CN203064721U

CN203064721U - 辅助接片手装置

Info

Publication number: CN203064721U
Application number: CN 201220742891
Authority: CN
Inventors: 李东升; 贾海立; 崔海仓
Original assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Current assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Priority date: 2012-12-28
Filing date: 2012-12-28
Publication date: 2013-07-17
Anticipated expiration: 2022-12-28

Abstract

本实用新型公开了一种辅助接片手装置，包括主接片手、辅助接片手、顶板、带轮、同步带、直流伺服电机、轴承、轴承座、凸轮轴以及底板，辅助接片手和主接片手安装在顶板上，带轮、直流伺服电机及轴承座安装在底板上，同步带与带轮相匹配，同步带上安装有两个光电开关限位挡板，辅助接片手的底部与凸轮轴接触，凸轮轴的两端分别通过轴承连接在底板上，凸轮轴的一端与带轮相连，轴承通过轴承座固定在底板上。本实用新型通过凸轮轴带动所有辅助接片手同时上升或下降，具有良好的同步性。根据需要增加或减少辅助接片手的数量，可实现大尺寸基板的交接传输。此外，辅助接片手装置采用同步带传动和凸轮轴传动方式，结构简单、制造方便、节省经济成本。

Description

辅助接片手装置

技术领域

本实用新型涉及机械制造领域，特别涉及一种辅助接片手装置。

背景技术

随着光刻机技术的逐渐成熟，对光刻机内部结构简单化和低经济成本的要求越来越高。如何使光刻机内部结构的简单化以及降低生产成本，已经成为摆在各个光刻机制造商面前必须面对的问题。辅助接片手作为光刻机工件台中一个重要的装置，它主要是辅助主接片手完成将玻璃基板交接到传输机构的任务。

现有的部分光刻机的辅助接片手采用气缸作为动力元件，控制准确度不高，影响传输精度；还有的一些光刻机的辅助接片手分别由独立的电机驱动，运动同步性较差，而且经济成本高。辅助接片手作为一种可以自由上升或者下降的装置，广泛应用于光刻机中的基板传输。常见的提升机构中，平行四边形机构能按比例放大工作行程，广泛使用在各类液压升降设备中，但其工作方式都是顶升，如液压升降工作台，这种平面多杆机构虽然能增加提升行程，但构件受力计算比较复杂，而且占用空间较大；还有一些提升机构采用链条，例如多链条同步提升机构，由于链条需要润滑，容易对环境造成污染，不适合应用于光刻机领域。

随着大型平板LED技术的发展，对辅助接片手的数量要求也会更多。因此，如何提供一种结构简单、运动同步性好且经济成本低的辅助接片手装置成为本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种辅助接片手装置，以解决现有技术中辅助接片手经济成本高，运动同步性差，结构复杂的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种辅助接片手装置，包括主接片手、辅助接片手、顶板、带轮、同步带、直流伺服电机、轴承、轴承座、凸轮轴以及底板，其中，所述辅助接片手和主接片手安装在所述顶板上，所述带轮、直流伺服电机以及轴承座安装在所述底板上，所述同步带与所述带轮相匹配，同步带上安装有两个光电开关限位挡板，所述辅助接片手的底部与所述凸轮轴相接触，所述凸轮轴的两端分别通过所述轴承连接在所述底板上，且所述凸轮轴的一端与所述带轮相连，所述轴承通过所述轴承座固定在所述底板上。

作为优选，所述凸轮轴为两组，分别设置在所述同步带两端的底板上。

作为优选，所述凸轮轴包括横轴和多个凸轮，所述凸轮套设在所述横轴上并与所述横轴固定连接，所述凸轮的上表面与所述辅助接片手相接触。

作为优选，所述带轮包括第一带轮和第二带轮，其中，第一带轮设置在所述同步带的中间位置，且所述第一带轮与所述直流伺服电机相连，所述第二带轮有两个，分别设置于所述同步带的两端，且所述第二带轮与所述凸轮轴相连。

作为优选，还包括光电开关，所述光电开关设置在所述底板上。

作为优选，还包括电气限位挡板，所述电气限位挡板设置在所述同步带上。

作为优选，所述顶板上设置有导轨，所述辅助接片手在所述导轨中上下移动。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、用一台直流伺服电机驱动整个辅助接片手装置，减少了原动件的数目，降低了控制的难度，节省了经济成本；

