CN202725524U - 板式pecvd硅片碎片清理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种板式PECVD硅片碎片清理装置，该装置包括手柄和清洁部，所述清洁部与手柄固定连接，所述清洁部包括左右两支分叉，分叉间分别穿设有主动轴和从动轴，所述主动轴一端设有用于驱动主动轴转动的电机，所述从动轴上绕设有胶面向外的胶带卷，所述胶带卷的自由端与主动轴固定，所述手柄上设有用于控制电机转动的开关。本实用新型清理装置结构简单，成本低廉，可靠性高，可反复使用，设置的胶带卷可以清理较大量的碎片而无需多次来回，提高了清理效率，同时避免了多次来回引起机台污染。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种次品清理装置，特别是涉及一种太阳能电池生产中清理板式PECVD装置内硅片碎片的清理装置。
背景技术
通过减少太阳能电池正表面的反射，以及对晶体硅表面进行钝化处理以降低表面缺陷对于少数载流子的复合作用可以提高晶体硅太阳能电池的效率。SiNx膜的折射率介于1.9至2.3之间，适合用于硅与空气间的可见光减反射设计，同时硅表面的大量悬挂键，对于N型发射区的非平衡载流子具有很强的吸引力，因此SiNx膜制备在硅表面时可减少可见光的反射并具有钝化作用。制备SiNx膜通常可采用等离子增强化学气相沉积(PECVD法)，在管式PECVD系统中，使用扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。板式PECVD系统中，多片硅片放置在石墨或者碳纤维架上放入金属沉积腔室内，腔室中平板电极与支架形成放电回路，分解SiH4中的Si和H，以及NH3中的N形成SiNx沉积到硅表面。管式系统中采用真空吸附技术吸附已镀膜硅片，当出现硅片碎片时，吸附装置可将碎片一并吸取清理干净，而板式系统中由于硅片直接放置于支架上进行沉积镀膜，出现碎片时往往需要停机进行人工手工挑选清理，这样的清理方式耗时时间较长，同时根据操作人员的操作水平及认真程度不同容易造成良品硅片的污染或者支架台面的污染，如为板式PECVD系统单独配备真空吸附系统则大大增强了生产成本。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种可快速清理板式PECVD机台上硅片碎片的清理装置，解决人工手工挑选清理耗时时间长，容易污染机台与良品硅片，导致效率低下的问题。
本实用新型的技术方案是这样的：一种板式PECVD硅片碎片清理装置，其特征在于：该装置包括手柄和清洁部，所述清洁部与手柄固定连接，所述清洁部包括左分叉和右分叉，左分叉和右分叉之间分别穿设有主动轴和从动轴，所述主动轴一端设有用于驱动主动轴转动的电机，所述从动轴上绕设有胶面向外的胶带卷，所述胶带卷的自由端与主动轴固定，所述手柄上设有用于控制电机转动的开关。
为了方便操作人员准确控制清理装置清理碎片而尽可能减小影响区域，所述清洁部与手柄呈折角α固定连接，α为30～90°。
进一步地，所述手柄为多节可调长度手柄。
本实用新型所提供的技术方案的优点在于，清理装置结构简单，成本低廉，可靠性高，可反复使用，设置的胶带卷可以清理较大量的碎片而无需多次来回，提高了清理效率，同时避免了多次来回引起机台污染。设置的多节可调长度手柄以及清洁部与手柄呈一折角连接，方便工作人员清理不同距离的碎片，并且避免了远距离工作时，清理装置与机台接触角度过小而可能发生的粘结到机台表面或者其他良品硅片的问题。
附图说明
图1为本实用新型中清洁部结构示意图；
图2为本实用新型中另一种清洁部结构示意图；
图3为本实用新型结构示意图；
图4为本实用新型中手柄为折叠式结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为对本实用新型的限定。
实施例1：
请参见图1及图3，板式PECVD硅片碎片清理装置包括手柄1和清洁部2，清洁部2与手柄1呈45°折角固定连接，或者以30～90°中的其他角度固定连接，清洁部2包括左分叉21和右分叉22，两支分叉的头部之间穿设有主动轴3，两支分叉的中部之间穿设从动轴4，主动轴3一端设有用于驱动主动轴3转动的电机31，从动轴4上绕有胶带卷5，胶带卷5用于粘结碎片6，故胶带卷5的胶面向外设置，胶带卷的自由端51与主动轴3固定，手柄1为多节伸缩式，其长度可调，方便工作人员控制操作距离，手柄1上设有用于控制电机31转动的开关7。工作时，工作人员手握手柄，将清理装置伸向需要清理随便的机台部位，用主动轴处胶带粘结清理碎片，随后按动开关，电机带动主动轴转动一定角度，胶带逐渐由从动轴松出，绕于主动轴上，主动轴上粘有碎片的胶带被新胶带包裹住即可进行下一处碎片的清理，由于碎片和胶带一起被包裹住，所以清理后碎片不易掉落造成二次污染。
