CN203140975U - 一种激光微造型掩膜 - Google Patents

一种激光微造型掩膜 Download PDF

Info

Publication number
CN203140975U
CN203140975U CN 201320060546 CN201320060546U CN203140975U CN 203140975 U CN203140975 U CN 203140975U CN 201320060546 CN201320060546 CN 201320060546 CN 201320060546 U CN201320060546 U CN 201320060546U CN 203140975 U CN203140975 U CN 203140975U
Authority
CN
China
Prior art keywords
mask
laser
texturing
laser micro
micro
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN 201320060546
Other languages
English (en)
Inventor
卢轶
冯爱新
薛伟
田良
谢华锟
顾永玉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu University
Original Assignee
Jiangsu University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu University filed Critical Jiangsu University
Priority to CN 201320060546 priority Critical patent/CN203140975U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN203140975U publication Critical patent/CN203140975U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

本实用新型提供了一种激光微造型掩膜，所述激光微造型掩膜由熔覆材料和粘结剂混合制成，所述粘结剂为易蒸发材料，且不与熔覆材料发生反应；所述激光微造型掩膜包括掩膜基底和掩膜微孔，掩膜微孔在掩膜基底上排列成点阵形状；采用本实用新型所述激光微造型掩膜进行激光微造型可以同时实现激光表面熔覆加工与激光表面微造型加工，缩短了加工时间，节约了能量，提高了生产效率。要形成不同的工件表面微凹坑阵列只需更换掩膜而不需要改变激光扫描路线程序，缩小了工作量。

Description

一种激光微造型掩膜
技术领域
本实用新型涉及激光微细加工领域，具体涉及一种激光微造型掩膜。
背景技术
现有的激光表面微造型技术一般采用脉冲激光配合工件移动在工件表面打出凹坑阵列，这种加工方式不仅速度缓慢且热影响区不均，同时各个凹坑的深度与微形貌有一定差异，同时由于许多工件表面需要制备涂层，激光造型后往往会破坏涂层，需要重新制备涂层，这种重复劳动，不但浪费资源还严重影响加工效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种激光微造型掩膜；利用该激光微造型掩膜覆盖在工件表面然后用连续激光快速扫描工件表面达到微造型的目的；它解决了以往方法中加工速度慢、激光破坏涂层以及重复造型的问题。
本实用新型是通过如下技术方案实现的：
一种激光微造型掩膜，所述激光微造型掩膜由熔覆材料和粘结剂混合制成，所述粘结剂为易蒸发材料，且不与熔覆材料发生反应；所述激光微造型掩膜包括掩膜基底和掩膜微孔，掩膜微孔在掩膜基底上排列成点阵形状。
采用本实用新型所述激光微造型掩膜进行激光微造型可以同时实现激光表面熔覆加工与激光表面微造型加工，缩短了加工时间，节约了能量，提高了生产效率；要形成不同的工件表面微凹坑阵列只需更换掩膜而不需要改变激光扫描路线程序，缩小了工作量。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型所述激光微造型掩膜的主视图；
图2是本实用新型所述激光微造型掩膜的剖视图；
图3是本实用新型所述激光微造型方法的激光扫描路线； 
图4是激光微造型后工件的剖视图；
1、掩膜基底；2、掩膜微孔；3、熔覆层；4、微凹坑；5、工件；6、激光扫描路径； 7、激光微造型掩膜。
具体实施方式
以下实施例用来说明本实用新型，但不是限制本实用新型；下面结合附图详细说明本实用新型。
如图1、2所示，本实用新型所述激光微造型掩膜由掩膜基底1和掩膜微孔2组成，掩膜微孔2在掩膜基底1上排列成一定形状的点阵；所述激光微造型掩膜由熔覆材料和粘结剂混合制成，所述粘结剂为易蒸发材料，且不与熔覆材料发生反应。
采用本实用新型所述利用激光微造型掩膜的激光微造型方法，包括以下步骤：
（1）如图3所示，将激光微造型掩膜7覆盖在工件5表面；
（2）用连续激光按照激光扫描路径6对激光微造型掩膜7覆盖区域进行快速扫描，扫描后结果如图4所示；
激光的热效应使得激光微造型掩膜7中的粘结剂成分首先蒸发，接着激光使得熔覆材料熔覆在工件表面，工件5表面形成一层熔覆层3；
由于掩膜微孔2的存在，当激光扫过掩膜表面的掩膜微孔2时，由于掩膜微孔2内没有熔覆材料，从而使得激光直接作用于工件5表面，在工件5表面烧蚀出微凹坑4，这样就同时完成了激光熔覆与激光微造型工作。

