CN202633255U - 石英舟 - Google Patents
石英舟 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202633255U CN202633255U CN 201220212035 CN201220212035U CN202633255U CN 202633255 U CN202633255 U CN 202633255U CN 201220212035 CN201220212035 CN 201220212035 CN 201220212035 U CN201220212035 U CN 201220212035U CN 202633255 U CN202633255 U CN 202633255U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- connecting rods
- groove
- quartz boat
- rectangle
- panels
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种石英舟,包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆,两个底部连接杆的两端分别与两个面板的底边固定连接,两个侧壁连接杆的两端分别与两个面板的两个侧边固定连接,两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽,两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与第一凹槽相匹配的第二凹槽,两个侧壁连接杆的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形,直角梯形的底边与矩形的长边重合,直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽。采用矩形与直角梯形组合成的五边形为横切面的侧壁连接杆,将硅片置于第一凹槽中,侧壁连接杆与硅片接触处的垂直厚度减小,接触面减小,提高扩散均匀性,消除“扩散盲区”。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种载具,尤其涉及一种石英舟。
背景技术
石英舟是扩散工艺的必备工具,无论是半导体器件的扩散,还是太阳能工艺的扩散都大量使用石英器件做为载体,石英舟耐高温不变形,不污染器件而且能重复使用,尤其是近几年来由于太阳能产业发展迅速,人们使用石英舟的式样也越来越多。
目前的石英舟如图1所示,包括外框架1以及固定杆4,所述外框架1包括横杆2和垂直于所述横杆2并与所述横杆2固定连接的竖杆3,所述固定杆4垂直与所述横杆2,又垂直于所述竖杆3,如图2所示,所述固定杆4上分别开有相对应的横切面为矩形的凹槽5,将硅片等材料放置于石英舟的凹槽5中,由于所述硅片与所述凹槽5的侧边相接处,在所述硅片上会存在一定的无法被扩散到的“扩散盲区”。
因此,如何提供一种能够提高扩散均匀性、消除“扩散盲区”的石英舟是本领域的技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种石英舟,以解决现有的石英舟存在“扩散盲区”的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种石英舟,包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆,所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接,所述两个侧壁连接杆的两端分别与所述两个面板的两个侧边固定连接,所述两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽,所述两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽,所述两个侧壁连接杆的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形,所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合,所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽。
较佳地,所述第一凹槽的横切面为梯形。
较佳地,所述底部连接杆的横切面为下侧的矩形与上侧的直角梯形组合成的五边形,所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合。
较佳地,所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第二凹槽。
较佳地,所述第二凹槽的横切面为三角形。
较佳地,所述两个面板的顶部分别设有悬挂结构,所述悬挂结构与所述面板的顶部固定连接。
较佳地,所述悬挂结构为倾斜板,且所述倾斜板所在的平面与所述面板所在的平面的夹角大于30度,小于80度。
本实用新型提供的种石英舟,包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆,所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接,所述两个侧壁连接杆的两端分别与所述两个面板的两个侧边固定连接,所述两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽,所述两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽,其特征在于,所述两个侧壁连接杆的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形,所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合,所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽。本实用新型采用矩形与直角梯形组合成的五边形为横切面的侧壁连接杆,将硅片置于所述第一凹槽中,侧壁连接杆与所述硅片接触处的垂直厚度减小,硅片与第一凹槽的接触面减小,提高扩散均匀性,消除“扩散盲区”,进而减小漏电流,提高并联电阻,提高开路电压。
附图说明
图1为现有的石英舟结构示意图;
图2为图1的俯视图;
图3为本实用新型一实施例的石英舟结构示意图;
图4为图3的A部放大图;
图5为图3的俯视图;
图6为图5的B部放大图;
图7为图3的左视图。
图中:1-外框架、2-横杆、3-竖杆、4-固定杆、5-凹槽;
10-面板、11-侧壁连接杆、12-底部连接杆、13-第一凹槽、14-第二凹槽、15-倾斜板、16-硅片。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。
本实用新型提供的石英舟,如图3、图5和图7所示,包括两个相对设置的面板10、两个底部连接杆12以及两个侧壁连接杆11,所述两个底部连接杆12的两端分别与所述两个面板10的底边固定连接,所述两个侧壁连接杆11的两端分别与所述两个面板10的两个侧边固定连接,所述两个侧壁连接杆11相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽13,所述两个底部连接杆12的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽13相匹配的第二凹槽14,所述两个侧壁连接杆11的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形,所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合,所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽13。换句话说,请重点参考图7,所述侧壁连接杆11可以用将横切面为矩形的杆切掉朝向内侧的一个顶角而得到,在所述直角梯形的顶边上设置所述第一凹槽13,将硅片16置于所述第一凹槽13中,侧壁连接杆11与所述硅片16接触处的垂直厚度减小,硅片16与第一凹槽13的接触面减小,提高扩散均匀性,消除“扩散盲区”,进而减小漏电流,提高并联电阻,提高开路电压。
