CN202730309U - 单晶硅棒粘接机 - Google Patents
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Abstract
单晶硅棒粘接机,涉及一种机械设备,具体为一种单晶硅棒粘接机。主要包括粘接机底座、横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨、第二左右横移直线导轨、加热冷却横移导轨、晶座装卸固定立座、硅棒校准横移尾座、第一晶棒夹持装置、第二晶棒夹持装置、电加热装置和冷却风机;粘接机底座水平布置,横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨、第二左右横移直线导轨、加热冷却横移导轨依次横向固定在粘接机底座上;本实用新型结构简单、操作方便,可快速找准圆心,确保晶座和单晶硅圆棒同心度一致;同时在底座上安装有风机,通过分机对晶座和单晶硅圆棒的胶接端进行冷却,缩短了胶接后的冷却时间。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种机械设备,具体为一种单晶硅棒粘接机。
背景技术
单晶硅棒粘接机主要用于单晶硅棒的粘接,是硅棒进行线开放作业前最严格的工序,对其精度的要求极高。现有单晶硅棒粘接机的精度不高、运行不平稳,产品合格率较低。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种结构简单、操作方便、可快速找准圆心并定位的单晶棒粘接机。
实现上述目的的技术方案是:单晶硅棒粘接机,其特征在于:主要包括粘接机底座、横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨、第二左右横移直线导轨、加热冷却横移导轨、晶座装卸固定立座、硅棒校准横移尾座、第一晶棒夹持装置、第二晶棒夹持装置、电加热装置和冷却风机;粘接机底座水平布置,横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨、第二左右横移直线导轨、加热冷却横移导轨依次横向固定在粘接机底座上;晶座装卸固定立座固定连接在粘接机底座的左侧,晶座装卸固定立座的上部中心设有T型螺栓导向孔,T型螺栓导向孔内穿置有晶座固定用T型螺栓;所述第一晶棒夹持装置置于晶座装卸固定立座右侧,第一晶棒夹持装置主要包括硅棒夹持装置底座、硅棒夹持装置立板、左夹具、右夹具、丝杆、丝杆螺母、左、右夹具前后横移直线导轨和左、右夹具前后横移直线导轨滑块;第一晶棒夹持装置的底部固定连接有第一夹持装置滑块,通过底部的第一夹持装置滑块将第一夹持装置布置在横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨和第二左右横移直线导轨上,布置在固定杆上的第一夹持装置滑块的外侧设有硅晶棒夹持装置锁紧螺母,用于限定第一晶棒夹持装置的位置;硅棒夹持装置立板垂直固定在硅棒夹持装置底座上,硅棒夹持装置立板的右侧下部固定连接有纵向布置的左、右夹具前后横移直线导轨,左右夹、具前后横移直线导轨的左右两侧分别设有前后横移直线导轨滑块,左侧的前后横移直线导轨滑块上固定连接左夹具,右侧的前后横移直线导轨滑块上固定连接右夹具;在夹持装置前后横移直线导轨上方的硅棒夹持装置立板上固定连接有纵向布置的丝杆,丝杆两侧的螺纹相反,丝杆的外端固定连接有手柄,丝杆两侧分别设有丝杆螺母,左侧的丝杆螺母和左夹具固定连接,右侧的丝杆螺母和右夹具固定连接;第二晶棒夹持装置布置在第一夹持装置的右侧,第二晶棒夹持装置和第一晶棒夹持装置相对布置,并且结构与第一晶棒夹持装置相同;所述硅棒校准横移尾座布置在第二晶棒夹持装置的右侧,活动委座的下端设有活动委座滑块,通过活动委座滑块将活动委座布置在第一左右横移直线导轨和第二左右横移直线导轨上,活动硅棒校准横移尾座的上部中心设有校准座螺栓导向孔,校准座螺栓导向孔内容穿置有校准座固定用T型螺栓;所述风机底端固定连接有风机滑块,风机通过风机滑块布置在加热冷却横移导轨上,所述电加热装置包括支架和加热板,加热板铰连接于支架上,支架底端设有支架滑块,加热装置通过支架滑块布置在加热冷却横移导轨上。
本实用新型结构简单、操作方便,可快速找准圆心,确保晶座和单晶硅圆棒同心度一致;同时在底座上安装有风机,通过分机对晶座和单晶硅圆棒的胶接端进行冷却,缩短了胶接后的冷却时间。
附图说明
图1为本实用新型的立体图;
图2为本实用新型的主视图。
具体实施方式
如图1、2所示,单晶硅棒粘接机,主要包括粘接机底座1、横移锁紧杆2、第一左右横移直线导轨4、第二左右横移直线导轨3、加热冷却横移导轨5、晶座装卸固定立座6、硅棒校准横移尾座7、第一晶棒夹持装置8、第二晶棒夹持装置9、电加热装置10和冷却风机11;粘接机底座水平布置1,横移锁紧杆2、第一左右横移直线导轨4、第二左右横移直线导轨3、加热冷却横移导轨5依次横向固定在粘接机底座1上;
晶座装卸固定立座6固定连接在粘接机底座1的左侧,晶座装卸固定立座6的上部中心设有T型螺栓导向孔36,T型螺栓导向孔36内穿置有晶座固定用T型螺栓13;
