CN203232859U

CN203232859U - 蓝宝石衬底贴蜡装置

Info

Publication number: CN203232859U
Application number: CN 201320136477
Authority: CN
Inventors: 李显俊; 何静生; 李显元; 刘浦锋; 宋洪伟; 陈猛
Original assignee: SHANGHAI ADVANCED SILICON TECHNOLOGY Co Ltd
Current assignee: Shanghai Chaosi Semiconductor Co ltd
Priority date: 2013-03-25
Filing date: 2013-03-25
Publication date: 2013-10-09
Anticipated expiration: 2023-03-25

Abstract

本实用新型公开了一种蓝宝石衬底贴蜡装置；包括支架，支架上设置有贴蜡装置、冷却装置和加热装置；贴蜡装置包括隔离板（101），所述隔离板（101）上方设置有晶片保持件（103）；所述加热装置包括加热台（104）；所述冷却装置包括冷却台（105）。相对应于隔离板（101）的形状，在加热台（104）和冷却台（105）上分别设置有隔离板放置槽。

Description

蓝宝石衬底贴蜡装置

技术领域

本实用新型涉及一种光电子信息技术领域的贴蜡装置，尤其是一种蓝宝石衬底贴蜡装置。

背景技术

新一代半导体材料氮化镓（GaN）基发光半导体（LED）具有响应速度快、寿命长、耐冲击、抗震以及高效节能等优异特性。

其制作的白色固态光源体积小、重量轻、寿命长，具有许多之前的照明方式所不可比拟的优点。在氮化镓基LED及其他光电子器件的制作过程中，需要使氮化镓在蓝宝石衬底上进行均匀的外延生长。蓝宝石衬底的组成为氧化铝（Al₂O₃），其晶体结构为六方晶格结构，是地球上硬度仅次于金刚石的晶体。人们通常通过对蓝宝石衬底晶片进行抛光来控制衬底晶片的机械参数。

对蓝宝石衬底晶片抛光的过程中，需将晶片固定于保持件之上。当前的晶片保持方式可分为两种：有蜡抛光和无蜡抛光。其中无蜡抛光相对有蜡抛光节约了贴蜡卸蜡的过程，缩短了工时，提高了生产效率。但其保持件对机械精度要求极高，成本高昂，且由于抛光过程中晶片高速自转，边缘的去除量通常远大于晶片中心的去除量，难以对晶片的表面平整度进行有效控制。因此，相对有蜡抛光工艺而言，其普及度不高，而有蜡抛光相对则得到了更广泛的应用。

在蓝宝石衬底有蜡抛光工艺中，待抛光的衬底晶片通过蜡的粘结而固定于晶片保持件之上。因此，在固定晶片时需对晶片进行加热，从而使蜡融化，方便进行贴蜡操作。贴蜡结束之后又需对晶片保持件进行冷却处理，使晶片牢牢固定，防止在抛光过程中晶片飞出造成事故。通常的晶片保持件采用陶瓷材料制作，相对于其他材料，易于加工的陶瓷材料在抛光过程中具有耐酸碱、抗腐蚀、坚固、耐磨、耐高温、无锈、无害、表面光洁等等优点，难以用其他材料替代。然而陶瓷材料却在贴蜡过程中容易因快速的升温和降温而导致碎裂。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单的蓝宝石衬底贴蜡装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种蓝宝石衬底贴蜡装置，包括支架；所述支架上设置有贴蜡装置、冷却装置和加热装置；贴蜡装置包括隔离板，所述隔离板上方设置有晶片保持件；所述加热装置包括加热台；所述冷却装置包括冷却台。

作为对本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的改进：相对应于隔离板的形状，在加热台和冷却台上分别设置有隔离板放置槽。

作为对本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的进一步改进：所述晶片保持件上设置有晶片放置凹槽。

作为对本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的进一步改进：所述晶片保持件上方设置有加压装置。

作为对本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的进一步改进：所述隔离板为使用铝、铜或者铁制成的隔离板，晶片保持件为使用陶瓷制成的晶片保持件。

作为对本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的进一步改进：所述隔离板的厚度为一毫米。

作为对本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的进一步改进：所述冷却台内设置有冷却水空腔，所述冷却台上设置有冷却水进口和冷却水出口，所述冷却水进口和冷却水出口分别与冷却水空腔贯穿连通。

本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置采用了隔离板的模式，通过隔离板将加热台的温度稳定且均匀的传递到晶片保持件中，以对晶片保持件中的蜡进行均匀的融化，避免因晶片保持件受热不均匀，而造成某些部位的蜡溶解不够充分的问题。且通过隔离板减缓热传递的速度，使得晶片保持件能够承受温度的缓慢变化，保持晶片保持件的使用寿命，而在冷却的时候，冷却台与晶片保持件进行热交换，通过隔离板的间隔，减缓热交换的过程，使得晶片保持件不会在加热后，突然的被冷却，避免了加热后突然冷却而导致的晶片保持件破裂等问题。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。

