CN202814731U - 一种化学品供应系统用取样箱 - Google Patents
一种化学品供应系统用取样箱 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202814731U CN202814731U CN 201220461958 CN201220461958U CN202814731U CN 202814731 U CN202814731 U CN 202814731U CN 201220461958 CN201220461958 CN 201220461958 CN 201220461958 U CN201220461958 U CN 201220461958U CN 202814731 U CN202814731 U CN 202814731U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chamber door
- described casing
- sampling
- box body
- box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种化学品供应系统用取样箱，包括箱体（1），所述箱体（1）前端面设有箱门（2），所述箱门（2）为透明箱门（2），所述箱门（2）上设有拉手（3），所述箱体（1）与箱门（2）密封连接，所述箱体（1）前端面箱门（2）上方处安装有手动阀（4），所述箱体（1）侧面设有按钮（5），所述箱体（1）的顶端设有进口（6），所述箱体（1）底端开有排气口（7）；本实用新型同现有技术相比，结构简单，设计合理，构思巧妙，不仅能够准确掌握所取样的化学品的容量，而且取样后清洗起来也非常方便，提高了分析结果的准确性。
Description
[技术领域]
本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种化学品供应系统用取样箱。
[背景技术]
随着我国半导体行业的继续发展,芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程前端的化学品供应系统，其工作中的任何问题都可能会造成无法估量的损失,因此为了不断提高化学品供应系统的稳定性和可靠性，半导体制造厂商已越来越重视该制程中的每一个化学品供应设备。根据目前化学品供应系统所使用的情况，将化学品经管路分配至不同的用户端之前，需要对化学品进行取样分析，以保证用户端能够摄取到符合要求的化学品，因此如何能够获得取样分析所需要的化学品，将对提高分析结果的准确性至关重要。而目前，由于无法掌握所取样的化学品的容量，以及取样装置的难以清洗，从而一定程度上造成了对化学品的浪费，也给取样分析工作带来了很大的不便。为了解决此类问题，人们一直在寻求一种更理想的技术解决方案。
[实用新型内容]
本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种化学品供应系统用取样箱，结构简单，设计合理，不仅能够准确掌握所取样的化学品的容量，而且取样后清洗起来也非常方便，提高了分析结果的准确性。
为实现上述目的设计一种化学品供应系统用取样箱，包括箱体1，所述箱体1前端面设有箱门2，所述箱门2为透明箱门2，所述箱门2上设有拉手3，所述箱体1与箱门2密封连接，所述箱体1前端面箱门2上方处安装有手动阀4，所述箱体1侧面设有按钮5，所述箱体1的顶端设有进口6，所述箱体1底端开有排气口7。
所述箱体1内侧下方设置有泄漏侦测器。
所述箱体1与箱门2通过活页8相连，所述箱体1与箱门2之间设有O型密封圈。
所述箱体1内设有取样台9。
本实用新型同现有技术相比，结构新颖、简单，设计合理，由于箱体前端面设有箱门，且该箱门为透明箱门，从而取样人员可以透过该透明箱门观察箱体内取样瓶的取样情况，而在该取样瓶上设置有刻度线，则方便了取样人员准确掌握所取化学品的容量，避免了因无法掌握化学品容量而造成的化学品浪费，且提高了分析结果的准确性；此外，本实用新型所述的取样箱，不仅取样后清洗起来非常方便，而且由于采用手动阀和按钮双重控制方式，从而操作起来非常安全、可靠，值得推广应用。
[附图说明]
图1是本实用新型的结构示意图；
图中：1、箱体 2、箱门 3、拉手 4、手动阀 5、按钮 6、进口 7、排气口 8、活页 9、取样台 10、取样瓶。
[具体实施方式]
下面结合附图对本实用新型作以下进一步说明：
如附图所示，本实用新型包括：箱体1，所述箱体1前端面设有箱门2，所述箱门2为透明箱门2，所述箱门2上设有拉手3，所述箱体1前端面箱门2上方处安装有手动阀4，所述箱体1侧面设有按钮5，所述箱体1的顶端设有进口6，该进口通过管道与化学品供应系统中的阀箱相连，所述箱体1底端开有排气口7，所述箱体1与箱门2通过活页8相连，所述箱体1与箱门2之间设有O型密封圈，利用该O型密封圈实现了箱体与箱门的密封连接，所述箱体1内侧下方设置有泄漏侦测器，该泄漏侦测器的利用，使得即使微小流量的泄露也可以被快速地检测到，从而实现了对现场终端制程设备安全可控的化学品的取样作业。
本实用新型所述的取样箱适用于有机溶剂，其箱体采用SUS材质制成，箱门采用透明玻璃制成，箱体与箱门之间采用O型密封圈密合，箱体内设有取样台9，使用时，首先将取样瓶10置入箱体内的取样台上，并关闭箱门，然后按压按钮,再打开手动阀，待化学品流出并达到所需求的量后,关闭手动阀,放开按钮，然后，打开箱门,盖上取样瓶的瓶盖,最后，取出取样瓶，并清洁取样箱，以待下次取样时使用。
本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种化学品供应系统用取样箱，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）前端面设有箱门（2），所述箱门（2）为透明箱门（2），所述箱门（2）上设有拉手（3），所述箱体（1）与箱门（2）密封连接，所述箱体（1）前端面箱门（2）上方处安装有手动阀（4），所述箱体（1）侧面设有按钮（5），所述箱体（1）的顶端设有进口（6），所述箱体（1）底端开有排气口（7）。
2.如权利要求1所述的化学品供应系统用取样箱，其特征在于：所述箱体（1）内侧下方设置有泄漏侦测器。
3.如权利要求1或2所述的化学品供应系统用取样箱，其特征在于：所述箱体（1）与箱门（2）通过活页（8）相连，所述箱体（1）与箱门（2）之间设有O型密封圈。
4.如权利要求3所述的化学品供应系统用取样箱，其特征在于：所述箱体（1）内设有取样台（9）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220461958 CN202814731U (zh) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 一种化学品供应系统用取样箱 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220461958 CN202814731U (zh) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 一种化学品供应系统用取样箱 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202814731U true CN202814731U (zh) | 2013-03-20 |
Family
ID=47873590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201220461958 Expired - Fee Related CN202814731U (zh) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 一种化学品供应系统用取样箱 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202814731U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105716908A (zh) * | 2016-04-12 | 2016-06-29 | 苏州百硕自动化环保设备有限公司 | 一种污水取样装置 |
-
2012
- 2012-09-11 CN CN 201220461958 patent/CN202814731U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105716908A (zh) * | 2016-04-12 | 2016-06-29 | 苏州百硕自动化环保设备有限公司 | 一种污水取样装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN203824802U (zh) | 一种用于反应釜真空状态下的取样装置 | |
| CN109444070A (zh) | 水中油类含量全自动测量仪 | |
| CN202025009U (zh) | 一种粘度自动连续测试仪 | |
| CN102221487B (zh) | 一种用于主变压器的取油样工具 | |
| CN202814731U (zh) | 一种化学品供应系统用取样箱 | |
| CN202837170U (zh) | 一种用于与原子荧光联用的元素形态分析流路系统 | |
| CN202886139U (zh) | 液态食品用真空取样器 | |
| CN102507274B (zh) | 职业卫生用智能空气自动采样器 | |
| CN208091769U (zh) | 一种常压反应釜密闭取样装置和负压反应釜密闭取样装置 | |
| CN202974872U (zh) | 一种蒸气发生及气液分离系统 | |
| CN205956616U (zh) | 单封闭朝通快速接头 | |
| CN206161642U (zh) | 一种萃取解析装置 | |
| CN212904878U (zh) | 一种土壤酸碱度分析检测装置 | |
| CN102128945B (zh) | 全密闭自动定量进样微量水分测定系统 | |
| CN202506637U (zh) | 自动进样器毛细管清洗装置 | |
| CN211205851U (zh) | 一种混合式污水取样装置 | |
| CN202974750U (zh) | 一种分离富集系统 | |
| CN102632057B (zh) | 自动进样器毛细管清洗装置及方法 | |
| CN205506469U (zh) | 一种用于於浆聚烯烃催化剂的取样装置 | |
| CN202777927U (zh) | 适用于汞电极的汞废液收集的装置 | |
| CN202041406U (zh) | 一种用于主变压器的取油样工具 | |
| CN203178108U (zh) | 一种地下水半挥发性有机物富集装置 | |
| CN205280635U (zh) | 烧结使用的生石灰活性度快速检测仪 | |
| CN209606181U (zh) | 试样制备分离装置 | |
| CN106090493B (zh) | 单封闭朝通快速接头 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130320 Termination date: 20190911 |