CN202507414U - 一种金刚石线切割硅片脱胶新型装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种金刚石线切割硅片脱胶新型装置，它包括设置在槽体（1）内底部的加热器（2）、设置在槽体内并装有硅片（9）的工装上支架（10）和工装下支架（4），在工装下支架下部设置有起泡装置，所述起泡装置包括与进气管（7）相连的起泡管（6），在起泡管上间隔设置有起泡孔（5）。本实用新型通过在脱胶工装中的水槽体内加入起泡装置，使水槽体中产生（适量）的气泡，气泡的流动可以使清洗槽上层的温度和底部保持一致,使得硅片粘胶部分水体温度和水槽底部加热区域温度保持一致。同时由于气泡的冲击作用硅片表面的胶体很容易在外力的带动下脱离。它不仅缩短了硅片脱胶的时间，脱胶时间缩短了10分钟以上，提高了脱胶生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种清洗工装具，尤其是涉及一种用于金刚石线切割硅片脱胶清洗的新型装置。
背景技术
目前在太阳能级单晶硅片切割中，一种新型的金刚石线切割技术正在取代传统的砂浆切割技术,新型的金刚石线切割技术有硅片精度控制好、硅片损伤层小、切割成本低以及高效环保等多优势，目前国内外太阳能切片企业都在积极开发该切割技术。然而新型的金刚石切割技术是通过普通钢线上电镀一层金刚石颗粒，通过金刚石颗粒的高效切削能力来切割硅片，这种切割方式切削效率是传统砂浆切割能力的2-3 倍，同时由于金刚石线高效的切割速度造成切割过程中硅棒的受力大，切割过程中片比例高，这就需要在粘棒的工艺中采用固化能力更强的粘棒胶体。由于粘棒胶体的硬度高，脱胶时间一般在25-30min ，这大大增加硅片的脱胶清洗时间。
实用新型内容
针对上述现有技术中金刚石线切割硅片脱胶时间长，清洗不方便的问题，本实用新型提供了一种不仅可缩短脱胶时间在10分钟以上，提高硅片的产出效率，而且还可以降低硅片脱胶温度，提高硅片的表面质量的脱胶新型装置。
本实用新型要解决的技术问题所采取的技术方案是：所述一种金刚石线切割硅片脱胶新型装置包括设置在槽体内底部的加热器、设置在槽体内并装有硅片的工装上支架和工装下支架，在工装下支架下部设置有起泡装置，所述起泡装置包括与进气管相连的起泡管，在起泡管上间隔设置有起泡孔。
本实用新型通过在脱胶工装中的水槽体内加入起泡装置，使水槽体中产生适量的气泡，气泡的流动可以使清洗槽上层的温度和底部保持一致,使得硅片粘胶部分水体温度和水槽底部加热区域温度保持一致；同时由于气泡的冲击作用使硅片表面的胶体很容易在外力的带动下脱离。本实用新型不仅缩短了硅片脱胶的时间，脱胶时间缩短了10分钟以上，提高了脱胶生产效率，同时还可以通过降低脱胶的温度来提高硅片表面质量。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图。
在图中，1、槽体 2、加热器 3、排水阀 4、工装下支架 5、起泡孔 6、起泡管 7、进气管 8、气控阀 9、硅片 10、工装上支架。
具体实施方式
将处理好的晶体硅棒装入切片机，固定好晶棒位置，预机循环；热机结束后，进行硅片切割，其中台速控制在0.3～0.9mm/min,线速度控制在 600~1500m/s采用双向切割工艺；切割结束后，停机、下棒，硅片待清洗；将下的硅片放入预清洗槽，除去硅片表面的硅粉和切削液；如图1所示，将冲洗好的硅片连同工装放入硅片脱胶用的槽体1内，槽体内底部设置有加热器2、加热器为电加热，在槽体内装有工装上支架10和工装下支架4，工装上支架与工装下支架之间装有硅片9，在槽体底部装有用于清洗槽体的排水阀3，在工装下支架下部设置有起泡装置，所述起泡装置包括与进气管7一端相连的起泡管6，在起泡管上（上圆弧面上）间隔设置有起泡孔5，起泡孔为圆孔，起泡孔也可以是方孔、腰形孔等，进气管另一端装有气控阀8并与气源相连，起泡管直径控制在10-20mm ,在起泡管管壁上等距离打入起泡孔，其孔径控制在2-4mm，起泡管一端或两端接入进气管7，气体可以是空气，氮气等，气体的流量可以通过控制其他阀门直接控制。起泡的频率通过调节气体的压力来控制，槽体通过电加热来控制水体温度,目标温度控制60 ℃,脱胶时间10-15min ，将脱胶好的硅片再进行硅片清洗、分选和包装。
Claims (1)
1. 一种金刚石线切割硅片脱胶新型装置，它包括设置在槽体（1）内底部的加热器（2）、设置在槽体内并装有硅片（9）的工装上支架（10）和工装下支架（4），其特征是：在工装下支架下部设置有起泡装置，所述起泡装置包括与进气管（7）相连的起泡管（6），在起泡管上间隔设置有起泡孔（5）。
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| CN (1) | CN202507414U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103522400A (zh) * | 2013-10-29 | 2014-01-22 | 高佳太阳能股份有限公司 | 一种太阳能切片脱胶水煮箱 |
| CN108262647A (zh) * | 2018-01-23 | 2018-07-10 | 滁州英诺信电器有限公司 | 一种光电材料的切割方法 |
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2012
- 2012-04-05 CN CN2012201383619U patent/CN202507414U/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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Granted publication date: 20121031 Termination date: 20180405 |