图1是本实用新型的蓝宝石衬底贴蜡装置的主要结构示意图。

具体实施方式

实施例1、图1给出了一种蓝宝石衬底贴蜡装置，包括支架、贴蜡装置、加热装置和冷却装置；贴蜡装置包括隔离板101、晶片保持件103和加压装置106；加热装置包括加热台104，冷却装置包括冷却台105。

支架上分别固定有冷却台105和加热台104，冷却台105和加热台104上分别设置有隔离板放置槽，通过隔离板放置槽，可以将隔离板101稳定的放置在冷却台105或者加热台104上方；隔离板101上设置晶片保持件103，晶片保持件103上设置有晶片放置凹槽102，晶片放置凹槽102用来放置晶片，避免因使用过程中的失误而将晶片跌出晶片保持件103，造成损失，晶片保持件103采用陶瓷材料制成；加热台104用于加热用晶片保持件103，使得涂在晶片保持件103上的蜡可以快速地融化；冷却台105用于将加热过的晶片保持件103迅速的冷却；隔离板101主要用来减缓加热和冷却时的温度传导，增强了对温度的控制，隔离板101采用金属铝制成，厚度约为一毫米，金属铝具有重量较轻以及导热性能良好的特性，通过金属铝制成的隔离板101，能够降低陶瓷盘（即晶片保持件103）温度的上升和下降速度，使得晶片保持件103在工作过程中能够受热均匀，防止晶片保持件103在贴蜡过程中因快速的升温和降温而导致碎裂。冷却台105内设置有冷却水腔体，在实际需要冷却的过程中，将冷水通入冷却水腔体内，通过冷却水就能与加热过的晶片保持件103进行热交换，如果要长期进行冷却，只需要不断的通入冷却水，再将经过热交换的冷却水排出即可。

具体使用的时候，步骤如下：

1、将多个晶片保持件103放置在各自相应的隔离板101上方，将蜡放置到相应的晶片放置凹槽102内；

2、将加热台104加热到100度，保持恒温；再将一个隔离板101（包括放置在隔离板101上方的晶片保持件103）放置在加热台104的上方；

3、通过加热台104的加热后，将蜡熔化并涂于晶片保持件103的凹槽102内；

4、将晶片贴在凹槽102内，并小心挤出晶片与凹槽102之间的气泡；最后，晶片上表面突出凹槽102一百微米的左右，方便抛光。

5、将隔离板101连同晶片保持件103一起放置到冷却台105上，在保持件103的正上方利用压力装置106加上0.15Mpa的压力，同时向冷却台105的冷却水腔体通入冷却水进行冷却。（冷却水是直接灌到冷却台105的冷却水腔体，再由冷却水腔体内的冷水通过隔离板101与晶片保持件103进行热交换）。

6、另外一块隔离板101连同相应的晶片保持件103放置到加热台104上进行以上所述的步骤3，以此不断的循环，就可以增加封蜡的工作效率，且可以使得加热台104恒温保持，减少不必要的能源损失，提高工作的效率。

最后，还需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的一个具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可以有许多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。

Claims

1.蓝宝石衬底贴蜡装置；包括支架；其特征是：所述支架上设置有贴蜡装置、冷却装置和加热装置；贴蜡装置包括隔离板（101），所述隔离板（101）上方设置有晶片保持件（103）；

所述加热装置包括加热台（104）；

所述冷却装置包括冷却台（105）。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底贴蜡装置，其特征是：相对应于隔离板（101）的形状，在加热台（104）和冷却台（105）上分别设置有隔离板放置槽。

3.根据权利要求2所述的蓝宝石衬底贴蜡装置，其特征是：所述晶片保持件（103）上设置有晶片放置凹槽（102）。

4.根据权利要求3所述的蓝宝石衬底贴蜡装置，其特征是：所述晶片保持件（103）上方设置有加压装置（106）。

5.根据权利要求4所述的蓝宝石衬底贴蜡装置，其特征是：所述隔离板（101）为使用铝、铜或者铁制成的隔离板（101），晶片保持件（103）为使用陶瓷制成的晶片保持件（103）。

6.根据权利要求5所述的蓝宝石衬底贴蜡装置，其特征是：所述隔离板（101）的厚度为一毫米。

7.根据权利要求6所述的蓝宝石衬底贴蜡装置，其特征是：所述冷却台（105）内设置有冷却水空腔，所述冷却台（105）上设置有冷却水进口和冷却水出口，所述冷却水进口和冷却水出口分别与冷却水空腔贯穿连通。