压块41活动地设置在通孔21中，簧片42的一端与第四侧面202连接，簧片42的另一端与压块41抵接。簧片42为弹性压紧部40提供压紧力，使得弹性压紧部40能够将石英舟的舟脚压紧在定位槽中。

优选地，压块41为球形。压块41的一部分凸出与第三侧面201。球形的压块41能够将石英舟的舟脚同时压紧在第一定位板10和定位块30上，舟脚在两个方向上具有压紧力，这使得石英舟定位稳固。此外，球形的压块41能够转动，使得石英舟的舟脚更容易卡入定位槽内。优选地，簧片42上还开设有卡孔421，卡孔421与压块41对应地设置。

优选地，通孔21的靠近第三侧面201的一端具有限位部。限位部能够避免压块41滑出第三侧面201。

优选地，石英舟定位装置还包括转动件50，转动件50可枢转地安装在本体11上，转动件50的轴线平行于本体11的长度方向，转动件50的至少一部分朝向第二定位板20凸出，转动件50与弹性压紧部40对应地设置。优选地，本体11上还开设有凹槽13，转动件50可枢转地设置在凹槽13内。凹槽13开设在第一侧面111上，转动件50安装在凹槽13内，转动件50可以减小石英舟的舟脚与本体11间的摩擦，使舟脚不会直接与第一侧面111接触，这样当舟脚卡入定位槽或者从定位槽中拔出时就不宜被磨损。

优选地，转动件50为圆柱形或球形。如图2和3所示，转动件50为圆柱形，凹槽13的形状与转动件50对应。圆柱形的转动件50便于安装到凹槽13内。可替换地，转动件50也可以为球形，凹槽13的形状与转动件50对应。圆形的转动件50能够在多个方向转动，这样无论石英舟的舟脚与转动件50怎样相对移动，球形的转动件50均可以减小摩擦力。

优选地，石英舟定位装置还包括：压块位置检测单元，安装在簧片42上，用于检测压块41的位置。优选地，压块位置检测单元为应变片。压块41在通孔21的轴向产生位移，就会导致簧片42的形变，安装在簧片42上的应变片能够检测簧片42的形变量。通过簧片42的形变量，压块位置检测单元就可以得到压块41在通孔21的轴向的位移量。并且，压块位置检测单元可以通过压块41的位移量得到石英舟的舟脚的位置信息，进而得到石英舟的位置信息。机械手可以通过石英舟的位置信息调整抓取硅片和放置硅片的位置量，使得硅片被精确地从石英舟上取下或放置到石英舟上，这样进一步避免了硅片被损坏，同时也提高了机械手的工作效率。

根据本实用新型的另一个方面，还提供了一种石英舟传送装置，如图4所示，该石英舟传送装置包括驱动部和支撑部，驱动部驱动支撑部移动，支撑部包括石英舟定位装置，石英舟定位装置为上述的石英舟定位装置。

采用本实用新型的石英舟定位装置，可以稳定地将石英舟固定在石英舟传送装置上，使得石英舟在被传送的过程中不会相对石英舟定位装置发生位移，这样机械手就能够准确的从石英舟上取片，或者将硅片放回石英舟，从而避免了硅片被损坏。

优选地，支撑部包括底板100、一个本实用新型的石英舟定位装置和一个现有技术中的定位装置，本实用新型的石英舟定位装置和现有技术中的定位装置分别设置在底板100的两端。石英舟的一端的舟脚放置在本实用新型的石英舟定位装置上，石英舟的另一端的舟脚放置在现有技术中的定位装置上。可替换地，底板100的两端均可以设置成本实用新型的石英舟定位装置。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种石英舟定位装置，其特征在于，包括：

第一定位板（10），所述第一定位板（10）包括本体（11）和凸部（12），所述凸部（12）沿垂直于所述本体（11）的长度方向的方向突出于所述本体（11）；

第二定位板（20），与所述凸部（12）连接，所述第一定位板（10）、所述第二定位板（20）和所述凸部（12）间形成定位槽；

弹性压紧部（40），设置在所述第二定位板（20）上，所述弹性压紧部（40）的至少一部分朝向所述第一定位板（10）凸出，所述弹性压紧部（40）朝向所述第一定位板（10）的方向施压；

定位块（30），设置在所述定位槽内，所述定位块（30）用于将石英舟的舟脚定位在与所述弹性压紧部（40）对应的位置。

2.根据权利要求1所述的石英舟定位装置，其特征在于，

所述本体（11）包括第一侧面（111），所述凸部（12）包括与所述第一侧面（111）相连接的第二侧面（121），所述第二定位板（20）包括与所述第二侧面（121）相连接的第三侧面（201），所述第一侧面（111）、所述第二侧面（121）和所述第三侧面（201）之间形成所述定位槽；

所述第二定位板（20）还包括第四侧面（202），所述第四侧面（202）与所述第三侧面（201）相对；

所述第二定位板（20）上开设有通孔（21）；

所述弹性压紧部（40）包括压块（41）和簧片（42），所述压块（41）活动地设置在所述通孔（21）中，所述簧片（42）的一端与所述第四侧面（202）连接，所述簧片（42）的另一端与所述压块（41）抵接。

3.根据权利要求2所述的石英舟定位装置，其特征在于，所述通孔（21）的靠近所述第三侧面（201）的一端具有限位部。

4.根据权利要求2所述的石英舟定位装置，其特征在于，所述压块（41）为球形。

5.根据权利要求1所述的石英舟定位装置，其特征在于，所述石英舟定位装置还包括转动件（50），所述转动件（50）可枢转地安装在所述本体（11）上，所述转动件（50）的轴线平行于所述本体（11）的长度方向，所述转动件（50）的至少一部分朝向所述第二定位板（20）凸出，所述转动件（50）与所述弹性压紧部（40）对应地设置。

6.根据权利要求5所述的石英舟定位装置，其特征在于，所述本体（11）上还开设有凹槽（13），所述转动件（50）可枢转地设置在所述凹槽（13）内。

7.根据权利要求5所述的石英舟定位装置，其特征在于，所述转动件（50）为圆柱形或球形。

8.根据权利要求2所述的石英舟定位装置，其特征在于，所述石英舟定位装置还包括：

压块位置检测单元，安装在所述簧片（42）上，用于检测所述压块（41）的位置。

9.根据权利要求8所述的石英舟定位装置，其特征在于，所述压块位置检测单元为应变片。

10.一种石英舟传送装置，包括驱动部和支撑部，所述驱动部驱动所述支撑部移动，所述支撑部包括石英舟定位装置，其特征在于，所述石英舟定位装置为权利要求1至9中任一项所述的石英舟定位装置。

Images