2、采用同步带传动和凸轮轴传动方式，结构简单，制造方便；

3、通过凸轮轴实现辅助接片手的上升或者下降，控制简单可靠，运动同步性好；

4、可以根据实际需要增加辅助接片手的数量，实现大尺寸基板的交接传输。

附图说明

图1为本实用新型一具体实施方式中辅助接片手装置的主视图；

图2为本实用新型一具体实施方式中辅助接片手装置的左视图；

图3为本实用新型一具体实施方式中辅助接片手装置的立体示意图；

图4为本实用新型一具体实施方式中辅助接片手装置的俯视图；

图5为本实用新型一具体实施方式中辅助接片手的安装示意图；

图6为本实用新型一具体实施方式中凸轮的结构示意图。

图中：1-辅助接片手、2-主接片手、3-顶板、4-带轮、401-第一带轮、402-第二带轮、5-同步带、6-直流伺服电机、7-轴承、8-轴承座、9-凸轮轴、901-凸轮、902-横轴、10-底板、11-光电开关、12-电气限位挡板。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本实用新型附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参照图1~6，本实用新型提供一种辅助接片手装置，包括辅助接片手1、主接片手2、顶板3、带轮4、同步带5、直流伺服电机6、轴承7、轴承座8、凸轮轴9以及底板10。其中，所述辅助接片手1和主接片手2安装在所述顶板3上，所述带轮4、直流伺服电机6以及轴承座8安装在所述底板10上，所述同步带5与所述带轮4相匹配，同步带5上安装有两个光电开关限位挡板（未图示），所述辅助接片手1的底部与所述凸轮轴9相接触，所述凸轮轴9的两端分别与所述轴承7连接，且所述凸轮轴9的一端与所述带轮4相连，所述轴承7通过所述轴承座8固定在底板10上。具体地，所述直流伺服电机6通过带轮4和同步带5带动凸轮轴9转动，凸轮轴9的旋转带动辅助接片手1上升或下降。本实用新型的辅助接片手装置由一台直流伺服电机6驱动，通过直流伺服电机6的正转、反转，实现了辅助接片手1的上升或下降，既减少了原动件的数目，又降低了装置的控制难度，节省了经济成本。并且，本实用新型通过凸轮轴9带动所有辅助接片手1同时上升或者下降，具有良好的同步性。还可以根据需要增加或减少辅助接片手1的数量，实现大尺寸基板的交接传输。此外，所述的辅助接片手装置采用同步带传动和凸轮轴传动方式，结构简单、制造方便、大大节省经济成本。

请参照图2和图5，所述凸轮轴9为两组，分别设置在所述同步带5两端的底板10上。较佳的，所述凸轮轴9包括横轴902和多个凸轮901，所述凸轮901套设在所述横轴902上并与所述横轴901固定连接，所述辅助接片手1与所述凸轮901的上表面相接触。具体地，所述直流伺服电机6通过带轮4和同步带5同时带动两组凸轮轴9转动，每个凸轮轴9上分别带动多个凸轮901旋转，从而推动辅助接片手1的升降，该装置可以灵活的实现辅助接片手1的升降，使得所述辅助接片手装置的运动同步性提高。

请参照图1，并结合图2~6，作为优选，所述带轮4包括第一带轮401和第二带轮402，其中，第一带轮401设置在所述同步带5的中间位置，且所述第一带轮401与所述直流伺服电机6相连，所述第二带轮402有两个，分别设置于所述同步带5的两端，且所述第二带轮402与所述凸轮轴9相连。具体地，所述直流伺服电机6驱动第一带轮401转动，使所述第一带轮401带动所述同步带5及第二带轮402转动，从而带动凸轮轴9旋转，实现所述辅助接片手1的上升或下降。

请参照图2，并结合图1和图3~6，所述辅助接片手装置还包括光电开关11和电气限位挡板12，所述光电开关11安装在所述底板10上，所述电气限位挡板12安装在所述同步带5上。所述电气限位挡板12与光电开关11一起用来控制辅助接片手1的行程，即，可以根据实际辅助接片手1的行程需要，合理调整光电开关11和电气限位挡板12的位置，也就是说，可以通过限制同步带5的旋转角度选择凸轮901在某一段行程内旋转，继而限定辅助接片手1上升和下降的高度。

