CN202592569U - 多线切割机的砂浆桶 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种适用于水溶性切割液使用的多线切割机的砂浆桶，它包括设有抽砂泵(4)的桶体(1)，其特征是桶体(1)内设有冷却装置，本实用新型结构简单，使切割液的温度保持在25℃左右，切割晶棒时不会断线和被切物体材质改变，并能保证水溶性切割液能均匀分布在被切物体上。

Description

多线切割机的砂浆桶
技术领域
本实用新型涉及一种多线切割机，具体地说是一种多线切割机的砂浆桶。
背景技术
多线切割机是一种通过金属丝的高速往复运动，把切割液带入半导体加工区域进行切削，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割设备。
目前，加工中所使用的切割液大多为油性切割液，油性切割液能使金刚砂长时间悬浮在油质中，且导热性好，温度容易控制，但使用油性切割液切割，一是切割后的晶体不干净，使后续的清洗工序较为繁琐，从而导致一部分晶片在清洗过程中破损，增加了生产成本，二是废油难回收，对环境造成污染。若将油性切割液改为水性切割液，不仅能使切割后的晶体容易清洗，减少清洗过程中的破片率，而且使用过的废切削液还可回收利用，保护环境，节约了成本。但由于水溶性切割液的散热性差，在切割过程中水溶性切割液升温快，使用现有的切割机无法保证切割液温度保持在25℃左右，在切割晶棒的过程中可能会导致断线和被切物体材质改变。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种适用于水溶性切割液使用的多线切割机的砂浆桶。
本实用新型是采用如下技术方案实现其发明目的的，一种多线切割机的砂浆桶，它包括设有抽砂泵的桶体，桶体内设有冷却装置。
本实用新型为加快冷却速度，冷却装置包括环绕在桶体内周壁上的冷却管，桶体中部设有辅助冷却管。
本实用新型为了保证其切割液均匀分布在被切物体上，抽砂泵泵吐出量每分钟为150升～180升。
由于采用上述技术方案，本实用新型较好的实现了发明目的，其结构简单，使切割液的温度保持在25℃左右，切割晶棒时不会断线和被切物体材质改变，并能保证水溶性切割液能均匀分布在被切物体上。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。
由图1可知，一种多线切割机的砂浆桶，它包括设有抽砂泵4的桶体1，桶体1内设有冷却装置。
本实用新型为加快冷却速度，冷却装置包括环绕在桶体1内周壁上的冷却管3，桶体1中部设有辅助冷却管2。
本实用新型为了保证其切割液均匀分布在被切物体上，抽砂泵4泵吐出量每分钟为150升～180升（本实施例为180升）。
本实用新型工作时，冷却水箱内的冷却水在冷却管3及辅助冷却管2内循环流动，加快桶体1内切割液的冷却速度，使切割液温度保持在25℃左右。
本实用新型为了使抽砂泵4泵吐出量为每分钟180升，增大了原抽砂泵的功率，其功率为750W，保证切割液能均匀分布在被切物体上。

Claims (3)

1.一种多线切割机的砂浆桶，它包括设有抽砂泵(4)的桶体(1)，其特征是桶体(1)内设有冷却装置。
2.根据权利要求1所述的多线切割机的砂浆桶，其特征是冷却装置包括环绕在桶体(1)内周壁上的冷却管(3)，桶体(1)中部设有辅助冷却管(2)。
3.根据权利要求1或2所述的多线切割机的砂浆桶，其特征是抽砂泵(4)泵吐出量每分钟为150升～180升。
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