Claims (1)

1.一种激光微造型掩膜，其特征在于，所述激光微造型掩膜由熔覆材料和粘结剂混合制成，所述粘结剂为易蒸发材料，且不与熔覆材料发生反应；所述激光微造型掩膜包括掩膜基底和掩膜微孔，掩膜微孔在掩膜基底上排列成点阵形状。
CN 201320060546 2013-02-04 2013-02-04 一种激光微造型掩膜 Expired - Fee Related CN203140975U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201320060546 CN203140975U (zh) 2013-02-04 2013-02-04 一种激光微造型掩膜

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201320060546 CN203140975U (zh) 2013-02-04 2013-02-04 一种激光微造型掩膜

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN203140975U true CN203140975U (zh) 2013-08-21

Family

ID=48968531

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201320060546 Expired - Fee Related CN203140975U (zh) 2013-02-04 2013-02-04 一种激光微造型掩膜

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN203140975U (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103071932A (zh) * 2013-01-14 2013-05-01 温州大学 一种激光微造型掩膜及利用掩膜的激光微造型方法
CN109402680A (zh) * 2018-11-02 2019-03-01 徐州晶迪电子有限公司 一种mos晶体管用掩模板材料的制备方法
CN115365348A (zh) * 2022-10-24 2022-11-22 佛山高谱机械科技有限公司 一种基于激光作用构建锁油微结构阵列的管材弯曲方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103071932A (zh) * 2013-01-14 2013-05-01 温州大学 一种激光微造型掩膜及利用掩膜的激光微造型方法
CN103071932B (zh) * 2013-01-14 2015-04-15 温州大学 一种激光微造型掩膜及利用掩膜的激光微造型方法
CN109402680A (zh) * 2018-11-02 2019-03-01 徐州晶迪电子有限公司 一种mos晶体管用掩模板材料的制备方法
CN109402680B (zh) * 2018-11-02 2021-11-16 徐州晶迪电子有限公司 一种mos晶体管用掩模板材料的制备方法
CN115365348A (zh) * 2022-10-24 2022-11-22 佛山高谱机械科技有限公司 一种基于激光作用构建锁油微结构阵列的管材弯曲方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103071932B (zh) 一种激光微造型掩膜及利用掩膜的激光微造型方法
CN103299401B (zh) 激光加工方法
CN203140975U (zh) 一种激光微造型掩膜
CN105880593B (zh) 多激光直线束印刷式扫描快速成形制造零件的设备及方法
CN102689236B (zh) 一种多主轴数控机床
JP2012525990A5 (zh)
CN103071797A (zh) 多振镜大幅面选择性激光熔化slm设备
CN102397991A (zh) 一种无模铸型快速制造方法
CN103085162A (zh) 一种瓷砖模具的制备方法
CN104360429A (zh) 导光板及其加工方法
CN110091054A (zh) 基于激光离散化、高效铣磨及激光铣削的复合加工方法
KR20200053492A (ko) 다각형 개구로 역반사기 프리즘을 제조하는 방법 및 그 장치
CN104668675B (zh) 一种具有微锥塔阵列端面的电极及其加工方法与应用
CN105710369A (zh) 用于逐层制造三维物体的装置及控制方法和扫描方法
CN109940341A (zh) 一种低频振动辅助飞切加工结构色图案的方法
CN103624761A (zh) 锅炉筒体管孔划线样板及其制作方法
CN202894602U (zh) 一种激光双面打标治具
CN203109344U (zh) 模块化散热器的切割装置
CN103273196A (zh) 有机玻璃的co2激光选区辐照扫描加工微透镜阵列的方法
CN102357735A (zh) 基于可控光束剖面形状与功率分布的双扫描三维激光刻蚀加工方法
CN203556740U (zh) 大型螺旋叶片分段加工模具
CN105216306A (zh) 雕刻模型生成系统及方法、雕刻模型3d打印系统及方法
CN208498110U (zh) 木饰板以及装饰板组
CN102411335A (zh) 一种五轴数控机床内雕加工路径的生成方法
CN201235694Y (zh) 电脑激光雕刻筷子机

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20130821

Termination date: 20140204