CN202735259U

CN202735259U - 一种基板上残留物的检测装置

Info

Publication number: CN202735259U
Application number: CN 201220268701
Authority: CN
Inventors: 阎长江; 姜晓辉
Original assignee: Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd
Priority date: 2012-06-07
Filing date: 2012-06-07
Publication date: 2013-02-13
Anticipated expiration: 2022-06-07

Abstract

本实用新型公开了一种基板上残留物的检测装置，包括检测信号发射源、检测信号接收器和控制器；其中，所述检测信号发射源，用于向基板发射波信号；所述检测信号接收器，用于接收基板所反馈的波信号，并将收到的波信号用于检测残留物的有用信息发送给控制器；所述控制器中预先设置有用于检测残留物的有用信息与物质的材质之间的对应关系，所述控制器用于根据该对应关系确定收到的用于检测残留物的有用信息所对应的物质的材质是否为残留物。本实用新型提供的基板上残留物的检测装置，能够自动实现基板上的残留物检测，相比人工操作而言能够明显提高准确率，减少耗时。

Description

一种基板上残留物的检测装置

技术领域

本实用新型涉及液晶显示技术，特别涉及一种基板上残留物的检测装置。

背景技术

在制造液晶显示器(LCD)的过程中，需要沉积薄膜，再涂覆光刻胶，曝光显影制作图案，然后进行刻蚀工艺得到相应图案，最后再剥离掉光刻胶。这就要求每次的刻蚀工艺后，能够从玻璃基板上完全剥离需要剥离的光刻胶，以免残留的光刻胶等残留物污染沉积设备，影响薄膜的品质。

目前，通常通过肉眼检测玻璃基板上需要剥离的光刻胶是否完全剥离，这种操作方式的准确率低，并且耗时长。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种基板上残留物的检测装置，以提高基板上的残留物检测的准确率。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种基板上残留物的检测装置，该装置包括检测信号发射源、检测信号接收器和控制器；其中，

所述检测信号发射源，用于向基板发射波信号；

所述检测信号接收器，用于接收基板所反馈的波信号，并将收到的波信号中用于检测残留物的有用信息发送给控制器；

所述控制器中预先设置有用于检测残留物的有用信息与物质的材质之间的对应关系，所述控制器用于根据该对应关系确定收到的用于检测残留物的有用信息所对应的物质的材质是否为残留物。

上述方案中，所述检测信号发射源为光源，用于发射光；

所述检测信号接收器为光电传感器，用于接收所述光源被基板反射后所发出的光信号，并将收到的光信号转换为电信号，再将该电信号发送给所述控制器。

上述方案中，所述控制器中预先设置的所述对应关系为：电信号的大小与物质的材质之间的对应关系。

上述方案中，所述光源、光电传感器以及控制器中的任何一个或多个，设置于操控基板的机械手上。

上述方案中，所述检测信号发射源为声波源，用于发射声波；

所述检测信号接收器为频率探测器，用于接收所述声波源经过基板传播后反馈的声波，再将收到的声波的频率发送给控制器。

上述方案中，所述控制器中预先设置的所述对应关系为：

声波在介质中的传播速度与物质的材质之间的对应关系，或

声波频率与物质的材质之间的对应关系。

上述方案中，所述控制器中预先设置的所述对应关系为声波在介质中的传播速度与物质的材质之间的对应关系时，控制器用于：

根据收到的声波频率，基于多普勒效应计算以得到声波在介质中的传播速度，再根据所述对应关系获知计算得到的声波在介质中的传播速度所对应的物质的材质是否为残留物。

上述方案中，所述声波源、频率探测器以及控制器中的任何一个或多个，设置于操控基板的机械手上。

上述方案中，在确定收到的用于检测残留物的有用信息所对应的物质的材质为残留物时，所述控制器还用于发出告警，和/或控制机械手对基板进行操控。

上述方案中，所述检测信号接收器和控制器相连，所述控制器为机械手控制芯片。

可见，由于检测信号发射源能够向基板发射波信号；检测信号接收器能够接收基板所反馈的波信号，并将收到的波信号中用于检测残留物的有用信息发送给控制器；再加上控制器能够根据预先设置的用于检测残留物的有用信息与物质的材质之间的对应关系，确定收到的用于检测残留物的有用信息所对应的物质的材质是否为残留物。因此，本实用新型提供的基板上残留物的检测装置，能够自动实现基板上的残留物检测，相比人工操作而言能够明显提高准确率，减少耗时。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的检测装置检测玻璃基板上残留物的原理示意图；

