CN207013872U - 一种玻璃微沟槽加工装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型实施例提供了一种玻璃微沟槽加工装置，包括：激光器、工件、喷嘴；所述激光器设置于所述工件的一侧，用于发送激光至所述工件；所述喷嘴设置于所述工件的另一侧，用于喷射微细射流至所述工件。本实用新型通过激光快速高效的粗加工出流道，微磨料水射流进行精加工，不仅可以起到冷却作用，还可以把切屑带走，防止其粘附在工件表面，大大提高了加工表面质量。可以降低激光加工的热影响；可以加工更深质量更好的沟槽。
Description
技术领域
本实用新型涉及玻璃加工领域，尤其涉及一种玻璃微沟槽加工装置。
背景技术
玻璃具有一系列优异的物理化学性能,广泛地应用在航空、国防、科研等领域中。但因为其典型的高硬脆性特性,使其结构件的加工制造一直存在难题, 其微沟槽的加工是其中一个难题，而这种玻璃微沟槽在微电子封装、MEMS 器件封装,生物和医疗等领域具有巨大的应用需求。
玻璃属于硬脆材料，加工玻璃的方法有很多，主要是激光加工。
激光加工是利用光的能量经过透镜聚焦后在焦点上达到很高的能量密度，靠光热效应来加工的。
然而这种激光加工的方法刻蚀出来的沟槽的质量较差。
而湿法刻蚀是使用HF腐蚀玻璃，HF有剧毒对操作人员与环境都很不友好；激光刻蚀出来的沟槽的质量较差；等离子刻蚀对设备和环境要求高；微磨料水射流加工效率较低。
因此，激光加工的方法刻蚀出来的沟槽的质量较差是本领域技术人员需要解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型实施例公开了一种玻璃微沟槽加工装置，用于解决激光加工的方法刻蚀出来的沟槽的质量较差的技术问题。
本实用新型实施例提供了一种玻璃微沟槽加工装置，包括：激光器、工件、喷嘴；
所述激光器设置于所述工件的一侧，用于发送激光至所述工件；
所述喷嘴设置于所述工件的另一侧，用于喷射微细射流至所述工件。
优选地，所述激光器的透镜距离所述工件的另一侧表面的距离为所述透镜的焦距，使得所述激光器发出的激光能够聚焦到所述工件的另一侧表面。
优选地，本发明实施例还包括两条加工轨道；
所述两条加工轨道分别设置于所述工件的两侧；
所述激光器具体设置于所述工件的一侧的加工轨道上；
所述喷嘴具体设置于所述工件的另一侧的加工轨道上；
所述两条加工轨道的形状相同。
优选地，所述两条加工轨道上分别设置有第一滑轮和第二滑轮；
所述激光器具体通过第一滑轮设置于所述工件的一侧的加工轨道上；
所述喷嘴具体通过第二滑轮设置于所述工件的另一侧的加工轨道上。
优选地，所述喷嘴具体为喷射高压水与微细磨料混合的微细射流的喷嘴。
优选地，所述工件具体为待加工玻璃。
从以上技术方案可以看出，本实用新型实施例具有以下优点：
本实用新型实施例提供了一种玻璃微沟槽加工装置，包括：激光器、工件、喷嘴；所述激光器设置于所述工件的一侧，用于发送激光至所述工件；所述喷嘴设置于所述工件的另一侧，用于喷射微细射流至所述工件。本实用新型通过激光快速高效的粗加工出流道，微磨料水射流进行精加工，不仅可以起到冷却作用，还可以把切屑带走，防止其粘附在工件表面，大大提高了加工表面质量。可以降低激光加工的热影响；可以加工更深质量更好的沟槽。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本实用新型实施例提供的一种玻璃微沟槽加工装置的一个实施例的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型实施例公开了一种玻璃微沟槽加工装置，用于解决激光加工的方法刻蚀出来的沟槽的质量较差的技术问题。
请参阅图1，本实用新型实施例提供的一种玻璃微沟槽加工装置的一个实施例，包括：激光器1、工件2、喷嘴3；
激光器1设置于工件2的一侧，用于发送激光至工件2；
喷嘴3设置于工件2的另一侧，用于喷射微细射流至工件2。
本实用新型通过激光快速高效的粗加工出流道，微磨料水射流进行精加工，不仅可以起到冷却作用，还可以把切屑带走，防止其粘附在工件2表面，大大提高了加工表面质量。可以降低激光加工的热影响；可以加工更深质量更好的沟槽。
进一步地，激光器1的透镜距离工件2的另一侧表面的距离为透镜的焦距，使得激光器1发出的激光能够聚焦到工件2的另一侧表面。
工件2的另一侧表面实际上为待加工的表面，激光和微细射流都在这个另一侧表面对工件2进行加工。
进一步地，本发明实施例还包括两条加工轨道；
两条加工轨道分别设置于工件2的两侧；
激光器1具体设置于工件2的一侧的加工轨道上；
喷嘴3具体设置于工件2的另一侧的加工轨道上；
两条加工轨道的形状相同(比如都是L形)，这样，在激光器1和喷嘴3 沿着加工轨道同时移动的时候，激光器1在工件2上的加工轨迹和喷嘴3在工件2上的加工轨迹就能重合。
