CN202968134U - 一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备 - Google Patents

一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备 Download PDF

Info

Publication number
CN202968134U
CN202968134U CN 201220686405 CN201220686405U CN202968134U CN 202968134 U CN202968134 U CN 202968134U CN 201220686405 CN201220686405 CN 201220686405 CN 201220686405 U CN201220686405 U CN 201220686405U CN 202968134 U CN202968134 U CN 202968134U
Authority
CN
China
Prior art keywords
graphite
tailing
silica tube
equipment
vacuum chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN 201220686405
Other languages
English (en)
Inventor
谭毅
顾正
刘峰
石爽
张晓峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
QINGDAO NEW ENERGY SOLUTIONS INC. (NESI)
Original Assignee
Qingdao Longsheng Crystal Silicon Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Qingdao Longsheng Crystal Silicon Technology Co Ltd filed Critical Qingdao Longsheng Crystal Silicon Technology Co Ltd
Priority to CN 201220686405 priority Critical patent/CN202968134U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202968134U publication Critical patent/CN202968134U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

本实用新型属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备。该设备外壁上安装有通气管路和尾料收集箱,水冷盘活动安装于真空腔室底部,石墨板置于水冷盘顶端,石墨支柱一端通过孔与石墨板嵌套连接,另一端与石墨托盘嵌套连接,坩埚置于石墨托盘之上,石墨发热体套于坩埚外围,碳毡保温桶套于石墨发热体之外,石英管活动安装于真空腔室顶端,且其下端穿过碳毡保温盖置于坩埚正上方中心位置,石英管上端封闭,下端开口。本实用新型的设备是在原有定向凝固设备的基础之上增加通气管道、石英管和尾料收集箱,设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,节约了生产周期和成本,适用于工业化大规模生产。