图2为本实用新型另一实施例的检测装置检测玻璃基板上残留物的原理示意图；

图3为本实用新型一实施例的玻璃基板上残留物的检测装置；

附图标记说明：

1、机械手；2、玻璃基板；3、光源；4、光电传感器；5、控制器；6、声波源；7、频率探测器；8、检测信号发射源；9、检测信号接收器。

具体实施方式

在实际应用中，光照射到物质表面后通常会发生折射和反射。针对不同的物质，所折射的光的光强不同，所反射的光的光强也不同。

基于上述原理，可以进行如图1所示的设置。图1中，在用于操控玻璃基板2的机械手1上设置光源3、光电传感器4和控制器5，光电传感器4可以和控制器5相连。

其中，光源3能够发射光，光源3所发射的光被玻璃基板2反射后由光电传感器4以光信号的形式接收，并且，光电传感器4将收到的光信号转换为电信号，再将该电信号发送给控制器5。

控制器5中预先设置有电信号的大小与物质的材质之间的对应关系，如：大小为a的电信号对应于光刻胶，大小为b的电信号对应于玻璃基板，大小为c的电信号对应于塑料。之所以这样设置，是因为：由于光照射到不同的物质表面(即具有不同材质的物质)后所反射的光的光强不同，再加上不同光强的光被转换成的电信号的大小也不同，这就导致电信号的大小与物质的材质之间存在对应关系，并且不同大小的电信号对应不同材质的物质。因此控制器5在收到来自光电传感器4的电信号之后，就可以根据所述对应关系获知收到的电信号的大小所对应的物质的材质，如：收到大小为a的电信号时，确定该电信号所对应的材质为光刻胶；收到大小为b的电信号时，确定该电信号所对应的材质为玻璃基板；收到大小为c的电信号时，确定该电信号所对应的材质为塑料。

在确定收到的电信号所对应的材质为光刻胶时，控制器5可发出告警，还可以控制机械手1对玻璃基板2进行操控，如：停止运行、取下玻璃基板2等。

需要说明的是，光源3和光电传感器4的位置可以随意设置，只要光源3发出的光被玻璃基板2反射后能顺利被光电传感器4接收即可。

与上述利用光进行检测的原理类似，在实际应用中，声波在不同介质中传播的速度不同。

基于上述原理，可以进行如图2所示的设置。图2中，在用于操控玻璃基板2的机械手1上设置声波源6、频率探测器7和控制器5，频率探测器7可以和控制器5相连，声波源6在发射声波时相对于玻璃基板2具有一定的移动速度。

其中，声波源6能够发射声波，声波源6所发射的声波经过玻璃基板2的传播后由频率探测器7接收，频率探测器7再将收到的声波的频率发送给控制器5。

控制器5中预先设置有声波在介质中的传播速度与物质的材质(即前述的介质)之间的对应关系，如：大小为x的声波传播速度对应于光刻胶(即经过光刻胶传播后的声波传播速度为x)，大小为y的声波传播速度对应于玻璃基板(即经过玻璃基板传播后的声波传播速度为y)，大小为z的声波传播速度对应于塑料(即经过塑料传播后的声波传播速度为z)。之所以这样设置，是因为：根据多普勒效应，可以得到以下的公式(1)：

m＝u*f/(u-s) (1)

其中，声波源6发出的声波的频率为f，声波源6发出的声波在介质中的传播速度为u，声波源6相对于玻璃基板2的移动速度为s，频率探测器7接收到的声波的频率为m。

可见，基于公式(1)以及已知的上述参数m、f和s，控制器5通过计算可以得到声波在介质中的传播速度u。这样，控制器5就可以根据所述对应关系获知计算得到的声波在介质中的传播速度u所对应的物质的材质，如：根据收到的大小为A的声波频率计算得到声波传播速度为x，确定该声波传播速度x所对应的材质为光刻胶；根据收到的大小为B的声波频率计算得到声波传播速度为y，确定该声波传播速度y所对应的材质为玻璃基板；根据收到的大小为C的声波频率计算得到声波传播速度为z，确定该声波传播速度z所对应的材质为塑料。