请参照图5，并结合图1~4，作为优选，所述顶板3上设置有导轨301，所述辅助接片手1在所述导轨301中上下移动，即，所述导轨301用于导向所述辅助接片手1。

请继续参照图1~6，所述辅助接片手装置的工作过程为：直流伺服电机6带动所述第一带轮401转动，所述第一带轮401带动同步带5以及第二带轮402转动，所述第二带轮402带动两个凸轮轴9转动，凸轮901旋转带动辅助接片手1上升。当固定在同步带5上的电气限位挡板12碰到光电开关11时，直流伺服电机6停止转动，辅助接片手1也停止上升。当辅助接片手1与传输机构交接完毕后，直流伺服电机6反向旋转，带动凸轮轴9反向旋转，辅助接片手1跟随凸轮901下降到初始位置，完成辅助接片手1与传输机构的一次交接过程。

综上所述，本实用新型的辅助接片手装置，包括辅助接片手1、顶板3、带轮4、同步带5、直流伺服电机6、轴承7、轴承座8、凸轮轴9以及底板10。其中，所述辅助接片手1和主接片手2安装在所述顶板3上，所述带轮4、直流伺服电机6以及轴承座8安装在所述底板10上，所述同步带5与所述带轮4相匹配，同步带5上安装有两个光电开关限位挡板，所述辅助接片手1的底部与所述凸轮轴9相接触，所述凸轮轴9的两端分别与所述轴承7连接，且所述凸轮轴9的一端与所述带轮4相连，所述轴承7通过所述轴承座8固定在所述底板10上。本实用新型的辅助接片手装置，以直流伺服电机6作为动力元件，通过同步带5和带轮4带动两个凸轮轴9转动，凸轮901的转动带动与之相接触的辅助接片手1上升或者下降。

与现有技术相比，所述辅助接片手装置具有以下优点：

1、用一台直流伺服电机6驱动整个辅助接片手装置，减少了原动件的数目，降低了控制的难度，节省了经济成本；

3、通过凸轮轴实现辅助接片手1的上升或者下降，控制简单可靠，运动同步性好；

4、可以根据实际需要增加辅助接片手1的数量，实现大尺寸基板的交接传输；

5、可以通过安装在底板10上的光电开关11以及安装在同步带5上的电气限位挡板12的位置调整辅助接片手1的行程。

显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。

Claims

1.一种辅助接片手装置，其特征在于，包括主接片手、辅助接片手、顶板、带轮、同步带、直流伺服电机、轴承、轴承座、凸轮轴以及底板，其中，所述辅助接片手和主接片手安装在所述顶板上，所述带轮、直流伺服电机以及轴承座安装在所述底板上，所述同步带与所述带轮相匹配，同步带上安装有两个光电开关限位挡板，所述辅助接片手的底部与所述凸轮轴相接触，所述凸轮轴的两端分别通过所述轴承连接在所述底板上，且所述凸轮轴的一端与所述带轮相连，所述轴承通过所述轴承座固定在所述底板上。

2.如权利要求1所述的辅助接片手装置，其特征在于，所述凸轮轴为两组，分别设置在所述同步带两端的底板上。

3.如权利要求2所述的辅助接片手装置，其特征在于，所述凸轮轴包括横轴和多个凸轮，所述凸轮套设在所述横轴上并与所述横轴固定连接，所述凸轮的上表面与所述辅助接片手相接触。

4.如权利要求1所述的辅助接片手装置，其特征在于，所述带轮包括第一带轮和第二带轮，其中，第一带轮设置在所述同步带的中间位置，且所述第一带轮与所述直流伺服电机相连，所述第二带轮有两个，分别设置于所述同步带的两端，且所述第二带轮与所述凸轮轴相连。

5.如权利要求1所述的辅助接片手装置，其特征在于，还包括光电开关，所述光电开关设置在所述底板上。

6.如权利要求1所述的辅助接片手装置，其特征在于，还包括电气限位挡板，所述电气限位挡板设置在所述同步带上。

7.如权利要求1所述的辅助接片手装置，其特征在于，所述顶板上设置有导轨，所述辅助接片手在所述导轨中上下移动。