CN203096177U - 动力式吸引风刀 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种动力式吸引风刀，主要包括有一座体，座体内具有管路，管路一端封闭，另一端连通吸引装置，座体相对于吸引侧具有连通管路的缺口，各缺口连结设置吸引本体，该吸引本体内具有至少一通道，各通道一端连通缺口，另一端则具有吸口，且各吸口较缺口小，各所述吸引本体穿设有与座体平行的传动轴，该传动轴连结机台主传动机构而受其传动，该传动轴在各吸引本体侧设有轮片，各轮片随传动轴转动，且轮片并凸伸出于吸引本体下缘。本实用新型动力式吸引风刀除具有较佳的吸引效果，能有效摒除水池效应外，更具有蚀刻薄板或软板的功效。

Description

动力式吸引风刀

技术领域

本实用新型涉及一种蚀刻用动力式吸引风刀，属金属蚀刻技术领域，具有摒除水池效应、具生产薄板或软板效能、避免板子歪斜或卡板，以提高产品质量的功效。

背景技术

蚀刻(Etching)指通过化学药剂的侵蚀作用，将金属表面除去全部或部分的作业。目前蚀刻工业广泛运用于电子工业，诸如半导体装置晶圆，电路板等的制造。以中国台湾蚀刻专利为例，公告第M386597号用于软性基板蚀刻制程的载台(2010年08月11日专利公告数据参照)，该载台应用于软性基板卷对卷式(roll to roll)线路蚀刻制程中，除蚀刻液喷洒处下方支撑软性基板外，更能使软性基板形成中间凸起两侧较低的弧曲面，通过高度差，使喷洒在弧曲状软性基板上的蚀刻液得以增加流动性，以减少积留在软性基板中央的水池现象，使软性基板进行蚀刻细微线路或图形的任何处均能达到全面性的均匀蚀刻效果。公告第M296469号蚀刻机的改良构造(2006年08月21日专利公告数据参照)，其包括有一机体、一喷雾器、一置物盘及一线性或曲线轨道，该机体上或下端设置可输送蚀刻喷液的导引件，该喷雾器设置在机体上或下端，并包括连接管及在一侧或两侧外伸连通有若干分岐管，其数分岐管则与置物盘的水平位移方向成一夹角，该置物盘设置在机体内部，其下或上具有旋转轴的座体、其上或下具有若干可贴在被蚀刻物上进行蚀刻的保护膜，该线性或曲线轨道设置在机体中，其上或下具有可供置物盘作线性移动的沟槽，以此，该蚀刻机的置物盘除旋转外并作适度的线性或曲线位移，使蚀刻喷液恒与被蚀刻物成直角，及由于被蚀刻物左右平移，故可免除死角，使得蚀刻作业为全方位，且被蚀刻物的上视图案的尺寸更均匀。由于喷射嘴喷射的蚀刻液易于蚀刻物表面形成一水池，称之为水池效应，水池效应易造成蚀刻不平均的现象，如何避免水池效应，乃成各业者亟待克服的难题。

本发明人先前的M406253号蚀刻装置专利，在蚀刻制程中，运用流速差异的原理，形成一类似真空吸引力，将喷射在待蚀刻物表面上的蚀刻药液，利用此一吸引力，将其带离待蚀刻物表面，以避免水池效应。其主要包括有复数个喷射嘴，各喷射嘴管路连结供给喷射嘴蚀刻药液的喷射动力源，另包括有复数个吸引风刀，各吸引风刀管路连结提供吸引风刀吸引力的吸引装置及循环动力源，其特征在于：所述吸引装置包括有一三通管，该三通管具有呈直线设置的第一管体、第二管体，第一管体与第二管体间具有向外侧连通的第三管体，该第一管体连结循环动力源，第二管体连结蚀刻药液槽，第三管体则连结吸引风刀，且第一管体具有外大内小的锥形口，第二管体具有内小外大的锥形口，具有极佳的吸引效果，能有效摒除水池效应，自推出后深获业界推崇。但是由于真空蚀刻机在生产薄板(或软板)时，因为真空的吸引力会使薄板(或软板)被吸起，而沾黏到风刀，造成薄板(或软板)歪斜甚或卡板的缺失，故生产薄板或软板时受限制。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型要解决的技术问题在于提供一种动力式吸引风刀，能够避免生产薄板或软板时板子歪斜或卡板的问题，提高产品的质量。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是这样实现的：一种动力式吸引风刀，其主要包括有一座体，座体内具有管路，管路一端封闭，另一端连通吸引装置，座体相对于吸引侧具有适当数量连通管路的缺口，各缺口连结设置吸引本体，该吸引本体内具有至少一通道，各通道一端连通缺口，另一端则具有吸口，且各吸口较缺口为小，各所述吸引本体穿设有与座体平行的传动轴，该传动轴连结机台主传动机构而受其传动，该传动轴在各吸引本体侧设有轮片，各轮片随传动轴转动，且轮片并凸伸出于吸引本体下缘。

