CN202709026U - 一种可调节的红外线灯组及加热装置 - Google Patents

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魏景峰
刘�东
龙睿芬
李一吾
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Abstract

本实用新型公开了一种可调节的红外线灯组，涉及半导体工艺技术领域。所述灯组包括：固定管、加热器、角度调节架、纵向调节架；固定管固定在外延腔室内；加热器设置在固定管的内部；角度调节架的中部连接加热器，下部滑动连接纵向调节架的下部，用于调节加热器与固定管间夹角；纵向调节架的上部滑动连接固定管，用于调节加热器相对固定管的纵向位移。所述灯组及加热装置，通过角度调节架和纵向调节架，可以方便地调节加热器与待加热晶体间的距离和角度，从而可以方便地调节所述加热器的加热功率和辐射范围，能够作为双面灯的补偿热源，使晶体受热更加均匀，从而得到性质均匀、高质量的外延层。

Description

一种可调节的红外线灯组及加热装置
技术领域
本实用新型涉及半导体工艺技术领域，特别涉及一种可调节的红外线灯组及加热装置。
背景技术
外延是指在单晶衬底上生长一层新单晶的技术，新单晶的晶向取决于衬底，由衬底向外外延而成。为了保证得到高质量的外延层，必须控制好各种工艺参数，其中最关键的参数就是工艺中衬底的温度。温度影响电阻率的均匀性，源气体反应需要特定的温度，如果衬底表面温度改变，不仅外延层不均匀而且晶体性质也不均匀，轻微的温度不均匀会导致晶体滑移。为了达到反应温度要求，外延腔室采用双面灯加热方式，加热灯管为上下交叉平行分布。由于外延腔室的特殊结构需求，在旋转升降轴附近的基座所获得的热源较少，容易导致晶体受热不均匀，影响了外延层的均匀性。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题是：如何提供一种可调节的红外线灯组及加热装置，以作为双面灯的补偿热源，使晶体受热更加均匀。
(二)技术方案
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可调节的红外线灯组，其包括：固定管、加热器、角度调节架、纵向调节架；
所述固定管固定在外延腔室内；
所述加热器设置在所述固定管的内部；
所述角度调节架的中部连接所述加热器，下部滑动连接所述纵向调节架的下部，用于调节所述加热器与所述固定管间夹角；
所述纵向调节架的上部滑动连接所述固定管，用于调节所述加热器相对所述固定管的纵向位移。
优选地，所述纵向调节架的下部沿横向设置有弧形槽孔；所述角度调节架的下部通过螺栓与所述弧形槽孔滑动连接；所述弧形槽孔上设置有刻度。
优选地，所述固定管上设置有长圆孔，所述纵向调节架的上部通过螺栓与所述长圆孔滑动连接。
优选地，所述灯组还包括反光杯和灯座；所述反光杯的下部连接所述角度调节架的上部，所述加热器设置在所述反光杯的中部；所述加热器的下部通过所述灯座连接所述角度调节架的中部。
优选地，所述固定管和反光杯整体镀金，并且镀金膜的厚度不小于2.5微米。
优选地，所述加热器采用卤素灯。
优选地，所述角度调节架和纵向调节架均采用不锈钢或者铝合金。
本实用新型还提供一种采用所述可调节的红外线灯组的加热装置，所述加热装置包括至少一对所述灯组，并且每对中的两个所述灯组呈镜像对称设置。
优选地，所述加热装置包括两对所述灯组，相邻所述灯组通过连接架互相连接。
优选地，所述加热装置通过所述连接架连接外延腔室；所述连接架整体镀金，并且镀金膜的厚度不小于2.5微米。
(三)有益效果
本实用新型的可调节的红外线灯组及加热装置，通过所述角度调节架和所述纵向调节架，可以方便地调节所述加热器与待加热晶体间的距离和角度，从而可以方便地调节所述加热器的加热功率和辐射范围，能够作为双面灯的补偿热源，使晶体受热更加均匀，从而得到性质均匀、高质量的外延层。
附图说明
图1是本实用新型实施例所述可调节的红外线灯组的前向结构示意图；
图2是本实用新型实施例所述可调节的红外线灯组的后向结构示意图；
图3是本实用新型实施例所述可调节的红外线灯组的局部结构示意图；
图4是本实用新型实施例所述可调节的红外线灯组的剖视图；
图5是本实用新型实施例所述加热装置的主视图；
图6是本实用新型实施例所述加热装置的俯视图；
图7是本实用新型实施例所述加热装置的剖视图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
