CN202830221U - 一种籽晶杆装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种籽晶杆装置，它包括上籽晶杆、下籽晶杆、第一连接块、第二连接块与撑紧套，所述撑紧套的下段为倒圆锥形，第二连接块的上段与第一连接块为相互配合的半圆柱形，上籽晶杆的下段嵌装在第一连接块与第二连接块的上段内部，下籽晶杆的上段插装在第二连接块的下段内部。本实用新型可方便快捷的将上籽晶杆和下籽晶杆分离，将晶体取出，在绑上籽晶后，其对中心性较好。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体晶体生长设备技术领域，尤其是涉及一种籽晶杆装置。
背景技术
提拉法生长晶体所用的籽晶杆通常由一根一端带有螺纹、另一端割有多道槽的实心杆状结构组成。带螺纹端与旋转提拉装置螺接，带槽端可将铂金丝绑在槽上，做一个接头，然后将绑好籽晶的铂金丝固定到接头上。这种装置存在着较大的缺陷：在晶体生长完成取出时，需要将籽晶杆螺纹端与旋转提拉装置旋开，以便将晶体从炉膛中取出，然而针对大尺寸晶体，在籽晶杆与旋转提拉装置旋开过程中由于晶体的重力作用，籽晶杆螺纹端容易卡死，晶体难以取出，若强行扭转，将对晶体造成影响；另外，将籽晶直接绑于杆上，使籽晶和转动装置之间难于保持同心转动，影响晶体成品率。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种可将籽晶杆与旋转提拉装置轻松装卸、籽晶对中性较好的籽晶杆装置。
按照本实用新型提供的技术方案，所述籽晶杆装置，它包括上籽晶杆、下籽晶杆、第一连接块、第二连接块与撑紧套，第二连接块的上段与第一连接块为相互配合的半圆柱形，上籽晶杆的下段嵌装在第一连接块与第二连接块的上段内部，下籽晶杆的上段插装在第二连接块的下段内部。
所述上籽晶杆的下端部具有下凸台，在上籽晶杆内开设有冷却内腔。
所述下籽晶杆的上端部具有上凸台，在上凸台的外部套接有所述的撑紧环，在上凸台下方的下籽晶杆上套接有撑紧套，所述撑紧套的下段为倒圆锥形。
所述下籽晶杆的下段部为呈3/4圆柱形或者圆台形的籽晶安装段，在籽晶安装段上形成1/4所述圆柱形或者圆台形的籽晶安装缺口，在籽晶安装缺口的籽晶安装段上沿着其周向开设有固定槽。
所述第一连接块与第二连接块配合面形状为L形。
在所述第一连接块上开设有第一连接孔，在第二连接块上开设有第二连接孔，第一连接孔与第二连接孔配合。在第二连接块的下段内腔具有和倒圆锥形撑紧套下段形状配合的内腔面。
在所述下凸台的下端面与上凸台的上端面之间设有垫片。
本实用新型具有如下优点：
1、籽晶杆采用上籽晶杆和下籽晶杆通过由第一、二连接块构成的连接器进行连接的结构，解决了传统籽晶杆与旋转提拉装置旋开过程中由于晶体的重力作用、籽晶杆螺纹端容易卡死、导致晶体难以取出的难题，只需将钼丝松开,并将第二联接块取下，就可方便快捷的将上籽晶杆和下籽晶杆分离，继而将晶体与旋转提拉装置分离，将晶体取出；
2、籽晶杆采用下端为开有多道固定槽的圆柱缺块状结构，在绑上籽晶后，其对中心性较好，防止了籽晶杆在晶体生长过程中摆动对晶体生长质量的影响。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是图1的A—A剖视图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
如图所示：该籽晶杆装置，它包括上籽晶杆1、下籽晶杆2、第一连接块3、第二连接块4与撑紧套5，第二连接块4的上段与第一连接块3为相互配合的半圆柱形，上籽晶杆1的下段嵌装在第一连接块3与第二连接块4的上段内部，下籽晶杆2的上段插装在第二连接块4的下段内部。
所述上籽晶杆1的下端部具有下凸台7，在上籽晶杆1内开设有冷却内腔14，所述冷却内腔14为从上籽晶杆1的上端面沿着上籽晶杆1的轴线从上往下开设的盲孔。
所述下籽晶杆2的上端部具有上凸台8，在上凸台8的外部套接有所述的撑紧环6，在上凸台8下方的下籽晶杆2上套接有撑紧套5，所述撑紧套5的下段为倒圆锥形。
所述下籽晶杆2的下段部为呈3/4圆柱形或者圆台形的籽晶安装段，在籽晶安装段上形成1/4所述圆柱形或者圆台形的籽晶安装缺口9，在籽晶安装缺口9的籽晶安装段上沿着其周向开设有固定槽10。
所述第一连接块3与第二连接块4配合面形状为L形，方便配合安装。
在所述第一连接块3上开设有第一连接孔11，在第二连接块4上开设有第二连接孔12，第一连接孔11与第二连接孔12配合。在第二连接块4的下段内腔具有和倒圆锥形撑紧套5下段形状配合的内腔面。
在所述下凸台7的下端面与上凸台8的上端面之间设有垫片13。
第一连接块3与第二连接块4组合形成连接器，上籽晶杆1与下籽晶杆2在连接器内安装后，上籽晶杆1与下籽晶杆2呈同轴设置。
第一连接块3与第二连接块4的上段内部具有与上籽晶杆1的下段形状配合的内腔。
