CN103386713A - 硅棒的切割工装 - Google Patents
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Abstract
硅棒的切割工装，涉及单晶、多晶硅棒的切割领域，包括切割台板，切割台板的一侧连接玻璃连接板，玻璃连接板的另一侧连接硅棒，其特征在于：所述玻璃连接板上还连接石墨，石墨和硅棒设置在玻璃连接板的同一侧，石墨与硅棒相接触设置，硅棒另一侧的中部连接一根与硅棒等长的导向条。本发明在硅棒的内端增加石墨，硅棒的外端配合夹具，并在硅棒的底部连接导向条，让线网先切入质地相对较软的导向条，降低钢线抖动，减少硅片片厚不均匀，增加硅片成品率。
Description
技术领域
本发明涉及单晶、多晶硅棒的切割领域。
背景技术
硅片切割机内设置升降机构和两根主辊，升降机构的下方连接硅棒工件，每根主辊的外周分别螺旋设置凹槽，两根主辊的凹槽内绕制同一根钢线，钢线设置在硅棒工件的下方。进行硅棒切割时，两根主辊的转动带动钢线来回运动，升降机构带动硅棒工件向下移动，通过钢线和料浆的配合实现多线切割成若干硅片。硅棒进刀时线网高速运转造成钢线抖动，硅棒直接接触抖动的线网，导致硅片进刀出边缘厚薄不均以及跳线现象。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种切割后的硅片厚薄均匀的硅棒的切割工装。
本发明的目的是这样实现的：硅棒的切割工装，包括切割台板，切割台板的一侧连接玻璃连接板，玻璃连接板的另一侧连接硅棒，其特征在于：所述玻璃连接板上还连接石墨，石墨和硅棒设置在玻璃连接板的同一侧，石墨与硅棒相接触设置，硅棒另一侧的中部连接一根与硅棒等长的导向条。
本发明在硅棒的内端增加石墨，硅棒的外端配合夹具，并在硅棒的底部连接导向条，让线网先切入质地相对较软的导向条，降低钢线抖动，减少硅片片厚不均匀，增加硅片成品率。
附图说明
图1为本发明的一种结构示意图。
图2为图1中A-A向视图。
具体实施方式
如图1、2所示，为硅棒的切割工装，包括切割台板1，切割台板1的一侧通过胶连接玻璃连接板2，玻璃连接板2的另一侧通过胶连接硅棒4和石墨3，石墨3设置在硅棒4的一侧，石墨3与硅棒4相接触设置，硅棒4另一侧的中部连接一根与硅棒4等长的导向条5。
Claims (1)
1.硅棒的切割工装，包括切割台板，切割台板的一侧连接玻璃连接板，玻璃连接板的另一侧连接硅棒，其特征在于：所述玻璃连接板上还连接石墨，石墨和硅棒设置在玻璃连接板的同一侧，石墨与硅棒相接触设置，硅棒另一侧的中部连接一根与硅棒等长的导向条。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012101371300A CN103386713A (zh) | 2012-05-07 | 2012-05-07 | 硅棒的切割工装 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012101371300A CN103386713A (zh) | 2012-05-07 | 2012-05-07 | 硅棒的切割工装 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103386713A true CN103386713A (zh) | 2013-11-13 |
Family
ID=49531231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2012101371300A Pending CN103386713A (zh) | 2012-05-07 | 2012-05-07 | 硅棒的切割工装 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103386713A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106927094A (zh) * | 2017-03-09 | 2017-07-07 | 亚洲硅业（青海）有限公司 | 多晶硅棒的自动包装装置及包装方法 |
| CN107457931A (zh) * | 2017-10-12 | 2017-12-12 | 江苏秉宸科技有限公司 | 一种硅棒切割用固定座 |
| CN110370479A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-10-25 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种晶棒切割装置和方法 |
-
2012
- 2012-05-07 CN CN2012101371300A patent/CN103386713A/zh active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20131113 |