作为优选方案，所述吸引本体吸口底部具有挡片封闭部分吸口。

作为优选方案，所述吸口通过挡片交错设置。

本实用新型达到的技术效果如下：本实用新型动力式吸引风刀，除具有较佳的吸引效果，能有效摒除水池效应外，更可通过转动的轮片来压制待蚀刻物，如此当待蚀刻板为薄板或软板时，不会因为真空吸引力而使得待蚀刻物沾黏到吸引本体，造成卡板或板子歪斜的缺失，如此一并解决了真空蚀刻机不能生产薄板或软板的限制，同时提高了产品的质量。

附图说明

图1为本实用新型动力式吸引风刀的蚀刻装置示意图；

图2为本实用新型动力式吸引风刀的蚀刻装置吸引装置剖面图；

图3为本实用新型动力式吸引风刀实施例立体图；

图4为本实用新型动力式吸引风刀实施例剖面图。

【符号说明】

1喷射嘴

2喷射动力源

3吸引风刀

30座体  

31管路

32缺口

33吸引本体

34通道  

35吸口

36传动轴

37轮片

38挡片

4蚀刻药液槽

5吸引装置

50三通管

51第一管体

510锥形口

52第二管体

520锥形口

53第三管体 

6循环动力源

7待蚀刻物。

具体实施方式

本实用新型为蚀刻装置中的吸引风刀，请参阅图1所示的蚀刻装置示意图，由图可知其主要包括有复数个喷射嘴1，各喷射嘴1管路连结供给喷射嘴1蚀刻药液的喷射动力源2（喷射动力源2如：喷射帮浦），喷射动力源2连结蚀刻药液槽4，另包括有复数个吸引风刀3，各吸引风刀3管路连结提供吸引风刀3吸引力的吸引装置5及循环动力源6，通过喷射动力源2抽取蚀刻药液槽4内的蚀刻药液，将蚀刻药液通过喷射嘴1喷射在待蚀刻物7表面上，达到蚀刻效果，而设在待蚀刻物7表面上的吸引风刀3，可将喷射在待蚀刻物7表面的蚀刻药液，利用吸引风刀3将之带离待蚀刻物7表面，吸引装置5的吸引动力来自循环动力源6（循环动力源6如：循环帮浦），通过循环动力源6抽取蚀刻药液，通过吸引装置5，利用文氏管原理，将待蚀刻物7表面蚀刻药液带离。请参阅图2所示，吸引装置5包括有一三通管50，三通管50具有呈直线设置的第一管体51、第二管体52，第一管体51与第二管体52间具有向外侧连通的第三管体53，第一管体51连结循环动力源6（参阅图1），第二管体52连结蚀刻药液槽4，第三管体53则连结吸引风刀3，且第一管体51具有外大内小的锥形口510，第二管体52具有内小外大的锥形口520，以形成类似真空吸引的力道，如此具有极佳的吸引效果。本实用新型在蚀刻制程中，运用流速差异的原理，形成一类似真空吸引力，将喷射在待蚀刻物表面上的蚀刻药液，利用此一吸引力，将其带离待蚀刻物表面，以避免水池效应能有效摒除水池效应。

请参阅图3所示，本实用新型吸引风刀3主要包括有一座体30，座体30内具有管路31，管路31一端封闭，另一端连通吸引装置5（吸引装置5的第三管体53）。请配合参阅图4所示，座体30相对于吸引侧具有连通管路31的缺口32，各缺口32连结设置吸引本体33，吸引本体33内具有至少一通道34(本实施例为二通道34)，各通道34一端连通缺口32，另一端则具有吸口35，且各吸口35较缺口32为小，各吸引本体33穿设有与座体30平行的传动轴36，传动轴36连结机台主传动机构而受其传动（机台主传动机构为公知技术，图未示），传动轴36在各吸引本体33侧设有轮片37，各轮片37随传动轴36转动，且轮片37并凸伸出于吸引本体33下缘。本实用新型吸引风刀3结构除具有较佳的吸引效果，能有效摒除水池效应外，更可通过转动的轮片37来压制待蚀刻物7，如此当待蚀刻物7为薄板或软板时，不会因为真空吸引力而使得待蚀刻物7沾黏到吸引本体33，造成卡板或板子歪斜的缺失，如此一并解决了真空蚀刻机不能生产薄板或软板的限制。

本实用新型吸引本体吸口35底部具有挡片38封闭部分吸口35，吸口35可交错设置，以具有更佳的吸引力道。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。

Claims (3)

1.一种动力式吸引风刀，其特征在于，其主要包括有一座体，座体内具有管路，管路一端封闭，另一端连通吸引装置，座体相对于吸引侧具有连通管路的缺口，各缺口连结设置吸引本体，该吸引本体内具有至少一通道，各通道一端连通缺口，另一端则具有吸口，且各吸口较缺口为小，各所述吸引本体穿设有与座体平行的传动轴，该传动轴连结机台主传动机构而受其传动，该传动轴在各吸引本体侧设有轮片，各轮片随传动轴转动，且轮片并凸伸出于吸引本体下缘。

2.根据权利要求1所述的动力式吸引风刀，其特征在于，所述吸引本体吸口底部具有挡片封闭部分吸口。

3.根据权利要求2所述的动力式吸引风刀，其特征在于，所述吸口通过挡片交错设置。

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