CN202601601U

CN202601601U - 晶圆升降机

Info

Publication number: CN202601601U
Application number: CN 201220227458
Authority: CN
Inventors: 吴良辉
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2012-05-17
Filing date: 2012-05-17
Publication date: 2012-12-12
Anticipated expiration: 2022-05-17

Abstract

本实用新型提供一种晶圆升降机，包括驱动电机、连接板和两根下支撑条，驱动电机驱动连接板上下运动，两根下支撑条固定设置于连接板的下部两侧，还包括旋转电机以及上固定条，上固定条在旋转电机的驱动下具有横向和竖向两种状态，当上固定条处于横向状态时，上固定条和两个下支撑条围成的空间与晶圆的外周相匹配。晶圆在上固定条和下支撑条的限制下，无法进行上下晃动，故可使晶圆更加稳定，防止晶圆因晃动而产生缺陷。另外，通过在连接板的下端设置有纵截面呈锥形的连接板底部以及在下支撑条的下侧设置有纵截面呈锥形的下支撑条底部，可减少连接板以及下支撑条带动晶圆进入反应槽的过程中所引起的水流扰动，从而进一步确保晶圆的稳定性。

Description

晶圆升降机

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶圆升降机。

背景技术

目前，在半导体生产中，经常将若干晶圆放置于特制的晶圆升降机中，然后通过晶圆升降机带着所述晶圆在反应槽内进行反应。如图1所示，现有的升降机构通常包括驱动电机110、连接板120和用于支撑若干晶圆100的三根下支撑条130，所述三根下支撑条130位于晶圆100的下方并以与晶圆100的周缘相匹配的圆弧形分布。

在实际生产中发现，当晶圆100在反应槽内进行反应时，由于反应槽内时常有反应气体流动，尤其当反应气体由下至上流动时，由于晶圆100仅有三个下支撑条130托住晶圆100的下方，因此，向上流动的反应气体非常容易带动晶圆100窜动，使得晶圆100和下支撑条130发生碰撞。当晶圆100和下支撑条130之间频繁碰撞时，一方面容易导致晶圆100碰碎，产生大量的晶圆碎片，另一方面，晶圆100和下支撑条130间的碰擦容易产生大量的颗粒物质，这些颗粒物质粘附到晶圆100上会严重影响晶圆100的品质，降低产品良率。

因此，如何提供一种可以实现对晶圆进行稳固支撑的晶圆升降机是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆升降机，可以对晶圆实现稳固支撑，避免晶圆出现摇晃现象。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种晶圆升降机，包括驱动电机、连接板和两根下支撑条，所述驱动电机驱动所述连接板上下运动，所述两根下支撑条固定设置于所述连接板的下部两侧，还包括旋转电机以及上固定条，所述上固定条在所述旋转电机的驱动下具有横向和竖向两种状态，当所述上固定条处于横向状态时，所述上固定条和所述两个下支撑条围成的空间与晶圆的外周相匹配。

优选的，在上述的晶圆升降机中，还包括固定件，所述旋转电机经所述固定件带动所述上固定条转动。

优选的，在上述的晶圆升降机中，还包括控制器，所述控制器与所述旋转电机以及驱动电机连接。

优选的，在上述的晶圆升降机中，还包括位置传感器，所述位置传感器设置于所述固定件的外侧，所述位置传感器与所述旋转电机连接。

优选的，在上述的晶圆升降机中，所述连接板、上固定条和下支撑条采用石英。

优选的，在上述的晶圆升降机中，所述连接板、上固定条和下支撑条采用退火石英。

优选的，在上述的晶圆升降机中，所述连接板、上固定条和下支撑条采用特氟龙材料。

优选的，在上述的晶圆升降机中，所述上固定条的下侧和所述下支撑条的上侧分别设有对应间隔分布的插槽。

优选的，在上述的晶圆升降机中，所述连接板的下端设置有纵截面呈锥形的连接板底部。

优选的，在上述的晶圆升降机中，所述下支撑条的下侧设置有纵截面呈锥形的下支撑条底部。

本实用新型提供的晶圆升降机，通过将现有的三根下支撑条改为两根下支撑条和一根上固定条，同时增设旋转电机，所述上固定条在所述旋转电机的驱动下具有横向和竖向两种状态，当所述上固定条处于横向状态时，所述上固定条和所述两个下支撑条围成的空间与晶圆的外周相匹配，由此，晶圆在上固定条和下支撑条的限制下，无法进行上下晃动，因此可以使得晶圆更加稳定。另外，通过在所述连接板的下端设置有纵截面呈锥形的连接板底部以及在所述下支撑条的下侧设置有纵截面呈锥形的下支撑条底部，可以减少连接板以及下支撑条带动晶圆进入反应槽的过程中所引起的水流扰动，从而进一步确保位于升降机中的晶圆的稳定性和安全性。

附图说明

本实用新型的晶圆升降机由以下的实施例及附图给出。

图1为现有的晶圆升降机的结构示意图。

图2为本实用新型的一实施例的晶圆升降机的结构示意图之一。

图3为本实用新型的一实施例的晶圆升降机的结构示意图之二。

图4是本实用新型的一实施例的上固定条和两根下支撑条的分布示意图。

图中，100、200-晶圆，110、210-驱动电机210，120、220-连接板220，2201-连接板底部，2201，130、230-下支撑条，240-旋转电机、250-位置传感器，260-上固定条，270-固定件。