所述第一晶棒夹持装置8置于晶座装卸固定立座6右侧,第一晶棒夹持装置8主要包括硅棒夹持装置底座16、硅棒夹持装置立板17、左夹具18、右夹具19、丝杆20、丝杆螺母21和22、左、右夹具前后横移直线导轨23,左、右夹具前后横移直线导轨滑块24和25;第一晶棒夹持装置8的底部固定连接有第一晶棒夹持装置滑块26,通过底部的第一晶棒夹持装置滑块26将第一夹持装置布置在横移锁紧杆2、第一左右横移直线导轨4和第二左右横移直线导轨3上,布置在横移锁紧杆2上的第一晶棒夹持装置滑块27的外侧设有硅晶棒夹持装置锁紧螺母28,用于限定第一晶棒夹持装置26的位置;硅棒夹持装置立板17垂直固定在硅棒夹持装置底座16上,硅棒夹持装置立板17的右侧下部固定连接有纵向布置的左、右夹具前后横移直线导轨23,左右夹、具前后横移直线导轨23的左右两侧分别设有前后横移直线导轨滑块24和25,左侧的前后横移直线导轨滑块24上固定连接左夹具18,右侧的前后横移直线导轨滑块25上固定连接右夹具19;在夹持装置前后横移直线导轨23上方的硅棒夹持装置立板17上固定连接有纵向布置的丝杆20,丝杆20两侧的螺纹相反,丝杆20的外端固定连接有手柄29,丝杆20两侧分别设有丝杆螺母21和22,左侧的丝杆螺母21和左夹具18固定连接,右侧的丝杆螺母22和右夹具19固定连接;
第二晶棒夹持装置9布置在第一夹持装置8的右侧,第二晶棒夹持装置9和第一晶棒夹持装置8相对布置,并且结构与第一晶棒夹持装置8相同;
所述硅棒校准横移尾座7布置在第二晶棒夹持装置9的右侧,硅棒校准横移尾座7的下端设有硅棒校准横移尾座滑块30,通过硅棒校准横移尾座滑块30将硅棒校准横移尾座7布置在第一左右横移直线导轨4和第二左右横移直线导轨3上,硅棒校准横移尾座7的上部中心设有校准座螺栓导向孔31,校准座螺栓导向孔内31穿置有校准座固定用T型螺栓32;
所述冷却风机11和电加热装置10通过底部滑块33置于加热冷却横移导轨5上,所述电加热装置10包括支架34和电加热板35,加热板25铰连接于支架34上。
Claims (1)
1.单晶硅棒粘接机,其特征在于:主要包括粘接机底座、横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨、第二左右横移直线导轨、加热冷却横移导轨、晶座装卸固定立座、硅棒校准横移尾座、第一晶棒夹持装置、第二晶棒夹持装置、电加热装置和冷却风机;粘接机底座水平布置,横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨、第二左右横移直线导轨、加热冷却横移导轨依次横向固定在粘接机底座上;晶座装卸固定立座固定连接在粘接机底座的左侧,晶座装卸固定立座的上部中心设有T型螺栓导向孔,T型螺栓导向孔内穿置有晶座固定用T型螺栓;所述第一晶棒夹持装置置于晶座装卸固定立座右侧,第一晶棒夹持装置主要包括硅棒夹持装置底座、硅棒夹持装置立板、左夹具、右夹具、丝杆、丝杆螺母、左、右夹具前后横移直线导轨和左、右夹具前后横移直线导轨滑块;第一晶棒夹持装置的底部固定连接有第一晶棒夹持装置滑块,通过底部的第一晶棒夹持装置滑块将第一晶棒夹持装置布置在横移锁紧杆、第一左右横移直线导轨和第二左右横移直线导轨上,布置在横移锁紧杆上的第一晶棒夹持装置滑块的外侧设有硅晶棒夹持装置锁紧螺母,用于限定第一晶棒夹持装置的位置;硅棒夹持装置立板垂直固定在硅棒夹持装置底座上,硅棒夹持装置立板的右侧下部固定连接有纵向布置的左、右夹具前后横移直线导轨,左右夹、具前后横移直线导轨的左右两侧分别设有前后横移直线导轨滑块,左侧的前后横移直线导轨滑块上固定连接左夹具,右侧的前后横移直线导轨滑块上固定连接右夹具;在夹持装置前后横移直线导轨上方的硅棒夹持装置立板上固定连接有纵向布置的丝杆,丝杆两侧的螺纹相反,丝杆的外端固定连接有手柄,丝杆两侧分别设有丝杆螺母,左侧的丝杆螺母和左夹具固定连接,右侧的丝杆螺母和右夹具固定连接;第二晶棒夹持装置布置在第一夹持装置的右侧,第二晶棒夹持装置和第一晶棒夹持装置相对布置,并且结构与第一晶棒夹持装置相同;所述硅棒校准横移尾座布置在第二晶棒夹持装置的右侧,硅棒校准横移尾座的下端设有硅棒校准横移尾座滑块,通过硅棒校准横移尾座滑块将硅棒校准横移尾座布置在第一左右横移直线导轨和第二左右横移直线导轨上,硅棒校准横移尾座的上部中心设有校准座螺栓导向孔,校准座螺栓导向孔内穿置有校准座固定用T型螺栓;所述冷却风机和电加热装置通过底部滑块置于加热冷却横移导轨上,所述电加热装置包括支架和电加热板,加热板铰连接于支架上。
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CN104235265A (zh) * | 2014-09-03 | 2014-12-24 | 苏州震昇机电设备有限公司 | 一种圆带粘接机 |
CN105014536A (zh) * | 2015-08-14 | 2015-11-04 | 麦斯克电子材料有限公司 | 一种晶棒滚磨前对中装置 |
CN106350871A (zh) * | 2016-11-16 | 2017-01-25 | 晶科能源有限公司 | 一种单晶粘胶设备 |
CN111452236A (zh) * | 2020-04-16 | 2020-07-28 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 晶棒粘接方法及晶棒粘接装置 |
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2012
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