CN203220842U - 一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统 - Google Patents

一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统 Download PDF

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樊禄祺
王启海
陶拥军
汤建波
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Abstract

本实用新型涉及一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统，包括CDI冷凝系统换热器（1）、氯硅烷液体缓冲罐（2）、泵（3）、氯化氢和氢气气体压缩机（4）、吸收塔（5）、换热器（6）、解析塔（7），本系统将解析塔（7）输出的高温氯硅烷液体和氯硅烷液体缓冲罐（2）输出的低温氯硅烷液体利用换热器（6）进行热交换，既降低了生产成本、简化了生产工艺，又达到了节能降耗的目的，因此该系统具有广阔的市场前景。

Description

一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统
技术领域
本实用新型涉及多晶硅尾气处理系统，特别是一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统。
背景技术
 在对多晶硅生产时产生的尾气进行回收的过程中，采用吸收-解析方式对其中的氯化氢和氢气两种成分进行分离，在对氯化氢进行吸收和解析的过程中需要采用经过冷凝工艺的氯硅烷作为溶剂。目前冷凝下来的低温氯硅烷（-20）直接进入解析塔，但低温氯硅烷在直接进入解析塔需要更多蒸汽加热，这不仅增加了蒸汽消耗，还白白浪费了冷量，所以不适合目前的大生产使用。
发明内容
为了解决现有技术中多晶硅尾气处理所存在的缺陷和问题，本实用新型提供一种结构简单、使用方便、可节能降耗的多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统。
为解决上述技术问题本实用新型的技术方案为：一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统，包括CDI冷凝系统换热器、氯硅烷液体缓冲罐、泵、氯化氢和氢气气体压缩机、吸收塔、换热器、解析塔，所述CDI冷凝系统换热器连接氯硅烷液体缓冲罐和氯化氢和氢气气体压缩机，所述氯化氢和氢气气体压缩机与吸收塔相连，所述氯硅烷液体缓冲罐与泵相连，所述吸收塔通过低温氯硅烷液体输送管一与换热器相连，所述换热器通过高温氯硅烷液体输送管一和解析塔相连，所述解析塔通过高温氯硅烷液体输送管二与换热器相连，所述换热器通过低温氯硅烷液体输送管二与吸收塔相连，其特征在于：所述泵通过低温氯硅烷液体输送管三与换热器相连。
所述低温氯硅烷液体输送管一和低温氯硅烷液体输送管二的内径为为150毫米。
所述高温氯硅烷液体输送管一和高温氯硅烷液体输送管二的内径为为100毫米。
本实用新型的有益效果是：将补充反应系统的低温氯硅烷（-20）通过换热器输送到解析塔，实现了低温氯硅烷和高温氯硅烷热能的综合利用，有效的降低了生产电耗和尾气处理成本，本氯硅烷循环利用系统结构简单、使用方便、可节能降耗，在多晶硅行业具有广泛的应用空间。 
附图说明
图1是本实用新型一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统的结构示意图。
图中：1、CDI冷凝系统换热器，2、氯硅烷液体缓冲罐，3、泵，4、氯化氢和氢气气体压缩机，5、吸收塔，6、换热器，7、解析塔，8、低温氯硅烷液体输送管一，9、高温氯硅烷液体输送管一，10、高温氯硅烷液体输送管二，11、低温氯硅烷液体输送管二，12、低温氯硅烷液体输送管三。
具体实施方式
如图1所示，一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统，包括CDI冷凝系统换热器1、氯硅烷液体缓冲罐2、泵3、氯化氢和氢气气体压缩机4、吸收塔5、换热器6、解析塔7，所述CDI冷凝系统换热器1连接氯硅烷液体缓冲罐2和氯化氢和氢气气体压缩机4，所述氯化氢和氢气气体压缩机4与吸收塔5相连，所述氯硅烷液体缓冲罐2与泵3相连，所述吸收塔5通过低温氯硅烷液体输送管一8与换热器6相连，所述换热器6通过高温氯硅烷液体输送管一9和解析塔7相连，所述解析塔7通过高温氯硅烷液体输送管二10与换热器6相连，所述换热器6通过低温氯硅烷液体输送管二11与吸收塔5相连，所述泵3通过低温氯硅烷液体输送管三12与换热器6相连。
所述低温氯硅烷液体输送管一和低温氯硅烷液体输送管二的内径为为150毫米。
所述高温氯硅烷液体输送管一和高温氯硅烷液体输送管二的内径为为100毫米。
本系统将解析塔7输出的高温氯硅烷液体和氯硅烷液体缓冲罐2输出的低温氯硅烷液体利用换热器6进行热交换，既降低了生产成本、简化了生产工艺，又达到了节能降耗的目的，具有较好的经济价值。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型保护范围并不局限于此，根据本实用新型的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统，包括CDI冷凝系统换热器（1）、氯硅烷液体缓冲罐（2）、泵（3）、氯化氢和氢气气体压缩机（4）、吸收塔（5）、换热器（6）、解析塔（7），所述CDI冷凝系统换热器（1）连接氯硅烷液体缓冲罐（2）和氯化氢和氢气气体压缩机（4），所述氯化氢和氢气气体压缩机（4）与吸收塔（5）相连，所述氯硅烷液体缓冲罐（2）与泵（3）相连，所述吸收塔（5）通过低温氯硅烷液体输送管一（8）与换热器（6）相连，所述换热器（6）通过高温氯硅烷液体输送管一（9）和解析塔（7）相连，所述解析塔（7）通过高温氯硅烷液体输送管二（10）与换热器（6）相连，所述换热器（6）通过低温氯硅烷液体输送管二（11）与吸收塔（5）相连，其特征在于：所述泵（3）通过低温氯硅烷液体输送管三（12）与换热器（6）相连。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统，其特征在于：所述低温氯硅烷液体输送管一（8）和低温氯硅烷液体输送管二（11）的内径为为150毫米。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅尾气中氯硅烷循环利用系统，其特征在于：所述高温氯硅烷液体输送管一（9）和高温氯硅烷液体输送管二（10）的内径为为100毫米。
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CN106829863A (zh) * 2015-12-04 2017-06-13 新特能源股份有限公司 一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统
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