当激光器1和喷嘴3沿着加工轨道同时移动的时候，可以在工件2上加工出微沟槽。激光器1可比喷嘴3提前一点点时间开始移动，这样就可实现先通过激光快速高效的粗加工出流道，微磨料水射流进行后续的精加工，可以达到更好的效果。
进一步地，两条加工轨道上分别设置有第一滑轮和第二滑轮；
激光器1具体通过第一滑轮设置于工件2的一侧的加工轨道上；
具体地，激光器1设置于滑轮上，滑轮可在加工轨道上滑动，喷嘴3同理。
喷嘴3具体通过第二滑轮设置于工件2的另一侧的加工轨道上。
需要说明的是，加工轨道为进一步的有益效果，没有加工轨道，本领域的技术人员也可实现激光器1和喷嘴3同时对工件2进行加工的方案。
进一步地，喷嘴3具体为喷射高压水与微细磨料混合的微细射流的喷嘴3。
进一步地，工件2具体为待加工玻璃。
如图1中所示，激光光束通过透镜聚焦到工件2(玻璃)的下表面对工件 2烧蚀，工件2的下表面的喷嘴3喷出高压水与微细磨料混合的微细射流，激光与微细磨料射流共同作用工件2下表面，激光与喷嘴3一起移动就可以在工件2上加工出微沟槽。
以上对本实用新型所提供的一种玻璃微沟槽加工装置进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (6)
1.一种玻璃微沟槽加工装置，其特征在于，包括：激光器、工件、喷嘴；
所述激光器设置于所述工件的一侧，用于发送激光至所述工件；
所述喷嘴设置于所述工件的另一侧，用于喷射微细射流至所述工件。
2.根据权利要求1所述的一种玻璃微沟槽加工装置，其特征在于，所述激光器的透镜距离所述工件的另一侧表面的距离为所述透镜的焦距，使得所述激光器发出的激光能够聚焦到所述工件的另一侧表面。
3.根据权利要求1所述的一种玻璃微沟槽加工装置，其特征在于，还包括两条加工轨道；
所述两条加工轨道分别设置于所述工件的两侧；
所述激光器具体设置于所述工件的一侧的加工轨道上；
所述喷嘴具体设置于所述工件的另一侧的加工轨道上；
所述两条加工轨道的形状相同。
4.根据权利要求3所述的一种玻璃微沟槽加工装置，其特征在于，所述两条加工轨道上分别设置有第一滑轮和第二滑轮；
所述激光器具体通过第一滑轮设置于所述工件的一侧的加工轨道上；
所述喷嘴具体通过第二滑轮设置于所述工件的另一侧的加工轨道上。
5.根据权利要求1所述的一种玻璃微沟槽加工装置，其特征在于，所述喷嘴具体为喷射高压水与微细磨料混合的微细射流的喷嘴。
6.根据权利要求1所述的一种玻璃微沟槽加工装置，其特征在于，所述工件具体为待加工玻璃。
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109773660A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-05-21 | 大连理工大学 | 一种聚合物基复合材料厚板磨料水射流精加工方法 |
| CN111098045A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-05-05 | 武汉华工激光工程有限责任公司 | 一种用于玻璃无锥度精密深孔阵列的加工系统及方法 |
| CN111922527A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-11-13 | 福耀集团（上海）汽车玻璃有限公司 | 一种夹层玻璃的打孔方法、切割工具及夹层玻璃 |
| CN114227546A (zh) * | 2021-08-30 | 2022-03-25 | 浙江工业大学 | 一种实现表面精细结构的抛光方法及装置 |
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109773660A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-05-21 | 大连理工大学 | 一种聚合物基复合材料厚板磨料水射流精加工方法 |
| CN111098045A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-05-05 | 武汉华工激光工程有限责任公司 | 一种用于玻璃无锥度精密深孔阵列的加工系统及方法 |
| CN111098045B (zh) * | 2019-12-13 | 2021-07-20 | 武汉华工激光工程有限责任公司 | 一种用于玻璃无锥度精密深孔阵列的加工系统及方法 |
| CN111922527A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-11-13 | 福耀集团（上海）汽车玻璃有限公司 | 一种夹层玻璃的打孔方法、切割工具及夹层玻璃 |
| CN114227546A (zh) * | 2021-08-30 | 2022-03-25 | 浙江工业大学 | 一种实现表面精细结构的抛光方法及装置 |
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