硅的化学气相沉积外延生长原理是，在高温(大于1100℃)的衬底上输送硅的化合物(SiHCl3、SiH2Cl2或SiH4等)利用氢(H2)在衬底上通过还原反应淀积硅外延薄膜。为了达到高温要求，可以通过电阻加热、感应加热、光加热来使晶体温度升高。在这些加热方法中，光加热是一种高效的加热方式。卤素加热管是将卤素灯管所放射出来的光作为热加以利用。卤素加热管所释放出来的光基本上都是肉眼看不见的红外线，作为热源，这是一种非常高效的能量源。另外，通过卤素加热管进行的加热具有适应性强，易于操控，清洁安全，装置体积小且重量轻等优点。根据上述原理，本实用新型提出一种可调节的红外线灯组及加热装置，以作为补偿热源，为晶体提供集中热能来补充上下灯组的热源不足。
图1是本实用新型实施例所述可调节的红外线灯组的前向结构示意图；图2是本实用新型实施例所述可调节的红外线灯组的后向结构示意图；图3是本实用新型实施例所述可调节的红外线灯组的局部结构示意图；图4是本实用新型实施例所述可调节的红外线灯组的剖视图。参见图1、2、3、4，所述灯组包括：固定管1、加热器2、反光杯3、角度调节架4、纵向调节架5和灯座6。
具体地，所述固定管1固定在外延腔室内，用于将所述灯组固定在待加热晶体的下方。所述加热器2设置在所述固定管1的内部。所述反光杯3设置在所述固定管1和所述加热器2之间，下部中央位置设置有开口，所述加热器2的下部穿过所述开口后连接所述灯座6。所述角度调节架4的上部连接所述反光杯3的下部，中部连接所述灯座6，下部通过螺栓滑动连接所述纵向调节架5，用于调节所述加热器2与所述固定管1间的夹角。所述纵向调节架5的上部通过螺栓滑动连接所述固定管1，用于调节所述加热器2相对所述固定管1的纵向位移。
参见图2，所述固定管1的上部设置有缺口11，以便所述加热器2对晶体进行热辐射。所述固定管1的下部设置有长圆孔12，所述纵向调节架5的上部通过螺栓滑动连接所述长圆孔12。当所述纵向调节架5向上滑动时带动所述加热器2向上移动，进而所述加热器2靠近待加热晶体，提高加热功率；反之，可以降低加热功率。所述纵向调节架5的下部设置有弧形槽孔51，所述角度调节架4的下部通过螺栓与所述弧形槽孔51滑动连接，通过调节所述角度调节架4的下部在所述弧形槽孔51中的位置，可以改变所述加热器2的辐射方向。参见图1和图4，所述弧形槽孔51的上方设置有刻度1～6，以便更准确地调节所述角度调节架4。
其中，所述固定管1和反光杯3整体镀金，并且镀金膜的厚度不小于2.5微米。所述反光杯3的内表面为曲面，优选为抛物面，可以把红外光反射成平行光，有利于加热的均匀性。所述加热器2采用卤素灯。所述角度调节架4、所述纵向调节架5和所述灯座6下部的灯座支撑柱均采用不锈钢或者铝合金。所述灯座6下部的灯座线夹整体镀金，镀金膜厚度不小于1.5微米。
图5是本实用新型实施例所述加热装置的主视图；图6是本实用新型实施例所述加热装置的俯视图；图7是本实用新型实施例所述加热装置的剖视图。参见图5、图6和图7，所述加热装置包括两对所述灯组，并且每对中的两个所述灯组呈镜像对称设置。本领域技术人员容易想到，所述加热装置还可以只采用一对所述灯组或者是采用三对及更多对所述灯组。
具体地，相邻所述灯组通过连接架7互相连接；所述加热装置还通过所述连接架7连接所述外延腔室，设置在待加热晶体的下方；所述连接架7整体镀金，并且镀金膜的厚度不小于2.5微米。
参见图7，成对设置的所述灯组中，左侧的所述弧形槽孔51和右侧的所述弧形槽孔51呈镜面对称结构，并且在一条直线上，这样可以保证调节角度时两边刻度可以同时看见。调节左边所述角度调节架4至左侧所述弧形槽孔51的刻度1处，调节右边所述角度调节架4至右侧所述弧形槽孔51的刻度6处时，两个所述灯组角度最大，所加热的范围最窄；调节左边所述角度调节架4至左侧所述弧形槽孔51的刻度6处，调节右边所述角度调节架4至右侧所述弧形槽孔51的刻度1处时，两个所述灯组角度最小，所加热的范围最宽。如图7所示，当左边所述角度调节架4至左侧所述弧形槽孔51的刻度3处，当右边所述角度调节架4至右侧所述弧形槽孔51的刻度4处时，两个所述灯组与竖直方向间夹角均为25°。可以看到，通过改变所述角度调节架4的下部在所述弧形槽孔51中位置，可以改变所述加热器2的加热范围的大小。
本实用新型所述的可调节的红外线灯组及加热装置，通过所述角度调节架和所述纵向调节架，可以方便地调节所述加热器与待加热晶体间的距离和角度，从而可以方便地调节所述加热器的加热功率和辐射范围，能够作为双面灯的补偿热源，使晶体受热更加均匀，从而得到性质均匀、高质量的外延层。
以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (10)

