CN202542874U - 一种多晶硅尾气平稳操作装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅尾气平稳操作装置，属于多晶硅化工技术领域。本装置包括缓冲罐，所述缓冲罐顶部出口设置自动控制阀，缓冲罐底部出口管道连接储罐。本实用新型构思巧妙，设计合理，有效避免了由于多晶硅生产装置中还原、氢化和合成操作单元不稳定所造成的尾气回收工序的不稳定，减少了工人的工作量，提高了工艺操作的安全性、可靠性和生产质量。

Description

一种多晶硅尾气平稳操作装置

技术领域

本实用新型属于多晶硅化工技术领域，涉及一种气体平稳操作装置，特别是一种多晶硅尾气平稳操作装置。 

背景技术

目前世界范围内多晶硅主要采用“改良西门子”法生产，该工艺包括精馏、还原和尾气回收工序，与“改良西门子”配套的还有氢化、合成工序和相对应的尾气回收工序。“改良西门子”法中的尾气回收工序对提高原料氯硅烷的利用率，降低多晶硅生产成本有着重要作用。

多晶硅生产装置中的还原、氢化和合成操作单元都属于非连续性生产，这些操作单元在生产过程中都普遍存在进料和产出不均匀，这种生产负荷的连续波动一方面在一定程度上影响了产品质量，过于频繁的生产负荷波动还对生产设备造成损害；另一方面还给下游的尾气回收工序的稳定操作带来了巨大的工作量；而且当上游工序发生工况意外（如工艺水泄露等）时，还对下游产生设备造成严重损害。

因此，设计一种多晶硅尾气平稳操作装置来提高多晶硅生产过程的平稳性、连续性和安全性，对多晶硅生产的高质、高效有着重要意义。 

发明内容

本实用新型的发明目的在于：针对上述存在的问题，提供一种多晶硅尾气平稳操作装置，来提高多晶硅生产过程的平稳性、连续性和安全性，从而达到多晶硅生产的高质和高效。

本实用新型的多晶硅尾气平稳操作装置采用的技术方案如下：

一种多晶硅尾气平稳操作装置，包括缓冲罐，所述缓冲罐顶部出口管道设置自动控制阀，所述缓冲罐底部出口管道连接储罐。

作为优选方式，所述缓冲罐和自动控制阀之间设置流量计，所述流量计与自动控制阀逻辑串接。

作为优选方式，所述缓冲罐上设置压力传感器，所述压力传感器与自动控制阀逻辑串接。

作为优选方式，所述缓冲罐的内顶部设置有除沫器。

作为优选方式，所述缓冲罐的进口管道和自动控制阀的出口管道还通过旁通管道连接，所述旁通管道上设置阀门。

作为优选方式，所述阀门为球阀。

本实用新型的多晶硅尾气平稳操作装置，所述缓冲罐对进入的多晶硅尾气具有一定的缓冲作用；缓冲罐顶部出口管道上设置的自动调节阀进一步保证尾气流量的平稳变化，提高了出口气体流态的稳定；缓冲罐还能将尾气中由于管道热损导致冷凝的液态氯硅烷和混合气体进行初步分离；缓冲罐的内顶部设置的除沫器，不仅能够有效的防止缓冲罐内形成气态涡流来提高流态的稳定，还能将气液未分离完全的尾气进一步气液分离，在上游车间发生漏水的情况下，所述除沫器还可以起到过滤水解物的作用；缓冲罐下方连接的储罐用于储存氯硅烷冷凝液或者上游系统事故物料，所述储罐可以是下游尾气回收工序中的工艺参数合适的氯硅烷储罐或者重新设计安装的储罐；所述自动调节阀自动控制信号可以选择如尾气总管或其他相关地方的流量或者压力信号，或者根据现场或远程压力显示数值进行远程手动控制，但是为了得到更加准确、平稳的信号，所述自动调节阀优先与所述流量计的流量值或者压力传感器的压力值进行逻辑串接来实现系统稳态的控制，所述逻辑串接是指流量计或者压力传感器的数字信号与自动调节阀关联作为自动调节阀的调节信号；本实用新型中，缓冲罐进口管道和自动控制阀出口管道之间还设置带阀门的旁通管道，所述旁通管道用作上游还原、氢化或合成工序尾气进入下游尾气回收系统的旁通管路，保证该尾气平稳操作装置在检修时不影响生产；为了最大程度保证该旁通管路的可靠性，所述旁通管道上设置阀门的类型选择球阀。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