Description

一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备
技术领域
本实用新型属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种尾料取出式定向凝固提纯多晶硅的设备。
背景技术
硅原料的提纯是太阳能光伏产业链的重要环节,光伏产业的快速发展依赖于高效率、低成本的提纯方法。定向凝固技术已经被广泛应用于金属提纯的诸多领域,取得了显著的成效。在对硅原料进行提纯的过程中,分凝系数远小于1的金属杂质在定向凝固过程中会向液相中富集,最终被去除。这种方法是目前冶金法制备太阳能级多晶硅的关键环节之一,是去除多晶硅中金属杂质的最有效的方法。定向凝固的原理是采用强制的手段在熔体中形成特定方向的温度梯度,硅熔体中温度较低的部位成为形核源首先结晶成核,成为熔体凝固的起点并开始生长,由于单向温度梯度的存在,熔体沿着与热流相反的方向不断生长,最终形成具有特定取向的柱状晶。定向凝固提纯是利用杂质元素在熔体与固体中的溶解度不同,在凝固过程中分凝系数较小的杂质元素在固液界面处前沿被排出进入液相中,并在熔体中不断富集,最后在铸锭的尾部凝固,将铸锭尾部杂质浓度较高的区域切除,即可获得低金属含量的铸锭,进而达到提纯的目的。
    然而,在凝固末期,随着杂质的不断富集以及熔体体积的不断减小,杂质的浓度会越来越高,高浓度的杂质被保留在最后凝固的区域中。在随后缓慢降温过程中,高浓度区域的杂质会向低浓度区域扩散,使得硅纯度随着保温时间的延长反而逐渐降低,这影响了提纯效果,且在这种情况下,需要被切除的尾部废料高达25%~35%,成品率仅为65-75%。同时,由于硅的硬度比较大,需要大功率切割设备才能将提纯的硅锭和尾部杂质含量高的铸锭尾料分离出来,目前一般使用线切割和金刚石锯带切割的方法进行切割,但是切割设备成本高,锯带消耗大,不利于工业化生产成本的降低,目前,国内鲜见富有成效的方法来方便尾料的去除。
实用新型内容
本发明目的是为克服以上不足,提出了一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备,该设备简单,操作简便,成本较低,且利于杂质含量高的尾料得到方便快捷地去除,在凝固末期,将尖嘴石英管伸入熔体之中,之后向真空腔室内通入氩气,上层未凝固的杂质含量高的硅熔体在压力差的作用下进入石英管中,在凝固结束阶段实现杂质富集区与已凝固的高纯硅铸锭的直接分离,抑制了杂质的反扩散,提高了多晶硅的纯度和铸锭的出成率,减少了工艺环节。
为实现上述目的所采用的技术方案是: 一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备,由真空腔室构成外壁,外壁上安装有真空管路,真空管路一端与真空泵组相连,其特征是:外壁上固定安装有通气管路,且活动安装有尾料收集箱,水冷盘活动安装于真空腔室底部,石墨板置于水冷盘顶端,石墨板上开有孔,石墨支柱一端通过孔与石墨板嵌套连接,另一端与石墨托盘嵌套连接,坩埚置于石墨托盘之上,石墨发热体套于坩埚外围且固定于真空腔室侧壁,碳毡保温桶套于石墨发热体之外且固定于真空腔室侧壁,碳毡保温盖上开有孔,置于碳毡保温桶顶端,感应线圈套于碳毡保温桶之外,且固定于真空腔室侧壁之上,石英管活动安装于真空腔室顶端,且其下端穿过碳毡保温盖置于坩埚正上方中心位置,石英管上端封闭,下端开口。
所述石墨板上的孔至少3个。
所述石墨托盘上开有卡槽。
所述石英管与真空腔室之间真空密封活动连接。
所述石英管为尖嘴石英管,其下端管口为尖嘴锥形,上端为圆柱形,整体呈上端封闭的漏斗形状。
本实用新型的设备是在原有定向凝固设备的基础之上增加通气管道、石英管和尾料收集箱,设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,节约了生产周期和成本,适用于工业化大规模生产。
使用本实用新型设备生产的显著效果是:当熔体凝固到杂质相对集中的硅锭顶部时,利用压力差将杂质含量高的尾料收集到石英管中,尾料凝固后胀裂石英管下落至尾料收集箱之中收集,减少了杂质的反扩散,提高了铸锭的出成率,出成率达到85%-95%,减少了线切割和金刚石锯带切割的消耗,减少了工艺环节,降低了能耗。
附图说明
图1一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备示意图
图中:(1)石英管,(2)真空腔室,(3)碳毡保温盖,(4)碳毡保温桶,(5)感应线圈,(6)石墨发热体,(7)坩埚,(8)熔体,(9)石墨托盘,(10)石墨支柱,(11)石墨板,(12)水冷盘,(13)通气管路,(14)尾料收集箱,(15)真空泵组,(16)真空管路
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图详细说明本发明,但本实用新型并不局限于具体实施例。
实施例1
如图1所示的一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备,由真空腔室2构成外壁,外壁上安装有真空管路16,真空管路16一端与真空泵组15相连。
