CN101791829A - 一种用于晶棒的切割机断线后的处理方法 - Google Patents

一种用于晶棒的切割机断线后的处理方法 Download PDF

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郜勇军
方建和
柴宏峰
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Abstract

本发明涉及一种用于晶棒的切割机断线后的处理方法，其特征在于先将切割机上的晶棒抬离线网，剪掉线网，并将一定大小的容器放置于主辊之间以及晶棒的下部，下降工件台将晶棒放入容器内；之后，在容器内倒入无水乙醇直至没过晶棒切割位置，导入轻微的压缩空气，促使无水乙醇循环流动的清洗晶棒，少许时间后重新更换容器中的无水乙醇，再次重复上述操作一次或一次以上，然后用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中无水乙醇；最后，上升工件台并重铺线网，将线网对入晶棒线缝，继续切割。采用本发明方法，因无需将晶棒从工件夹上取下，切割时的原点位置容易寻找，重装对刀时降低了误差，可提高救棒的成功率，且由于无水乙醇能更有效的除去晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液，降低了操作时间，提高了生产效率。

Description

一种用于晶棒的切割机断线后的处理方法
技术领域
本发明涉及一种用于晶棒的切割机断线后的处理方法。
背景技术
目前，在晶棒切割成片的生产过程中，当切割机出现断线问题时，通常采用卸棒后清水超声的处理方法，即停机后将切割中的晶棒抬离线网，并从工件夹上取下，置于超声池中用纯水洗净晶棒表面及线缝中砂浆，然后用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中水分，再重新将晶棒装上工件夹，将线网对入晶棒线缝，之后继续切割；在上述方法中，完全洗净晶棒需要一般需要几个甚至十多个小时，不仅费时、费力、费水，而且重装时需要精确掌握原来的晶棒位置，如果位置偏移，会使硅片弯曲，造成报废，并产生再次断线，导致救棒的成功率不高。
发明内容
本发明的目的是提供能提高救棒的成功率的一种用于晶棒的切割机断线后的处理方法。
本发明采取的技术方案是：一种用于晶棒的切割机断线后的处理方法，其特征在于先将切割机上的晶棒抬离线网，剪掉线网，并将一定大小的容器放置于主辊之间以及晶棒的下部，下降工件台将晶棒放入容器内；之后，在容器内倒入无水乙醇直至没过晶棒切割位置，导入轻微的压缩空气，促使无水乙醇循环流动的清洗晶棒，少许时间后重新更换容器中的无水乙醇，再次重复上述操作一次或一次以上，然后用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中无水乙醇；最后，上升工件台并重铺线网，将线网对入晶棒线缝，继续切割。
采用本发明方法，因无需将晶棒从工件夹上取下，切割时的原点位置容易寻找，重装对刀时降低了误差，可提高救棒的成功率，且由于无水乙醇能更有效的除去晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液，降低了操作时间，提高了生产效率。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。
1、将切割机上的晶棒抬离线网，剪掉线网；
2、将一只塑料容器放置于主辊之间以及晶棒的下部，下降工件台，将晶棒放入容器内；
3、在塑料容器中倒入无水乙醇直至没过晶棒切割位置，导入轻微的压缩空气，促使无水乙醇循环流动的清洗晶棒，少许时间后重新更换塑料容器中的无水乙醇，重复上述操作一次或一次以上；
4、用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中无水乙醇；
5、上升工件台并重铺线网，将线网对入晶棒线缝，继续切割。

Claims (1)

1.一种用于晶棒的切割机断线后的处理方法，其特征在于先将切割机上的晶棒抬离线网，剪掉线网，并将一定大小的容器放置于主辊之间以及晶棒的下部，下降工件台将晶棒放入容器内；之后，在容器内倒入无水乙醇直至没过晶棒切割位置，导入轻微的压缩空气，促使无水乙醇循环流动的清洗晶棒，少许时间后重新更换容器中的无水乙醇，再次重复上述操作一次或一次以上，然后用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中无水乙醇；最后，上升工件台并重铺线网，将线网对入晶棒线缝，继续切割。
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C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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