1.一种可调节的红外线灯组，其特征在于，包括：固定管、加热器、角度调节架、纵向调节架；
所述固定管固定在外延腔室内；
所述加热器设置在所述固定管的内部；
所述角度调节架的中部连接所述加热器，下部滑动连接所述纵向调节架的下部，用于调节所述加热器与所述固定管间夹角；
所述纵向调节架的上部滑动连接所述固定管，用于调节所述加热器相对所述固定管的纵向位移。
2.如权利要求1所述的灯组，其特征在于，所述纵向调节架的下部沿横向设置有弧形槽孔；所述角度调节架的下部通过螺栓与所述弧形槽孔滑动连接；所述弧形槽孔上设置有刻度。
3.如权利要求1所述的灯组，其特征在于，所述固定管上设置有长圆孔，所述纵向调节架的上部通过螺栓与所述长圆孔滑动连接。
4.如权利要求1所述的灯组，其特征在于，所述灯组还包括反光杯和灯座；所述反光杯的下部连接所述角度调节架的上部，所述加热器设置在所述反光杯的中部；所述加热器的下部通过所述灯座连接所述角度调节架的中部。
5.如权利要求4所述的灯组，其特征在于，所述固定管和反光杯整体镀金，并且镀金膜的厚度不小于2.5微米。
6.如权利要求1所述的灯组，其特征在于，所述加热器采用卤素灯。
7.如权利要求1所述的灯组，其特征在于，所述角度调节架和纵向调节架均采用不锈钢或者铝合金。
8.一种采用权利要求1至7之一所述可调节的红外线灯组的加热装置，其特征在于，所述加热装置包括至少一对所述灯组，并且每对中的两个所述灯组呈镜像对称设置。
9.如权利要求8所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置包括两对所述灯组，相邻所述灯组通过连接架互相连接。
10.如权利要求9所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置通过所述连接架连接外延腔室；所述连接架整体镀金，并且镀金膜的厚度不小于2.5微米。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103789824A (zh) * 2014-01-22 2014-05-14 东莞市中镓半导体科技有限公司 一种用于氢化物气相外延的光辅助加热系统
CN108718468A (zh) * 2018-08-01 2018-10-30 绍兴飚熠五金制品有限公司 一种旋转的红外线加热灯
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103789824A (zh) * 2014-01-22 2014-05-14 东莞市中镓半导体科技有限公司 一种用于氢化物气相外延的光辅助加热系统
CN108718468A (zh) * 2018-08-01 2018-10-30 绍兴飚熠五金制品有限公司 一种旋转的红外线加热灯
CN109682851A (zh) * 2019-01-31 2019-04-26 上海微小卫星工程中心 一种应用于真空热试验的通用可调节红外灯阵
CN111380618A (zh) * 2020-03-23 2020-07-07 西南科技大学 一种光阵列分控便携式光激励红外热成像检测装置
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