较佳地,如图6所示,所述第一凹槽13的横切面为梯形(本实施例中采用等腰梯形)。采用横切面为梯形的第一凹槽13,将硅片16置于所述第一凹槽13中,所述第一凹槽13与所述硅片16为线接触,改变现有技术中凹槽与硅片面接触的情况,进一步提高扩散均匀性,消除“扩散盲区”,进而减小漏电流,提高并联电阻,提高开路电压。
较佳地,如图3和图7所示,所述底部连接杆12的横切面为下侧的矩形与上侧的直角梯形组合成的五边形,所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合,具体地,所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第二凹槽14,所述第二凹槽14的横切面为三角形。请进一步参考图4,将所述硅片16放置于所述第二凹槽14时,所述硅片16与所述第二凹槽14只有在所述三角形的顶角处接触,从而进一步提高扩散均匀性,消除“扩散盲区”。
较佳地,如图3所示,所述两个面板10的顶部分别设有悬挂结构,所述悬挂结构与所述面板10的顶部固定连接,具体地,所述悬挂结构为倾斜板15,且所述倾斜板15所在的平面与所述面板10所在的平面的夹角大于30度,小于80度。这样,将抬棒(图中未示出)插置与所述面板10与所述倾斜板15之间,即可对石英舟进行抬升的操作,相较于现有技术中在面板10的顶部设置带有通孔的圆柱体,并将所述抬棒插置与所述通孔中的设计,该实用新型定位方便,便于操作,且更不易损坏石英舟。
综上所述,本实用新型提供的种石英舟,包括两个相对设置的面板10、两个底部连接杆12以及两个侧壁连接杆11,所述两个底部连接杆12的两端分别与所述两个面板10的底边固定连接,所述两个侧壁连接杆11的两端分别与所述两个面板10的两个侧边固定连接,所述两个侧壁连接杆11相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽13,所述两个底部连接杆12的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽13相匹配的第二凹槽14,所述两个侧壁连接杆11的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形,所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合,所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽13。将硅片16置于所述第一凹槽13中,侧壁连接杆11与所述硅片16接触处的垂直厚度减小,硅片16与第一凹槽13的接触面减小,提高扩散均匀性,消除“扩散盲区”,进而减小漏电流,提高并联电阻,提高开路电压。
显然,本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (7)
1.一种石英舟,包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆,所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接,所述两个侧壁连接杆的两端分别与所述两个面板的两个侧边固定连接,所述两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽,所述两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽,其特征在于,所述两个侧壁连接杆的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形,所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合,所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽。
2.如权利要求1所述的石英舟,其特征在于,所述第一凹槽的横切面为梯形。
3.如权利要求1所述的石英舟,其特征在于,所述底部连接杆的横切面为下侧的矩形与上侧的直角梯形组合成的五边形,所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合。
4.如权利要求3所述的石英舟,其特征在于,所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第二凹槽。
5.如权利要求4所述的石英舟,其特征在于,所述第二凹槽的横切面为三角形。
6.如权利要求1所述的石英舟,其特征在于,所述两个面板的顶部分别设有悬挂结构,所述悬挂结构与所述面板的顶部固定连接。
7.如权利要求6所述的石英舟,其特征在于,所述悬挂结构为倾斜板,且所述倾斜板所在的平面与所述面板所在的平面的夹角大于30度,小于80度。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201220212035 CN202633255U (zh) | 2012-05-11 | 2012-05-11 | 石英舟 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201220212035 CN202633255U (zh) | 2012-05-11 | 2012-05-11 | 石英舟 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN202633255U true CN202633255U (zh) | 2012-12-26 |
Family
ID=47386413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 201220212035 Expired - Fee Related CN202633255U (zh) | 2012-05-11 | 2012-05-11 | 石英舟 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN202633255U (zh) |
-
2012
- 2012-05-11 CN CN 201220212035 patent/CN202633255U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN202633361U (zh) | 石英舟 | |
CN203134754U (zh) | 一种干刻蚀装置的下部电极及干刻蚀装置 | |
CN202633255U (zh) | 石英舟 | |
CN202633253U (zh) | 石英舟 | |
CN202633254U (zh) | 石英舟 | |
CN103390572A (zh) | 石英舟 | |
CN203242878U (zh) | 一种大小卡通用的手机卡座 | |
CN209831564U (zh) | 一种方形轻薄物体定位设备 | |
CN203823391U (zh) | 一种步进电机安装座 | |
CN202923099U (zh) | 一种刮刀条 | |
CN102798040B (zh) | 一种背光模组及液晶显示装置 | |
CN203160459U (zh) | 一种设有防护垫片的淋浴房玻璃固定夹具 | |
CN202905682U (zh) | 用于制造太阳能电池组件时的电池串周转盒 | |
CN105196671B (zh) | 平板电脑保护套的层压模具 | |
CN204086747U (zh) | 液晶显示模组 | |
CN213001705U (zh) | 一种手机中框的通用挂具 | |
CN202690599U (zh) | 屏压片 | |
CN203193831U (zh) | 麦克风用膜片组件 | |
CN203645925U (zh) | 一种贴导电片夹具 | |
CN206348568U (zh) | 一种窄边框显示器 | |
CN208901103U (zh) | 一种led灯珠 | |
CN203055949U (zh) | 带有加强筋的太阳能组件铝边框 | |
CN201222142Y (zh) | 具有防碎固定结构的液晶屏贴接触摸屏 | |
CN103280420B (zh) | 晶圆承载装置及晶圆倒片的方法 | |
CN207882604U (zh) | 一种液晶显示屏生产过程中的中间玻璃板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20121226 Termination date: 20140511 |