本实用新型构思巧妙，设计合理，有效避免了由于多晶硅生产装置中还原、氢化和合成操作单元不稳定而导致的尾气回收工序的不稳定，减小了上游工序意外事故对下游生产工序设备的损害，同时有效避免了由于系统不稳定所带来的额外工作量，提高了多晶硅生产的质量和效率。

附图说明

图1是本实用新型的装置结构示意图。

图中标记：1-缓冲罐、2-流量计、3-自动控制阀、4-储罐、5-除沫器、6-阀门、7-压力传感器。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1，本实用新型的多晶硅尾气平稳操作装置，如图1所示，将所述缓冲罐1进口管道与多晶硅尾气总管连接，缓冲罐1顶部出口管道设置自动控制阀3，底部出口管道连接储罐4。

实施例2，本实用新型的多晶硅尾气平稳操作装置，如图1所示，将所述缓冲罐1进口管道与多晶硅尾气总管连接，缓冲罐1顶部出口管道设置自动控制阀3，底部出口管道连接储罐4；在缓冲罐1和自动控制阀3之间的管道上设置流量计2或者在缓冲罐1上设置压力传感器7，所述流量计2或者压力传感器7与所述自动控制阀3逻辑串接提供信号来实现气流稳态的控制。

实施例3，本实用新型的多晶硅尾气平稳操作装置，在实施例1或实施例2的基础上，通过在所述缓冲罐1的内顶部设置除沫器5来进一步加强气流的稳定性。

实施例4，本实用新型的多晶硅尾气平稳操作装置，在实施例1或实施例2或实施例3的基础上，所述缓冲罐1进口管道和自动控制阀3出口管道之间设置带阀门6的旁通管道来提高该装置的可靠性，保证该尾气平稳操作装置在检修时不影响生产，为了最大限度保证阀门6的可靠性，所述阀门6优先选用球阀。

利用该多晶硅尾气平稳操作装置能有效的避免由于多晶硅生产装置中还原、氢化和合成操作单元不稳定而导致的尾气回收工序的不稳定，减小了上游工序意外事故对下游生产工序设备的损害，同时还能有效避免由于系统不稳定所带来的额外工作量，提高多晶硅生产的质量和效率。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。 

Claims (6)

1.一种多晶硅尾气平稳操作装置，包括缓冲罐，其特征在于：所述缓冲罐（1）顶部出口管道设置自动控制阀（3），所述缓冲罐（1）底部出口管道连接储罐（4）。

2.如权利要求1所述的多晶硅尾气平稳操作装置，其特征在于：所述缓冲罐（1）和自动控制阀（3）之间设置流量计（2），所述流量计（2）与自动控制阀（3）逻辑串接。

3.如权利要求1所述的多晶硅尾气平稳操作装置，其特征在于：所述缓冲罐（1）上设置压力传感器（7），所述压力传感器（7）与自动控制阀（3）逻辑串接。

4.如权利要求1或2或3所述的多晶硅尾气平稳操作装置，其特征在于：所述缓冲罐（1）的内顶部设置有除沫器（5）。

5.如权利要求4所述的多晶硅尾气平稳操作装置，其特征在于：所述缓冲罐（1）的进口管道和自动控制阀（3）的出口管道还通过旁通管道连接，所述旁通管道上设置阀门（6）。

6.如权利要求5所述的多晶硅尾气平稳操作装置，其特征在于：所述阀门（6）为球阀。

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