实施例2：
请参见图2及图4，板式PECVD硅片碎片清理装置包括手柄1和清洁部2，清洁部2与手柄1呈45°折角固定连接，或者以30～90°中的其他角度固定连接，清洁部2包括左分叉21和右分叉22，两支分叉的中部之间穿设有主动轴3，两支分叉的头部之间穿设从动轴4，主动轴3一端设有用于驱动主动轴3转动的电机31，从动轴4上绕有胶带卷5，胶带卷5用于粘结碎片6，故胶带卷5的胶面向外设置，胶带卷5的自由端51与主动轴3固定，手柄1为多节折叠式，其长度可调，方便工作人员控制操作距离，手柄1上设有用于控制电机31转动的开关7。工作时，工作人员手握手柄，将清理装置伸向需要清理随便的机台部位，用从动轴处胶带粘结清理碎片，随后按动开关，电机带动主动轴转动一定角度，胶带逐渐由从动轴松出，绕于主动轴上，同时粘有碎片的胶带也逐渐由从动轴处绕于主动轴，从动轴上胶带又可清理下一处碎片。该实施例在清理时使用从动轴胶带粘结碎片，清理后碎片随胶带被主动轴卷起，下一次清理时仍然由从动轴处胶带完成，每次清理时都可保证胶带与碎片的接触面平整，清理效果较佳。
Claims (3)
1.一种板式PECVD硅片碎片清理装置，其特征在于：该装置包括手柄(1)和清洁部(2)，所述清洁部(2)与手柄(1)固定连接，所述清洁部(2)包括左分叉(21)和右分叉(22)，左分叉和右分叉之间分别穿设有主动轴(3)和从动轴(4)，所述主动轴(3)一端设有用于驱动主动轴(3)转动的电机(31)，所述从动轴(4)上绕设有胶面向外的胶带卷(5)，所述胶带卷(5)的自由端(51)与主动轴(3)固定，所述手柄(1)上设有用于控制电机(31)转动的开关(7)。
2.根据权利要求1所述的板式PECVD硅片碎片清理装置，其特征在于，所述清洁部(2)与手柄(1)呈折角α固定连接，α为30～90°。
3.根据权利要求1所述的板式PECVD硅片碎片清理装置，其特征在于，所述手柄(1)为多节可调长度手柄。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 201220415034 CN202725524U (zh) | 2012-08-21 | 2012-08-21 | 板式pecvd硅片碎片清理装置 |
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| CN 201220415034 CN202725524U (zh) | 2012-08-21 | 2012-08-21 | 板式pecvd硅片碎片清理装置 |
Publications (1)
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| CN202725524U true CN202725524U (zh) | 2013-02-13 |
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| CN (1) | CN202725524U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112428076A (zh) * | 2020-12-09 | 2021-03-02 | 蚌埠中光电科技有限公司 | 一种玻璃基板破片清理装置 |
| CN113416946A (zh) * | 2021-06-22 | 2021-09-21 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | Pecvd双舟系统及其碎片检测方法 |
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2012
- 2012-08-21 CN CN 201220415034 patent/CN202725524U/zh not_active Expired - Fee Related
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