具体实施方式

以下将对本实用新型的晶圆升降机作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参阅图2和图3和图4，本实施例提供了一种晶圆升降机，包括驱动电机210、连接板220和两根下支撑条230，所述驱动电机210驱动所述连接板220上下运动，所述两根下支撑条230固定设置于所述连接板220的下部两侧，所述晶圆升降机还包括旋转电机240以及上固定条260，所述上固定条260在所述旋转电机240的驱动下具有横向和竖向两种状态，当所述上固定条260处于横向状态时，所述上固定条260和所述两个下支撑条230围成的空间与晶圆200的外周相匹配。

较佳的，在本实施例的晶圆升降机中，还包括固定件270，所述旋转电机240经所述固定件270带动所述上固定条260转动。通过设置固定件270可以方便旋转电机240稳定驱动所述上固定条260转动。

较佳的，在本实施例的晶圆升降机中，还包括控制器（未图示），所述控制器与所述旋转电机240以及驱动电机210连接，所述控制器可以用于控制旋转电机240和驱动电机210的开启、正转、反转以及关闭。

较佳的，在本实施例的晶圆升降机中，还包括位置传感器250，所述位置传感器250设置于所述固定件270的外侧，所述位置传感器250与所述旋转电机240连接。所述位置传感器250可以监测上固定条260是否到达指定位置，提高了升降机运行的精确性，确保安全生产。

优选的，在上述的晶圆升降机中，所述连接板220的下端设置有纵截面呈锥形的连接板底部，所述下支撑条230的下侧设置有纵截面呈锥形的下支撑条底部（未图示）。通过在所述连接板220的下端设置有纵截面呈锥形的连接板底部以及在所述下支撑条230的下侧设置有纵截面呈锥形的下支撑条底部，可以减少连接板220以及下支撑条230带动晶圆200进入反应槽的过程中所引起的水流扰动，从而进一步确保位于升降机中的晶圆200的稳定性和安全性。

其中，所述连接板220、上固定条260和下支撑条230的材质在选用上与晶圆200在反应槽中所接触的反应溶液的性质有关。

当反应溶液是温度高达100摄氏度的磷酸（H4PO4）/硫酸（H2SO4）时，所述连接板220、上固定条260和下支撑条230优选采用退火石英。

当反应溶液是温度低于70摄氏度的氢氟酸（HF）/盐酸（HCL）时，所述连接板220、上固定条260和下支撑条230优选采用特氟龙材料。

当反应溶液是温度高达100摄氏度的超纯水（UPW，全称Ultra-pure Water）时，所述连接板220、上固定条260和下支撑条230优选采用石英即未退火的石英。

较佳的，在本实施例的晶圆升降机中，所述上固定条260的下侧和所述下支撑条230的上侧分别设有对应间隔分布的插槽（未图示）。从而可以实现晶圆200之间独立放置，互不干扰。

综上所述，本实用新型提供的晶圆升降机，通过将现有的三根下支撑条改为两根下支撑条和一根上固定条，同时增设旋转电机，所述上固定条在所述旋转电机的驱动下具有横向和竖向两种状态，当所述上固定条处于横向状态时，所述上固定条和所述两个下支撑条围成的空间与晶圆的外周相匹配，由此，晶圆在上固定条和下支撑条的限制下，无法进行上下晃动，因此可以使得晶圆更加稳定。另外，通过在所述连接板的下端设置有纵截面呈锥形的连接板底部以及在所述下支撑条的下侧设置有纵截面呈锥形的下支撑条底部，可以减少连接板以及下支撑条带动晶圆进入反应槽的过程中所引起的水流扰动，从而进一步确保位于升降机中的晶圆的稳定性和安全性。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种晶圆升降机，包括驱动电机、连接板和两根下支撑条，所述驱动电机驱动所述连接板上下运动，所述两根下支撑条固定设置于所述连接板的下部两侧，其特征在于，还包括旋转电机以及上固定条，所述上固定条在所述旋转电机的驱动下具有横向和竖向两种状态，当所述上固定条处于横向状态时，所述上固定条和所述两个下支撑条围成的空间与晶圆的外周相匹配。

2.根据权利要求1所述的晶圆升降机，其特征在于，所述晶圆升降机还包括固定件，所述驱动电机经所述固定件带动所述上固定条转动。

3.根据权利要求2所述的晶圆升降机，其特征在于，所述晶圆升降机还包括控制器，所述控制器与所述旋转电机以及驱动电机连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆升降机，其特征在于，所述晶圆升降机还包括位置传感器，所述位置传感器设置于所述固定件的外侧，所述位置传感器与所述旋转电机连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆升降机，其特征在于，所述连接板、上固定条和下支撑条采用石英。

6.根据权利要求1所述的晶圆升降机，其特征在于，所述连接板、上固定条和下支撑条采用退火石英。

7.根据权利要求1所述的晶圆升降机，其特征在于，所述连接板、上固定条和下支撑条采用特氟龙材料。

8.根据权利要求1所述的晶圆升降机，其特征在于，所述上固定条的下侧和所述下支撑条的上侧分别设有对应间隔分布的插槽。

9.根据权利要求1所述的晶圆升降机，其特征在于，所述连接板的下端设置有纵截面呈锥形的连接板底部。

10.根据权利要求1~9中任意一项所述的晶圆升降机，其特征在于，所述下支撑条的下侧设置有纵截面呈锥形的下支撑条底部。