根据声波频率计算得到的声波传播速度所对应的材质为光刻胶时，控制器5可发出告警，还可以控制机械手1对玻璃基板2进行操控，如：停止运行、取下玻璃基板2等。

根据以上描述可知，控制器5中也可以预先设置有声波频率与物质的材质(即前述的介质)之间的对应关系，控制器5能够根据该对应关系确定收到的声波频率所对应的材质是否为光刻胶。

需要说明的是，声波源6和频率探测器7的位置可以随意设置，只要声波源6发出的声波在经过玻璃基板2传播后能顺利被频率探测器7接收即可。如：频率探测器7靠近玻璃基板2设置。另外，由于超声波的波长比普通声波短，能够透过不透明物质，并且具有较好的方向性，因此声波源6所发出的声波通常为超声波。

结合图1、2可以得到如图3所述的设置方式，图3中，在用于操控玻璃基板2的机械手1上设置检测信号发射源8(可以是光源3、声波源6等)、检测信号接收器9(可以是光电传感器4、频率探测器7等)和控制器5，检测信号接收器9可以和控制器5相连。

其中，检测信号发射源8能够向玻璃基板2发射波信号(如光波、或声波)，检测信号接收器9能够接收玻璃基板2所反馈的波信号，并将收到的波信号中用于检测光刻胶的有用信息(如由光信号转换成的电信号的大小、或声波的频率)发送给控制器5。

控制器5中预先设置有用于检测光刻胶的有用信息与物质的材质之间的对应关系，因此可以根据该对应关系确定收到的用于检测光刻胶的有用信息所对应的物质的材质是否为光刻胶。在确定收到的用于检测光刻胶的有用信息所对应的物质的材质为光刻胶时，控制器5可发出告警，还可以控制机械手1对玻璃基板2进行操控，如：停止运行、取下玻璃基板2等。

需要说明的是，检测信号发射源8和检测信号接收器9的位置可以随意设置，只要检测信号发射源8能够向玻璃基板2发射波信号，并且检测信号接收器9能够顺利接收玻璃基板2所反馈的波信号即可。并且，控制器5可以是目前常用的机械手控制芯片等。再有，检测信号发射源8、检测信号接收器9和控制器5中的任何一个或多个均可设置于机械手1以外的其它位置，如：设置在安装有机械手1的工作台上；无论设置位置如何，只要检测信号发射源8、检测信号接收器9和控制器5能够按照以上所述顺利工作即可。

另外，以上描述只是以光刻胶为例，实际上，玻璃基板上可能有其它的需要清除的残留物(如塑料、水等)；在这种情况下，具体的操作方式与前述的图1、2、3中的操作方式类似，在此不再赘述。

以上只是以玻璃基板为例对本实用新型的具体实现进行说明，实际上本实用新型提供的技术方案还可以应用于柔性基板等其它基板。

综上所述可见，本实用新型提供的基板上残留物的检测装置，能够自动实现基板上的残留物检测，相比人工操作而言能够明显提高准确率，减少耗时。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种基板上残留物的检测装置，其特征在于，该装置包括检测信号发射源、检测信号接收器和控制器；其中，

所述检测信号发射源，用于向基板发射波信号；

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述检测信号发射源为光源，用于发射光；

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述控制器中预先设置的所述对应关系为：电信号的大小与物质的材质之间的对应关系。

4.根据权利要求2或3所述的装置，其特征在于，所述光源、光电传感器以及控制器中的任何一个或多个，设置于操控基板的机械手上。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述检测信号发射源为声波源，用于发射声波；

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述控制器中预先设置的所述对应关系为：

声波在介质中的传播速度与物质的材质之间的对应关系，或

声波频率与物质的材质之间的对应关系。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述控制器中预先设置的所述对应关系为声波在介质中的传播速度与物质的材质之间的对应关系时，控制器用于：

8.根据权利要求5至7任一项所述的装置，其特征在于，

所述声波源、频率探测器以及控制器中的任何一个或多个，设置于操控基板的机械手上。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在确定收到的用于检测残留物的有用信息所对应的物质的材质为残留物时，所述控制器还用于发出告警，和/或控制机械手对基板进行操控。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述检测信号接收器和控制器相连，所述控制器为机械手控制芯片。