CN202755056U - 镀膜夹具磁框 - Google Patents

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李坡
卞玉
李冬强
高志祥
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Abstract

本实用新型涉及的是一镀膜夹具磁框，其特征是镀膜夹具磁框的四周是磁框边筋1，镀膜夹具磁框内设五条磁框内筋2，所述的磁框边筋1和磁框内筋2上设有若干个小方格，该小方格内放置磁铁。优点：增加了磁铁的密度，将磁铁按照规律排布，使之不对溅射镀膜机内部的磁场分布产生影响。增强了磁框吸附夹具的能力。可在较高温度的镀膜仓内以及传送过程中的震动，使夹具夹紧水晶片，水晶片不产生跑片现象。同时由于未增加磁铁的磁性，磁铁的分布也比传统磁框的磁铁分布更加均匀，磁场的均匀分布未改变溅射银粒子的运动轨迹，保证了镀膜频率的均匀一致性。

Description

镀膜夹具磁框
技术领域
本实用新型涉及的是一种可提高镀膜工序加工能力的镀膜夹具磁框，应用于电子元器件晶体制造领域中的石英晶体谐振器的加工，属于石英电子元器件制作的生产领域。
背景技术
目前，移动通讯、消费电子、汽车影音、IT信息等方面均对电子元器件包括晶体提出更小型化的要求，石英晶体的封装尺寸已由7.0*5.0mm，6.0*3.5mm，5.0*3.2mm，4.0*2.5mm向3.2*2.5mm，2.5*2.0mm，2.0*1.6mm过渡，作为石英晶体核心部件的石英水晶片也必须力求最小化，以适应后续工序小型封装组立的要求。在小型化产品需求日益增加的市场形势下，小型化产品的价格也在逐步降低，这就使得产品在生产的过程中生产能力和合格率必须得到有效提高，以减少成本的损失。而在后续的镀膜工序中，传统的镀膜夹具由于磁铁分布稀疏吸力不强，导致许多水晶片偏离夹具的电极位置或掉出夹具（称为跑片），这就使得镀膜工序的生产能力和合格率大大下降。同时由于在镀膜过程中，设备内溅射银离子是按一定的磁场工作的，不能增加磁铁的磁性，否则会改变溅射银离子的运动轨迹，镀膜频率不均匀。而本技术通过改变镀膜夹具磁铁的分布很好的解决了这一问题。常规的镀膜底框外形如图1、图2所示，图1中小方格部分为放置磁铁位置，磁铁内嵌于磁框中，底部无空洞；圆形位置为镀膜夹具使用的定位销。镀膜的时候两片夹具通过磁铁吸附在磁框上，水晶片在两片夹具中间，镀膜的时候，由于镀膜仓内温度比较高以及传送过程中的震动，使得吸力不强的夹具夹不紧水晶片，导致水晶片跑片。同时由于磁铁分布的不均匀，镀膜过程中溅射银粒子的运动轨迹发生变化，导致了镀膜频率不一致。
发明内容
本实用新型提出的是一种可提高镀膜工序加工能力的镀膜夹具磁框，其目的旨在弥补传统镀膜夹具磁框设计所带来的镀膜工序良率低的缺点，在不影响镀膜质量的前提下提高镀膜工序良率，提高工序加工能力。在传统的磁框设计的基础上增加磁铁的密度，并且将磁铁按照规律排布，使之不对溅射镀膜机内部的磁场分布产生影响。
本实用新型的技术解决方案：其结构是镀膜夹具磁框的四周是磁框边筋，镀膜夹具磁框内设五条磁框内筋，所述的磁框边筋和磁框内筋上设有若干个小方格，该小方格内放置磁铁。
本实用新型的优点：使原来的两条筋变成五条筋，增加了磁铁的密度，增强了磁框吸附夹具的能力。在较高温度的镀膜仓内以及传送过程中的震动，使夹具夹紧水晶片，水晶片不产生跑片现象。同时由于未增加磁铁的磁性，磁铁的分布也比传统磁框的磁铁分布更加均匀，磁场的均匀分布未改变溅射银粒子的运动轨迹，保证了镀膜频率的均匀一致性。在传统的磁框设计的基础上增加磁铁的密度，并且将磁铁按照规律排布，使之不对溅射镀膜机内部的磁场分布产生影响。
附图说明
附图1是传统镀膜夹具磁框的俯视图。
附图2是传统镀膜夹具磁框的仰视图。
附图3是本实用新型的俯视图。
附图4是本实用新型的仰视图。
图中的1是磁框边筋、2是磁框内筋。
具体实施方式
对照附图3、4，其结构是镀膜夹具磁框的四周是磁框边筋1，镀膜夹具磁框内设五条磁框内筋2。所述的磁框边筋1和磁框内筋2上设有若干个小方格，该小方格内放置磁铁。
图3中小方格部分为放置磁铁位置，磁铁内嵌于磁框中，底部为图4中长方形空洞；圆形位置为镀膜夹具使用的定位销。与传统的磁框相比较，这样的设计使原来的两条筋变成五条筋，增加了磁铁的密度，增强了磁框吸附夹具的能力。在较高温度的镀膜仓内以及传送过程中的震动，使夹具夹紧水晶片，水晶片不产生跑片现象。同时由于未增加磁铁的磁性，磁铁的分布也比传统磁框的磁铁分布更加均匀，磁场的均匀分布未改变溅射银粒子的运动轨迹，保证了镀膜频率的均匀一致性。在传统的磁框设计的基础上增加磁铁的密度，并且将磁铁按照规律排布，使之不对溅射镀膜机内部的磁场分布产生影响。

Claims (1)

1.镀膜夹具磁框，其特征是镀膜夹具磁框的四周是磁框边筋，镀膜夹具磁框内设五条磁框内筋，所述的磁框边筋和磁框内筋上设有若干个小方格，该小方格内放置磁铁。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN103710676A (zh) * 2013-12-27 2014-04-09 江苏宇天港玻新材料有限公司 一种用于ogs小片制程的镀膜夹具
CN103817662A (zh) * 2014-02-14 2014-05-28 爱发科豪威光电薄膜科技(深圳)有限公司 金属基片装卡工作台
CN106868468A (zh) * 2016-01-06 2017-06-20 凌嘉科技股份有限公司 镀膜用磁性承载装置

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