外壁上固定安装有通气管路13,且活动安装有尾料收集箱14,水冷盘12活动安装于真空腔室2底部,石墨板11置于水冷盘顶端,石墨板11上开有孔,石墨支柱10一端通过孔与石墨板11嵌套连接,另一端与石墨托盘9嵌套连接,坩埚7置于石墨托盘9之上,石墨发热体6套于坩埚外围且固定于真空腔室2侧壁,碳毡保温桶4套于石墨发热体6之外且固定于真空腔室2侧壁,碳毡保温盖3上开有孔,置于碳毡保温桶4顶端,感应线圈5套于碳毡保温桶4之外,且固定于真空腔室2侧壁之上,石英管1活动安装于真空腔室2顶端,且其下端穿过碳毡保温盖3置于坩埚正上方中心位置,石英管上端封闭,下端开口。
石墨板11上有4个孔,石墨托盘9上开有卡槽,利于石墨支柱与其的嵌套连接。
石英管1与真空腔室2之间真空密封活动连接,石英管可以上下移动且保持密封的效果。
石英管1为尖嘴石英管,其下端管口为尖嘴锥形,上端为圆柱形,整体呈上端封闭的漏斗形状。
实施例2
采用实施例1所述的设备来取尾料进行定向凝固提纯多晶硅,首先向坩埚7中添加坩埚体积90%洗净的纯度为99.5%硅料,关闭通气管路13,开启真空泵组15,将真空腔室2内的真空度抽到10Pa,关闭真空泵组15,开启通气管路,向真空腔室2中充入99.92%氩气,至压强达到100Pa,关闭通气管路;
第二步熔炼、凝固:开启电源,利用感应线圈5和石墨发热体6将坩埚7中的硅料加热到1450℃至完全熔化成硅熔体,并在此温度下保温30min,垂直向下拉动水冷盘12,使坩埚7中的硅熔体以2mm/min的速度垂直向下匀速运动,进行拉锭,硅熔体由坩埚7底部向顶部进行定向凝固,当硅熔体凝固到85%时,停止拉锭,将石英管1伸入到上层未凝固的剩余硅熔体中,打开通气管路13,纯度为99.92%的氩气以0.1L/min的流量匀速向真空腔室2内填充至6000Pa,未凝固的上层剩余硅熔体在石英管内外压力的作用下压入石英管1中,直至熔体完全进入石英管1之中,以2mm/min的速度继续向下拉锭,待坩埚7上端离开加热区后,将尾料收集箱14水平伸入尖嘴石英管正下方,将石英管1下端降至距尾料收集箱10cm处;
第三步后处理:切断电源,停止加热,石英管1中的硅熔体冷却凝固并膨胀,将石英管胀裂后下落至尾料收集箱14中,富含杂质的尾料就收集到了尾料收集箱之中,坩埚中凝固得到的铸锭为高纯硅铸锭,其纯度将达到99.99%,成品率达到85%。
实施例3
采用实施例1所述的设备来取尾料进行定向凝固提纯多晶硅,首先向坩埚7中添加坩埚体积93%洗净的纯度为99.7%硅料,关闭通气管路13,开启真空泵组15,将真空腔室2内的真空度抽到2Pa,关闭真空泵组15,开启通气管路,向真空腔室2中充入纯度为99.94%氩气,至压强达到2000Pa,关闭通气管路;
第二步熔炼、凝固:开启电源,利用感应线圈5和石墨发热体6将坩埚7中的硅料加热到1550℃至完全熔化成硅熔体,并在此温度下保温45min,垂直向下拉动水冷盘12,使坩埚7中的硅熔体以0.8mm/min的速度垂直向下匀速运动,进行拉锭,硅熔体由坩埚7底部向顶部进行定向凝固,当硅熔体凝固到87%时,停止拉锭,将石英管1伸入到上层未凝固的剩余硅熔体中,打开通气管路13,纯度为99.94%的氩气以1.5L/min的流量匀速向真空腔室2内填充至25000Pa,未凝固的上层剩余硅熔体在石英管内外压力的作用下压入石英管1中,直至熔体完全进入石英管1之中,以0.8mm/min的速度继续向下拉锭,待坩埚7上端离开加热区后,将尾料收集箱14水平伸入尖嘴石英管正下方,将石英管1下端降至距尾料收集箱15cm处;
第三步后处理:切断电源,停止加热,石英管1中的硅熔体冷却凝固并膨胀,将石英管胀裂后下落至尾料收集箱14中,富含杂质的尾料就收集到了尾料收集箱之中,坩埚中凝固得到的铸锭为高纯硅铸锭,其纯度将达到99.994%,成品率达到90%。
实施例4
采用实施例1所述的设备来取尾料进行定向凝固提纯多晶硅,首先向坩埚7中添加坩埚体积95%洗净的纯度为99.9%硅料,关闭通气管路13,开启真空泵组15,将真空腔室2内的真空度抽到0.01Pa,关闭真空泵组15,开启通气管路,向真空腔室2中充入纯度为99.93%的氦气,至压强达到4000Pa,关闭通气管路;
第二步熔炼、凝固:开启电源,利用感应线圈5和石墨发热体6将坩埚7中的硅料加热到1650℃至完全熔化成硅熔体,并在此温度下保温60min,垂直向下拉动水冷盘12,使坩埚7中的硅熔体以0.1mm/min的速度垂直向下匀速运动,进行拉锭,硅熔体由坩埚7底部向顶部进行定向凝固,当硅熔体凝固到90%时,停止拉锭,将石英管1伸入到上层未凝固的剩余硅熔体中,打开通气管路13,纯度为99.93%的氦气以3L/min的流量匀速向真空腔室2内填充50000Pa,未凝固的上层剩余硅熔体在石英管内外压力的作用下压入石英管1中,直至熔体完全进入石英管1之中,以0.1mm/min的速度继续向下拉锭,待坩埚7上端离开加热区后,将尾料收集箱14水平伸入石英管正下方,将石英管1下端降至距尾料收集箱5cm处;
第三步后处理:切断电源,停止加热,石英管1中的硅熔体冷却凝固并膨胀,将石英管胀裂后下落至尾料收集箱14中,富含杂质的尾料就收集到了尾料收集箱之中,坩埚中凝固得到的铸锭为高纯硅铸锭,其纯度将达到99.999%,成品率达到95%。