上籽晶杆1的制作材料为不锈钢，下籽晶杆2、第一连接块3与第二连接块4的制作材料为钨材料、钼或者为钨钼合金。
工作时，先将下籽晶杆2置于第二连接块4的下段内部，再将上籽晶杆1置于连接器的第一连接块3与第二连接块4的上段之间，最后将第一连接块3与第二连接块4的上段通过第一连接孔11与第二连接孔12内穿过的钼丝绑紧结合，使上籽晶杆1和下籽晶杆2紧固于连接器中，进行籽晶生长晶体。生长完成后，将钼丝松开，将第一连接块3直接取下，和旋转提拉装置连接的上籽晶杆1就可以取出，然后依次取出垫片13、撑紧环6和撑紧套5，最后轻松将与下籽晶杆2连接的晶体取出。
Claims (7)
1.一种籽晶杆装置，其特征是：它包括上籽晶杆（1）、下籽晶杆（2）、第一连接块（3）、第二连接块（4）与撑紧套（5），第二连接块（4）的上段与第一连接块（3）为相互配合的半圆柱形，上籽晶杆（1）的下段嵌装在第一连接块（3）与第二连接块（4）的上段内部，下籽晶杆（2）的上段插装在第二连接块（4）的下段内部。
2.如权利要求1所述的籽晶杆装置，其特征是：所述上籽晶杆（1）的下端部具有下凸台（7），在上籽晶杆（1）内开设有冷却内腔（14）。
3.如权利要求1所述的籽晶杆装置，其特征是：所述下籽晶杆（2）的上端部具有上凸台（8），在上凸台（8）的外部套接有所述的撑紧环（6），在上凸台（8）下方的下籽晶（2）上套接有撑紧套（5），所述撑紧套（5）的下段为倒圆锥形。
4.如权利要求1所述的籽晶杆装置，其特征是：所述下籽晶杆（2）的下段部为呈3/4圆柱形或者圆台形的籽晶安装段，在籽晶安装段上形成1/4所述圆柱形或者圆台形的籽晶安装缺口（9），在籽晶安装缺口（9）的籽晶安装段上沿着其周向开设有固定槽（10）。
5.如权利要求1所述的籽晶杆装置，其特征是：所述第一连接块（3）与第二连接块（4）的上段相配合的面形状为L形。
6.如权利要求1所述的籽晶杆装置，其特征是：在所述第一连接块（3）上开设有第一连接孔（11），在第二连接块（4）上开设有第二连接孔（12），第一连接孔（11）与第二连接孔（12）配合，在第二连接块（4）的下段内腔具有和倒圆锥形撑紧套（5）下段形状配合的内腔面。
7.如权利要求2所述的籽晶杆装置，其特征是：在所述下凸台（7）的下端面与上凸台（8）的上端面之间设有垫片（13）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220327813 CN202830221U (zh) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | 一种籽晶杆装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220327813 CN202830221U (zh) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | 一种籽晶杆装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202830221U true CN202830221U (zh) | 2013-03-27 |
Family
ID=47941974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201220327813 Expired - Fee Related CN202830221U (zh) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | 一种籽晶杆装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202830221U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104611765A (zh) * | 2013-11-05 | 2015-05-13 | 有研新材料股份有限公司 | 一种籽晶夹头组件 |
-
2012
- 2012-07-06 CN CN 201220327813 patent/CN202830221U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104611765A (zh) * | 2013-11-05 | 2015-05-13 | 有研新材料股份有限公司 | 一种籽晶夹头组件 |
| CN104611765B (zh) * | 2013-11-05 | 2017-08-08 | 有研半导体材料有限公司 | 一种籽晶夹头组件 |
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