CN202909926U - 兆声波换能器的连接盖 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种兆声波换能器的连接盖，包括：连接盖本体、环形内腔、凹槽、冷却气进气通道和冷却气出气通道，所述环形内腔外侧壁与连接盖本体内侧壁连接，所述凹槽至少为一个，其均匀设置在环形内腔内侧壁上，所述冷却气进气通道一端的进气口设置于连接盖本体上，另一端气口设置于环形内腔内侧壁上，所述冷却气出气通道一端的出气口设置于连接盖本体上，另一端气口设置于环形内腔外侧壁上。本实用新型提供的兆声波换能器的连接盖，在实现连接功能的前提下，具有能够冷却压电晶体以及将气液隔离的密封结构，使压电晶体频繁振动产生的热量迅速散掉不积累，并且保证了相对独立的环境，提高了压电晶体的连续工作时间和使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体工艺技术领域，特别涉及一种兆声波换能器的连接盖。
背景技术
半导体清洗工艺面对集成电路线宽越变越小，影响硅片不良率的粒子越来越小，而颗粒越小越难清洗的挑战时，兆声波清洗越来越受到人们的重视，兆声波清洗的机理是由高能频振效应并结合化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗的。在清洗时，由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波，溶液分子在这种声波的推动下作加速运动，最大瞬时速度可达到30cm/s。因此，形成不了超声波清洗那样的气泡，而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面，使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。但是在产生高能声波的同时由于往复和高频振动不可避免的会释放出一些热量，当热量长时间堆积并且得不到释放将严重影响换能器产生高能波的能力和相应元件的使用时间后寿命，所以为了更好的保证兆声波清洗的效果和换能器的使用寿命，与其相配套的冷却是非常有必要的。
实用新型内容
（一）要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种兆声波换能器的连接盖，具有能够冷却压电晶体以及将气液隔离的密封结构，使压电晶体频繁振动产生的热量迅速散掉不积累。
（二）技术方案
本实用新型提供一种兆声波换能器的连接盖，包括：连接盖本体、环形内腔、凹槽、冷却气进气通道和冷却气出气通道，所述环形内腔外侧壁与连接盖本体内侧壁连接，所述凹槽至少为一个，其均匀设置在环形内腔内侧壁上，所述冷却气进气通道一端的进气口设置于连接盖本体上，另一端气口设置于环形内腔内侧壁上，所述冷却气出气通道一端的出气口设置于连接盖本体上，另一端气口设置于环形内腔外侧壁上。
其中，兆声波换能器的连接盖还包括：位于连接盖本体与兆声波换能器接触端面上的连接螺纹孔以及连接盖本体顶端开设的电缆固定孔。
其中，所述连接盖本体材料为非金属材料，其外形为任意一个几何形状。
其中，所述连接盖本体外形为圆柱形、长方柱形或三角柱形。
其中，所述连接盖本体材料为聚四氟乙烯、聚四氟乙烯烷氧基树脂、聚偏氟乙烯或聚醚醚酮树脂。
其中，所述设置在所述连接盖本体上的冷却气进气通道一端的进气口和冷却气出气通道一端的出气口不在同一水平线上。
其中，所述凹槽为任意一个几何形状。
其中，所述凹槽为半圆形、长方形或正方形。
（三）有益效果
本实用新型提供的兆声波换能器的连接盖，在实现连接功能的前提下，具有能够冷却压电晶体以及将气液隔离的密封结构，使压电晶体频繁振动产生的热量迅速散掉不积累，并且保证了相对独立的环境，提高了压电晶体的连续工作时间和使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型兆声波换能器的连接盖内部结构示意图；
图2为本实用新型兆声波换能器的连接盖外部结构示意图；
图3a-图3b为本实用新型兆声波换能器的连接盖工作原理图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
如图1所示，本实用新型提供的兆声波换能器的连接盖，包括：连接盖本体1、环形内腔4、凹槽5、冷却气进口6和冷却气出口7，所述环形内腔4外侧壁与连接盖本体1内侧壁连接，所述凹槽5至少为一个，其均匀设置在环形内腔4内侧壁上，所述凹槽5为任意一个几何形状，如：半圆形、长方形或正方形；所述冷却气进气通道一端的进气口6设置于连接盖本体1上，另一端气口设置于环形内腔4内侧壁上，所述冷却气出气通道一端的出气口7设置于连接盖本体1上，另一端气口设置于环形内腔4外侧壁上。兆声波换能器的连接盖还包括：位于连接盖本体1与兆声波换能器12接触端面上的连接螺纹孔3以及连接盖本体1顶端开设的电缆固定孔2；所述连接盖本体1通过所述连接螺纹孔3与兆声波换能器12连接固定，所述电缆固定孔2用来固定连接压电晶体9和功率放大器的同轴电缆接头8的，通过电缆接头8上的密封圈安装后形成密封环境。所述连接盖本体1材料为非金属材料，具体地，所述连接盖本体1材料为聚四氟乙烯（PTFE）或其他防腐蚀性好，且机械加工性能和强度高的非金属材料，其外形为任意一个几何形状，如：圆柱形、长方柱形或三角柱形。
如图2所示，所述设置在所述连接盖本体1上的冷却气进气通道一端的进气口6和冷却气出气通道一端的出气口7不在同一水平线上。另外所述冷却气进气通道比所述冷却气出气通道长度略长。
如图3a-图3b所示，工作时，当压电晶体9工作时会产生高频的振动，产生热量，通过冷却气进气通道一端的进气口6通入冷却气体，并且冷却气体直接连通到清洗压电晶体（PZT）腔内，冷却气体经过工艺腔室后由凹槽5均匀流到环形内腔4内，然后经由与环形内腔4连接的冷却气出气通道一端的出气口7及接头10排除，经过冷却气体这样反复的循环流动，将PZT振动产生的热量带走，从而实现冷却的目的。在压电晶体载体下面设置有密封圈10，以实现密封的作用，将兆声波换能器12腔内的液体与上层气体区隔离开来。起到了密封和冷却的作用。
以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由权利要求限定。
Claims (8)
1.一种兆声波换能器的连接盖，其特征在于，包括：连接盖本体、环形内腔、凹槽、冷却气进气通道和冷却气出气通道，所述环形内腔外侧壁与连接盖本体内侧壁连接，所述凹槽至少为一个，其均匀设置在环形内腔内侧壁上，所述冷却气进气通道一端的进气口设置于连接盖本体上，另一端气口设置于环形内腔内侧壁上，所述冷却气出气通道一端的出气口设置于连接盖本体上，另一端气口设置于环形内腔外侧壁上。
2.如权利要求1所述的连接盖，其特征在于，兆声波换能器的连接盖还包括：位于连接盖本体与兆声波换能器接触端面上的连接螺纹孔以及连接盖本体顶端开设的电缆固定孔。
3.如权利要求1所述的连接盖，其特征在于，所述连接盖本体材料为非金属材料，其外形为任意一个几何形状。
4.如权利要求3所述的连接盖，其特征在于，所述连接盖本体外形为圆柱形、长方柱形或三角柱形。
5.如权利要求3所述的连接盖，其特征在于，所述连接盖本体材料为聚四氟乙烯、聚四氟乙烯烷氧基树脂、聚偏氟乙烯或聚醚醚酮树脂。
6.如权利要求1所述的连接盖，其特征在于，所述设置在所述连接盖本体上的冷却气进气通道一端的进气口和冷却气出气通道一端的出气口不在同一水平线上。
7.如权利要求1所述的连接盖，其特征在于，所述凹槽为任意一个几何形状。
8.如权利要求7所述的连接盖，其特征在于，所述凹槽为半圆形、长方形或正方形。
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