Claims (5)

1.一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备,由真空腔室(2)构成外壁,外壁上安装有真空管路(16),真空管路(16)一端与真空泵组(15)相连,其特征是:外壁上固定安装有通气管路(13),且活动安装有尾料收集箱(14),水冷盘(12)活动安装于真空腔室(2)底部,石墨板(11)置于水冷盘顶端,石墨板(11)上开有孔,石墨支柱(10)一端通过孔与石墨板(11)嵌套连接,另一端与石墨托盘(9)嵌套连接,坩埚(7)置于石墨托盘(9)之上,石墨发热体(6)套于坩埚外围且固定于真空腔室(2)侧壁,碳毡保温桶(4)套于石墨发热体(6)之外且固定于真空腔室(2)侧壁,碳毡保温盖(3)上开有孔,置于碳毡保温桶(4)顶端,感应线圈(5)套于碳毡保温桶(4)之外,且固定于真空腔室(2)侧壁之上,石英管(1)活动安装于真空腔室(2)顶端,且其下端穿过碳毡保温盖(3)置于坩埚正上方中心位置,石英管上端封闭,下端开口。
2.根据权利要求1所述的一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备,其特征是:所述石墨板(11)上的孔至少3个。
3.根据权利要求1所述的一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备,其特征是:所述石墨托盘(9)上开有卡槽。
4.根据权利要求1所述的一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备,其特征是:所述石英管(1)与真空腔室(2)之间真空密封活动连接。
5.根据权利要求1或4所述的一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备,其特征是:所述石英管(1)为尖嘴石英管,其下端管口为尖嘴锥形,上端为圆柱形,整体呈上端封闭的漏斗形状。
CN 201220686405 2012-12-13 2012-12-13 一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备 Expired - Fee Related CN202968134U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201220686405 CN202968134U (zh) 2012-12-13 2012-12-13 一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201220686405 CN202968134U (zh) 2012-12-13 2012-12-13 一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202968134U true CN202968134U (zh) 2013-06-05

Family

ID=48509237

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201220686405 Expired - Fee Related CN202968134U (zh) 2012-12-13 2012-12-13 一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202968134U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102976332A (zh) * 2012-12-13 2013-03-20 青岛隆盛晶硅科技有限公司 一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备
CN104651930A (zh) * 2013-11-22 2015-05-27 青岛隆盛晶硅科技有限公司 电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置及方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102976332A (zh) * 2012-12-13 2013-03-20 青岛隆盛晶硅科技有限公司 一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备
CN102976332B (zh) * 2012-12-13 2014-08-27 青岛隆盛晶硅科技有限公司 一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备
CN104651930A (zh) * 2013-11-22 2015-05-27 青岛隆盛晶硅科技有限公司 电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102976335B (zh) 一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的方法及设备
CN102976334B (zh) 一种定向凝固尾料快速收集提纯多晶硅的方法及设备
CN102976332B (zh) 一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备
CN103043664B (zh) 一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的方法及设备
CN102173424B (zh) 真空感应熔炼去除硅粉中磷及金属杂质的方法及设备
CN102126725B (zh) 一种电子束浅熔池熔炼提纯多晶硅的方法及设备
CN202968136U (zh) 一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的设备
CN102849743B (zh) 一种反向诱导凝固提纯多晶硅的方法及设备
CN102145894B (zh) 一种电子束及渣滤熔炼提纯多晶硅的方法及设备
CN102976333B (zh) 一种石墨管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备
CN1873062A (zh) 一种太阳能电池用高纯多晶硅的制备方法和装置
CN103387236B (zh) 一种高纯硅的精炼装置及其方法
CN102219219A (zh) 一种定向凝固及渣滤熔炼提纯多晶硅的方法及设备
CN101850975A (zh) 一种去除磷和金属杂质的提纯硅的方法
CN102120578B (zh) 一种电子束除磷、除金属的耦合提纯多晶硅的方法及设备
CN202968135U (zh) 一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备
CN202968134U (zh) 一种石英管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备
CN202968133U (zh) 一种石墨管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的设备
CN104232932B (zh) 一种高纯铝的提纯装置及其使用方法
CN202063730U (zh) 一种电子束及渣滤熔炼提纯多晶硅的设备
CN202226676U (zh) 一种定向凝固及渣滤熔炼提纯多晶硅的设备
CN203474475U (zh) 一种定向凝固尾料快速收集提纯多晶硅的设备
CN102145895B (zh) 一种浅熔池真空熔炼提纯多晶硅的方法及设备
CN104131337A (zh) 多晶硅提纯或铸锭环节中应用的具有排杂功能的坩锅及多晶硅提纯或铸锭方法
CN103466630A (zh) 提高除杂效果的多晶硅定向凝固方法及其装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20171103

Address after: 1 road 266000 in Shandong province Qingdao city Laoshan District No. 1 Keyuan latitude B block 7 layer B4-2

Patentee after: Qingdao Changsheng Dongfang Industry Group Co., Ltd.

Address before: Pudong solar energy industry base in Jimo city of Shandong Province, Qingdao City, 266234

Patentee before: Qingdao Longsheng Crystalline Silicon Science & Technology Co., Ltd.

TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20171124

Address after: Pudong Town Jimo city Shandong province 266234 city of Qingdao Ren Jia Tun Cun Ren Jia Tun Lu

Patentee after: QINGDAO NEW ENERGY SOLUTIONS INC. (NESI)

Address before: 1 road 266000 in Shandong province Qingdao city Laoshan District No. 1 Keyuan latitude B block 7 layer B4-2

Patentee before: Qingdao Changsheng Dongfang Industry Group Co., Ltd.

TR01 Transfer of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20130605

Termination date: 20181213

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee