CN202803504U - 一种超声喷雾装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于化学气相沉积镀膜前驱液的超声喷雾装置，包括雾化瓶（5）和超声波雾化器（7），其特征在于包括装有液体的雾化水槽（6），雾化水槽（6）内的底部设有超声波雾化器（7），超声波雾化器（7）的正上方设有通过可活动支架（1）固定在雾化水槽中的雾化瓶（5），雾化瓶一侧设有载气接口（2），雾化瓶另一侧设有气体出口（4），雾化瓶顶部设有进液口（3）。本实用新型的有益效果在于提高了连续工作能力和雾化效率，避免了前驱液对超声波雾化器的腐蚀，从一定程度上降低了超声波雾化器的受损率，且更换超声波雾化器时更便捷、安全。

Description

一种超声喷雾装置

技术领域

本实用新型涉及一种用于化学气相沉积（CVD）镀膜前驱液的超声雾化器，尤其是用于浮法玻璃在线化学气相沉积工艺中的前驱液的雾化器。 

背景技术

目前，超声雾化装置通常使用投入式超声波雾化器，工作效率低，且前驱液通常具有一定的腐蚀性，直接接触前驱液容易损坏超声波雾化器，连续工作能力不强，使得这些装置在薄膜制备中的应用有很大的局限。如专利CN101077492A公开了一种超声波汽化器，能够将液体均匀的雾化，具有较高的气化效率。但是，该设备采用的是投入式超声波雾化器，超声波雾化器直接与腐蚀性的溶液接触，易被腐蚀，且在更换以及清洗方面会带来难度，且容易损坏。 

发明内容

本实用新型的目的在于解决现有技术中存在的连续工作能力不强、雾化效率低以及超声波雾化器易被腐蚀的问题。 

本实用新型的目的是通过以下技术手段予以实现的： 

一种超声喷雾装置，包括雾化瓶和超声波雾化器，其特征在于设置一个装有液体的雾化水槽，雾化水槽中设有活动支架，活动支架上连接雾化瓶，超声波雾化器设置在雾化水槽内的底部，超声波雾化器与雾化瓶底部垂直对齐并相距一定距离，雾化瓶的一侧设有载气接口、另一侧设有气体出口，雾化瓶顶部设有进液口。

在上述技术方案的基础上，可以有以下进一步的技术方案： 

可活动支架由活动部和固定部构成，活动部下端设有滑块和限位槽，固定部设有滑槽和滚珠弹簧，滑块与滑槽滑动配合，限位槽与滚珠弹簧定位配合。

所述雾化水槽内装有的液体是蒸馏水、乙醇等，能起到介质及冷却液的作用，可以保证超声波换能器长时间的工作。 

所述雾化瓶材料采用有机玻璃、玻璃、不锈钢等耐腐蚀材料。 

本实用新型的有益效果在于提高了连续工作能力和雾化效率，避免了前驱液对超声波雾化器的腐蚀，从一定程度上降低了超声波雾化器的受损率，且更换超声波雾化器时更便捷、安全。 

下面便结合附图说明和实施例对本实用新型进一步说明。 

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图； 

图2为本实用新型的可活动支架零件的局部剖视示意图。

具体实施方式

如图1所示，一种超声喷雾装置设置一个雾化水槽6，雾化水槽中装有起到介质及冷却液的作用液体，且水槽底部内设有超声波雾化器7，超声波雾化器7的正上方设有耐腐蚀材料制成的雾化瓶5，雾化瓶5通过活动支架1固定在雾化水槽6，雾化瓶一侧设有载气接口2，并与载气瓶通过相应阀门、管道连接，雾化瓶另一侧设有气体出口4，雾化瓶顶部设有进液口3，并与镀膜前驱液瓶通过相应阀门、管道连接。如图2所示，所述可活动支架上1由活动部1a和固定部1b构成，活动部1a下端设有滑块8和限位槽8a，固定部1b设有滑槽1c和一组滚珠弹簧9，滑块8与滑槽1c滑动配合，限位槽8a与滚珠弹簧9定位配合。通过调节可活动支架的升降，用来调节雾化瓶的雾化量。 

工作过程如下： 

镀膜前驱液瓶中一定量的镀膜前驱液通过雾化瓶的进液口3至雾化瓶5中，电源接通后，超声波雾化器7产生的能量通过雾化水槽6中的介质，使雾化瓶5内的前驱液雾化，载气瓶中的载气通过雾化瓶的载气口2至雾化瓶5中，雾化的液体在载气的携带下经过雾化瓶的气体出口4进入输送管道，并通过调节可活动支架1的升降来调节雾化瓶5到超声波雾化器7的距离，调节其雾化量。

Claims (2)

1.一种超声喷雾装置，包括雾化瓶（5）和超声波雾化器（7），其特征在于设置一个装有液体的雾化水槽（6），雾化水槽（6）中设有活动支架（1），活动支架（1）上连接雾化瓶（5），超声波雾化器（7）设置在雾化水槽（6）内的底部，超声波雾化器（7）与雾化瓶（5）底部垂直对齐并相距一定距离，雾化瓶的一侧设有载气接口（2）、另一侧设有气体出口（4），雾化瓶顶部设有进液口（3）。

2.根据权利要求1所述的一种超声喷雾装置，其特征在于可活动支架（1）由活动部（1a）和固定部（1b）构成，活动部下端设有滑块（8）和限位槽（8a），固定部（1b）设有滑槽（1c）和滚珠弹簧（9），滑块（8）与滑槽（1c）滑动配合，限位槽（8a）与滚珠弹簧（9）定位配合。

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